【課題】マイクロチップ等の微細加工のコスト削減を進展させることを可能とする。
【解決手段】基材３の表面に微細流路５を加工する微細形状加工方法において、基材３の表面に金属の薄膜７を形成する（ａ）薄膜形成工程と、薄膜７に放電加工により微細形状パターン９を貫通形成する（ｂ）放電加工工程と、薄膜７に微細形状パターン９を備えた基板３をエッチングして薄膜７の微細形状パターン９に対応する微細流路５を基板３の表面に形成する（ｃ）エッチング工程と、エッチング後に金属の薄膜７を除去して表面に微細流路５を有するマイクロチップ１を得る（ｄ）除去工程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下穴、中空電極並びに治具を必要としない放電加工技術を提供することを課題とする。
【解決手段】図（ｃ）は微細気泡２６の作用を説明する図であり、スラッジ２９は＋で、微細気泡２６が−であるから、微細気泡２６にスラッジ２９が結合し、この形態で凹部２８から離れていく。ところで、電極２１は−であるため、この電極２１にスラッジ２９が付着する虞はある。しかし、仮に電極２１にスラッジ２９が付着したとしても、その付近で微細気泡２６が破裂し、この破裂による衝撃で矢印（１）のようにスラッジ２９が電極２１から離れる。このようにして、スラッジ２９は電極２１に付着することなく、加工液１１とともに、排出される。
【効果】ワークに下穴を開ける必要はなく、治具を配置する必要はなく、且つ電極を中空にする必要もない。この結果、加工工数の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】放電加工において、加工面の表面粗さを小さくするための仕上げ加工時間を短時間とする放電加工方法を提供する。
【解決手段】液中放電によって加工液が気化・分離して生じる気泡を工具電極、工作物及び放電加工装置のいずれかに取り付けた容器に捕集し、当該容器内に気泡が溜まることによって、又は当該容器に不活性ガスや窒素などの気体を供給することによって、当該容器内の液面が低下することで、液中加工の状態から気中加工の状態へ移行させることを特徴とする放電加工方法。 （もっと読む）

【課題】気中放電加工の加工速度が、加工間隙が微小で、加工間隙及び加工屑の冷却及び排出が充分でないことによる問題を解決する。
【解決手段】被加工体表面に回転筒状電極を微小間隙を隔てて相対向させ、筒状電極から加圧気体を前記間隙を介して外部に噴出させた状態で両者間に電圧パルスを印加し、放電を発生させて加工する気中放電加工において、加圧気体を加工間隙から外部に噴流排出させる筒状回転電極の外周に、所定の厚さで同軸状に包皮した状態の加圧気体噴流を形成させ、該同軸気体噴流に液体ミストを供給して含有させる。
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【課題】 加工特性に悪影響を与えることなく、常に再現性の良い加工を行うことができるようにする。
【解決手段】 被加工物Ｗに近接自在な加工電極７０と、被加工物に給電する給電電極７２と、被加工物と加工電極及び／または給電電極との間に配置され被加工物と接触自在な接触部材７４と、加工電極と給電電極との間に電圧を印加する電源４６と、被加工物と加工電極及び／または給電電極とを相対運動させる駆動部５６，６０と、被加工物と加工電極及び／または給電電極との間に流体を供給する流体供給部７６と、接触部材と被加工物との接触状態を検出する検出器８４と、検出器からの信号を基に接触部材と被加工物との接触量を制御する制御部８６を有する。 （もっと読む）

本発明は、被加工物の不良品化を招くと考えられるピットの発生を効果的に防止することができるようにした電解加工装置及び電解加工方法を提供する。この電解加工装置は、被加工物を加工する加工電極（２１０）と、被加工物に給電する給電電極（２１２）と、加工電極（２１０）と給電電極（２１２）との間に電圧を印加する電源（２３２）と、加工電極（２１０）及び給電電極（２１２）を内部に収納した耐圧容器（２００）と、耐圧容器（２１０）内に高圧液体を供給する高圧液体供給系（２０４）を有する。
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