【課題】一定の曲率半径を有する凹面形状の被加工面を複数表面加工する際、複数の被加工面を精密に表面加工し易い表面加工機を提供することを課題とする。
【解決手段】被加工物２０に配列して形成され、一定の曲率半径を有する凹面形状の被加工面を複数同時に表面加工するものであり、被加工面２１を表面加工する加工ツール３１と、加工ツール３１を回転駆動させる駆動体３２とを有する表面加工具３０が複数設けられ、複数の表面加工具３０は、それぞれ支持基体１５に揺動自在に支持されると共に、リンク部材３７により連結されて平行リンク機構を構成し、揺動手段４０により揺動駆動されることで、リンク部材３７を介して複数の表面加工具３０が同じ揺動角度で揺動されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で経済的なブレード検出手段を具備した切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル２０と、該チャックテーブル２０に保持された被加工物を切削する切削ブレード１０８，１１２を回転可能に支持する切削手段９６，１００と、Ｘ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、Ｙ軸送り手段と、Ｚ軸方向に切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備えた切削装置であって、チャックテーブル２０が移動するＸ軸移動経路を挟むようにレーザービームを照射するレーザービーム照射部１１６と該レーザービームを受光するレーザービーム受光部１１８とを配設して構成される切削ブレード検出手段１１４を備え、レーザービーム照射部１１６が照射するレーザービームは、Ｙ軸方向に平行であるとともに、切削ブレード１０８，１１２の回転軸心を通るＺ軸と交差する。 （もっと読む）

【課題】研磨テープのような研磨デバイスを使用して基板を研磨することに関する装置及び方法が提供される。
【解決手段】研磨デバイスは、ベース４１０、ベースに貼り付けられる樹脂層４０８、及び、樹脂層によってベースに添付される複数のエンボス加工された研磨粒子４０６及び／または研磨ビーズを含んで形成することができる。複数の研磨粒子及び／または研磨ビーズは、樹脂層においてエンボス加工することができる。複数の研磨ビーズは、バインダ材料中に懸濁された複数の研磨粒子を含むことができる。複数の研磨粒子及び／またはビーズと樹脂層は結合して、基板に接触するように適合された研磨デバイス４００の研磨面４０２を形成する。基板の研磨は、好ましくは、基板が回転している間に、研磨テープを除いたいずれの装置も縁部に接触しないように、基板が保持デバイスによって回転している間に基板の縁部を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】フィルム状の対象物に対して、外力が加わらない非接触の状態を保持し、微細な削り作用をムラなく行えて平坦度を良好に得ることができ、表面処理を効率よく行えるフィルム状の対象物の表面処理方法を提供する。
【解決手段】軸バイト２は先端に永久磁石２０を設けて磁界発生源とし、複数を配列させる。並び列は少なくとも２行を配列し、列方向から見た前後２者が、所定の重なりでズレ位置となる配列にする。研磨対象１には所定方向へ送る移動動作を行わせる。軸バイト２の並び列は駆動手段の駆動により、それぞれ回転等の運動動作を行わせるとともに、研磨対象１の送り経路に対して交差方向に往復移動を行わせる。研磨対象１と軸バイト２との間には磁気研磨液３を存在させ、当該液に生成した磁気クラスタ（磁気ブラシ）により流体研磨を行う。軸バイト２は配列した並び列の全体がひとつの工具として機能する。 （もっと読む）

【課題】基板の縁部を除いた領域の幅を精密に制御できる基板の縁部の研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨ヘッド３０４を回転させる角度の範囲を決定するステップと、基板１００の縁部１０４除外領域の幅を予め設定された寸法にするように、決定された角度の範囲で研磨ヘッド３０４を回転させるステップと、研磨ヘッドを用いて基板の縁部を研磨するステップとを含む。さらに、予め予定された縁部除外領域の幅が得られたか否かの判断に基づいて、縁部除外領域の幅が所定の値になるように、研磨ヘッド３０４を回転する角度を調整するステップを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の縁部を研磨するように適合されたシステムが提供される。
