【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】塗装がし易く、防錆効果を長期間維持でき、軽量で、低コストで製造できる高圧ガス容器を提供する。
【解決手段】 円筒形の容器本体２の上鏡３に、バルブ６を囲うプロテクター１０が設けられ、容器本体２の下鏡４に支持脚としてリング状のスカート２０が接合されてなる高圧ガス容器１において、バルブ６を容器本体２の上鏡３に取り付けた状態でバルブ６の接続口の向きを前方としたとき、プロテクター１０は、左右方向に、２個に分割されて容器本体２の上鏡３の対抗する位置に設けられてなり、スカート２０は、容器本体２との接合部８に、通気のための開口部２１が、持ち手にもなるサイズで前後左右に４箇所設けられ、スカート２０の下端部２２の曲り部２３に、複数の水抜き用切り欠き２４が設けられてなるように構成する。 （もっと読む）