【課題】基板昇降移送装置７の平面スペースを十分に削減して、工場のスペースの有効利用を図ること。
【解決手段】第１基板処理装置３の一側に第１姿勢切替用保持具３７を備えた第１姿勢切替部材２９が水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、第２基板処理装置５の一側に第２姿勢切替用保持具４９を備えた第２姿勢切替部材４１が水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、第１姿勢切替部材２９の一側に立設した支持フレーム５３に上下方向へ延びた無端状部材６３が循環走行可能に設けられ、無端状部材６３に複数の昇降用保持具６９が周方向に間隔を置いて設けられたこと。 （もっと読む）

【課題】磁性体でなる薄板状のワークを垂直に立てた状態でワーク搬送元からワーク搬送先まで移動させ、かつ、搬送元と搬送先でワーク両面に触れないでワークの着脱を行うことができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】磁性体よりなる薄板状のワークＷを、ワーク搬送元Ａに位置する非磁性体よりなるワーク受承体１１に垂直に立てて載せ、かつ、ワーク受承体１１の背面に磁石１４を密着させることでワークＷを垂直に立てた状態を維持し、この状態でワーク搬送先まで移動し、ワーク搬送先で磁石１４をワーク受承体１１の背面から離間させることでワークＷをワーク受承体１１から取り外せる状態にする。 （もっと読む）