【解決手段】基板の縁部を研磨するように適合された装置及び方法は、（１）研磨表面及び第２の表面を有する研磨テープ、及び（２）長手方向軸を有し、上記研磨テープの研磨表面を基板の縁部に接触させるように適合された研磨アーム２０１を含む。研磨アーム２０１は、i）上記研磨テープの第２の表面に接触するように適合された研磨ヘッド２０４と、ii）上記研磨ヘッド２０４に結合されて、上記研磨アーム２０１の長手方向軸の回りに上記研磨ヘッド２０４を回転させるように適合されたロッカーアーム３０４と、iii）上記ロッカーアーム３０４に隣接して延長されて、上記研磨アーム２０１の長手方向軸に直交する方向に上記研磨ヘッド２０４を移動させるように適合されたロードアーム３１４とを含む。多数の他の態様が提供される。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーガングを最適な運動に設定することができる、ワイヤー鋸に適したワイヤー案内ロールを提供する。
【解決手段】多重のウェーハを円筒形の被工作物から同時にスライスするためのワイヤー鋸に使用するワイヤー案内ロールの場合に、このワイヤー案内ロールは、少なくとも２ｍｍおよび最大７．５ｍｍの厚さを有するコーティングを備えており、少なくとも６０および最大９９のショアーＡ硬度を有する材料から構成されており、さらに鋸引きワイヤーが案内される多重の溝を有し、この溝は、それぞれ鋸引きワイヤー直径Ｄの０．２５〜１．６倍である曲率半径Ｒおよび６０〜１３０゜の開口角度を有する湾曲した溝ベースを有している。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を効率良く且つ低コストで施すことが可能な超仕上盤を提供する。
【解決手段】超仕上げ対象面に対する砥石Ｔの姿勢を制御する姿勢制御機構と、超仕上げ対象面に対する砥石の位置を制御する位置制御機構とを備えている。姿勢制御機構は、砥石を保持するホルダ２８と、ホルダを所定方向に回転可能に支持する回転ユニット３０とを備え、位置制御機構は、回転ユニットを第１の方向に往復移動させる第１の可動ユニット３２と、第１の可動ユニットを第２の方向に往復動させる第２の可動ユニット３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を効率良く且つ低コストで施すことが可能な超仕上盤用砥石揺動機構を提供する。
【解決手段】砥石Ｔを振り角θで揺動させる揺動ユニットは、砥石を支持する砥石ホルダ８、砥石ホルダに連結された揺動軸１０、揺動軸を振り角で揺動させる揺動装置１２を備え、加工対象面に対する砥石の振り角中心の向きを所定の角度範囲Ｐで設定する角度設定ユニットは、揺動軸に固定されたコッター板１４、コッター板を所定回転角度に位置決めする位置決め手段を備える。位置決め手段は、揺動軸が揺動自在に挿通され且つ常時垂線振り分け揺動に維持された揺動アーム１６、コッター板を所定回転角度に設定する回転角度設定構造、コッター板を挟んで揺動アームとは反対側に配置され、揺動軸が揺動自在に挿通され且つ常時垂線振り分け揺動に維持されたナット板１８を備える。 （もっと読む）

【課題】先端逃げ面の工具中心側を回転砥石により研削形成する際、他の底刃を研削せず、切削加工面粗さを低減することが可能な極めて実用性に秀れた回転切削工具を提供する。
【解決手段】工具本体１の外周に、工具先端から基端側に向かう螺旋状の切り屑排出溝が多数形成され、この切り屑排出溝のすくい面３と工具本体の先端逃げ面４との交差稜線部には夫々底刃５が設けられる３枚刃以上の回転切削工具の工具本体の先端面に回転砥石を用いて先端逃げ面を研削形成する該先端逃げ面の研削形成方法であって、一の先端逃げ面の工具中心側の所定範囲を研削形成する際、回転砥石が研削形成する前記一の先端逃げ面に係る一の底刃以外の他の底刃に干渉しないように該回転砥石の回転方向Ａを前記一の底刃に対して９０°より小さい交差角度αとして研削する。 （もっと読む）

