【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】接着力、観察性、無不純物、耐圧性の観点において実用性に優れた小型反応器を提供する。
【解決手段】
複数の無機透明基板１１〜１３を接着して小型反応器を製造する際に、各無機透明基板１１〜１３の互いに接触して接着される接着面１６〜１９を、先ず、研磨して平坦化した後、接着面１６〜１９の表面を部分的に加工する。次いで、接着面１６〜１９を親水化処理し、純水洗浄を行った後、遠心力によって純水膜を振り切って除去し、接着面同士を接着させた状態で加熱する。接着面間が酸素を介する化学結合によって接着され、複数の無機透明基板１１〜１３が強固に接着された小型反応器１、２が得られる。透明であるから反応が観察でき、強固であるから耐圧が高く、接着剤を使用しないから不純物の溶出がない。 （もっと読む）

【課題】最大長さが数百マイクロメートル以下の微小なダイヤモンド部品であっても良好な表面粗さを実現できるようにすること。
【解決手段】角柱状、角錐状、角錐台状又は凸レンズ形状のダイヤモンドから成る突起部１２，２２，３２，４２を備え、この突起部１２，２２，３２，４２は、２００マイクロメートル以下の最大長さを有し、突起部１２，２２，３２，４２の表面粗さＲｍａｘは、０．１マイクロメートル以下であるダイヤモンド部品。 （もっと読む）

【課題】ミクロンオーダーだけでなくナノオーダーでの微細加工を容易に施すことができるガラス表面の微細加工方法を提供する。
【解決手段】アルカリ酸化物を含有するガラスの表面に凸部を形成するガラス表面の微細加工方法であって、凸部となるべき第２領域の表面に隣接する第１領域の表面を保護層で被覆する工程と、第２領域の表面側からアルカリイオンを除去する工程と、第１領域の表面から保護層を除去する工程と、アルカリイオンが除去された第２領域の表面と保護層が除去された第１領域の表面とを研磨する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーであって、ミラーがその最上面ＴＯＰＳよりも下に形成されている。また、少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法では、絶縁層Ｉを除去することによりミラー板１０Ｂの表面１０ＢＳが露出される。 （もっと読む）

反応性プラズマミーリングを使用してエッチングされた構造の側壁を平滑化する方法。この平滑化法は、構造の壁表面上の表面粗さの原因となる側壁のノッチング深さを減少させる。この方法は、前記シリコン含有構造の内面及び外面から残留高分子材料を除去するステップと、シリコン含有構造にパルス化されたＲＦ電力でバイアスを掛けながら、原料ガスから生成される反応性プラズマでシリコン含有構造の内面を処理するステップを含む。原料ガスは、シリコン及び不活性ガスと反応する試薬を含む。この方法は、内面上に約５００ｎｍ以下のノッチ深さを提供する。
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【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）