本発明は、研削接触範囲（２６）において工作物（７）へ当てることができる研削ヘッド（５）を持つ可搬式研削機に関する。本発明によれば、研削接触範囲（２６）に対し間隔をおいて設けられるストッパ（１８〜２１）が、工作物（７）へ当る際、研削ヘッド（５）の揺動軸線及び少なくとも１つの取っ手（２，３）に関するレバー回転軸線としての回転軸線（２７）を形成している。
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【課題】従来、中、大型のディスクグラインダの場合、工具本体の後部から後方へ延びる状態にハンドルが設けられていたため、加工部位に押し付ける砥石先端から離れた部位で作業者が把持することとなり、その結果砥石先端に押し付け力を加えにくい問題があった。本発明では、加工部位に対して砥石先端を楽に押し付けることができるようにして切削作業の効率化を図ることを目的とする。
【解決手段】工具本体１０の側部にハンドル３０を配置して砥石Ｔにより近い部位を把持する構成とする。これにより、作業者は手持ち工具１をより楽に支持することができるとともに、砥石Ｔにより大きな押し付け力を加えることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板１の内周端面１ａとブラシ毛４との接触部に良好に研磨剤を供給することで研磨効率を高めて研磨作業時間を短縮する。
【解決手段】 ガラス基板１を複数のカートリッジ６０に分割収納し、このカートリッジ６０を基板収納ケース１０に直列に収納する。カートリッジ６０は、同軸異径円筒体で、ガラス基板１を重ねて収納する大径の基板収納筒部６１と研磨液流路を形成する小径の連結用筒部６２とからなり、連結用筒部６２の側面には、研磨液の流入開口６２ｂが設けられる。カートリッジ６０を基板収納ケース１０内に直列に収納すると、各カートリッジ６０の基板収納筒部６１と連結用筒部６２とが連結されるとともに、各基板収納筒部６１の間に研磨液の流入路が形成される。従って、各カートリッジ６０内のガラス基板１の円孔内に均一に研磨剤を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】長尺研磨領域のみに多条の溝を有する研磨パッドを効率的に製造する方法を提供すること。また、前記研磨パッドの溝加工に用いられる溝加工装置を提供する。
【解決手段】長尺研磨領域２及び長尺光透過領域３を有する長尺研磨層表面１に、多条の溝を形成する製造方法において、光反射部材５と長尺光透過領域３とが重なるように長尺研磨層１を設置し、光センサ７を切削ヘッド６に備えた切削工具を用い、長尺研磨層１の幅方向一端から他端へ移動させつつ発光部８から長尺研磨層表面１に光照射し、受光部９がその反射光を検知した時には、その反射光を検知しなくなるまで切削工具の切削刃１０を長尺光透過領域３に接触しないように制御し、再びその反射光を検知しなくなった時には、再び切削工具の切削刃１０を長尺研磨領域２に接触させて切削し、長尺研磨領域２のみに多条の溝を形成することを特徴とする研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】２個の切削手段にそれぞれ装着された切削ブレードの厚みを確認する機能を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための第１の切削手段および第２の切削手段と、チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り手段とを具備し、第１の切削手段が切削ブレードを装着する第１のマウントを備えた第１の回転スピンドルを有する第１のスピンドルユニットと第１の割り出し送り手段および第１の切り込み送り手段とを備えており、第２の切削手段が切削ブレードを装着する第２のマウントを備えた第２の回転スピンドルを有する第２のスピンドルユニットと第２の割り出し送り手段および第２の切り込み送り手段とを備えている切削装置であって、第１の切削手段の第１のマウントに装着された切削ブレードおよび第２の切削手段の第２のマウントに装着された切削ブレードの厚みを計測する厚み計測手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】ブラシの偏摩耗を抑制するとともに、被研磨部材のバリを確実に除去できるバリ取り装置及びバリ取り方法を提供する。
【解決手段】被研磨部材１を研磨して、被研磨部材１に形成されたバリを除去するバリ取り装置において、被研磨部材１を保持した状態で搬送する搬送手段１０と、回転軸芯Ｃ₁が被研磨部材１の軸芯Ｃ₀からオフセットされ、回転軸芯Ｃ₁に対して直交する端面２１ｃで、被研磨部材１を研磨する第１の研磨手段２１と、回転軸芯Ｃ₂が被研磨部材１の軸芯Ｃ₀から、第１の研磨手段２１がオフセットされる方向とは反対側にオフセットされ、回転軸芯Ｃ₂に対して直交する端面３１ｃで、被研磨部材１を研磨する第２の研磨手段３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】研磨面にサブサーフェスダメージを残すことなく、極めて平滑に研磨し、被研磨面をチッピングフリーにすることができると共に、曲面形状に対しても高精度の研磨が可能な研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨対象（ダイヤモンドバイト２０）を角度，煽り調整可能なバイト保持機構により保持する。このダイヤモンドバイト２０の逃げ面２０ａおよび掬い面２０ｂを、研磨面が撓み可能な板状の研磨定盤１０により研磨する。研磨定盤１０は厚み１ｍｍ以下、直径２０ｍｍ〜４０ｍｍの円形状の石英板により構成される。被研磨面（逃げ面２０ａおよび掬い面２０ｂ）には、紫外光源ランプ１１より紫外光Ｌが照射される。研磨定盤１０の回転速度、位置，旋回角度はスピンドル自動旋回機構により調整する。 （もっと読む）

【課題】ブローチの研削開始位置に対する研削砥石の位置合せ、いわゆる刃合せを効率的且つ安全に実施することが可能なブローチ研削装置及びブローチ研削方法を提供する。
【解決手段】ブローチ測定プログラムを実行してブローチ測定装置１７の測定子３０をブローチに接触させると共に、研削砥石測定プログラムを実行して研削砥石測定装置３２の測定子３５を研削砥石１４に接触させる。これにより、ブローチの研削開始位置及びピッチ、並びに研削砥石１４の位置を、自動で迅速、安全、且つ高い精度で測定してＮＣ制御装置に教示する。したがって、ＮＣ制御装置に教示したブローチの研削開始位置及び研削砥石の位置に基き、ブローチ１１の研削開始位置に対する研削砥石１４の位置合せ、いわゆる刃合せを自動で迅速、安全、且つ高い精度で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】様々な大きさのキャリヤを受け入れることができるラップ盤を提供する。
【解決手段】ラップ盤は、共通の中心回転軸を有する上側および下側ラッピングホイールならびにスプロケットを備える。回転駆動源が、上側ラッピングホイールおよび下側ラッピングホイールの少なくとも１つに前記軸周りに回転運動を行わせる。上側および下側ラッピングホイールの半径方向外側に配置された少なくとも２つの独立に配置可能な歯車またはスプロケットが、上側ラッピングホイールと下側ラッピングホイールとの間にキャリヤを回転可能に支承し、キャリヤに形成された開口内に担持された物体が、ラップ盤の作動中、下側および上側ラッピングホイール両方の半径方向外側を少なくとも部分的に通過する。 （もっと読む）

【課題】他の部材や構造により到達するのが困難な表面、及び／または部分的に邪魔されている表面を、使用者が加工しようとした時に、工具の握り方を変更しなければならず、この握り方を変更することは困難である。
【解決手段】ダイグラインダ１０は長手方向の軸を有するボディ１２と、動力駆動で回転可能な出力軸４４を持つ研削ヘッド部１４を含む。モータは出力軸４４を回転するためのボディ１２内に配置されている。ロッキング連結部１６は、研削ヘッド部１４をボディ１２に取り付け、ボディ１２の長手方向の軸の周りをボディ１２に対する研削ヘッド部１４の選択的な回転を可能としている。 （もっと読む）