【課題】互いに直交した搬送経路に沿って基板を傾斜姿勢で搬送しながらより少ないスペースで効率良く基板の搬送方向を転換できるようにする。
【解決手段】姿勢変換装置２２は、支持テーブル２２１とこのテーブル２２１を揺動させる揺動機構とを含む。揺動機構は、テーブル上面が特定方向から見て傾斜しかつ当該方向に傾斜姿勢で搬送される基板Ｓを受入れる基板受入れ姿勢と、テーブル上面が特定方向と直交する方向から見て傾斜しかつテーブル上に支持した基板Ｓを当該方向に傾斜姿勢で送り出す基板受渡し姿勢とに亘って支持テーブル２２１を揺動させる。基板受渡し姿勢は、基板受入れ姿勢で受入れた基板Ｓの先頭側の辺Ｓ１を一辺として基板Ｓ上に形成した仮想正方形の対角線のうち当該基板Ｓの先頭下位側の頂部を通る対角線と平行な軸回りに辺Ｓ１が前記直交方向と平行となる位置まで基板Ｓを回動させた姿勢とされる。 （もっと読む）

【課題】 搬送動作が単純であり、短時間で搬送態勢に入ることができる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 真空処理装置１００は、真空予備加熱室１０とプラズマ処理室２０とが連結されており、真空予備加熱室１０内には、基板搬送装置１１，１３が上下２段に配置され、プラズマ処理室２０内には、基板搬送装置２１が配置されている。基板搬送装置１１，１３，２１は、それぞれ揺動軸Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３廻りに揺動し、水平位置と傾斜位置をとる。被処理基板を基板搬送装置１１から基板搬送装置２１へ移送するときは、基板搬送装置１１，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ２に一致させて搬送する。また、被処理基板を基板搬送装置２１から基板搬送装置１３へ移送するときは、基板搬送装置１３，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ３に一致させて搬送する。 （もっと読む）

【課題】 パレットを移し返る作業の作業負荷軽減、及び、省スペース化
【解決手段】 本発明に係るパレット移送ライン１は、パレット５を横置き状態で搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の終端から始端へ、パレット５を返送する返送ライン３とを備えており、返送ライン３が、パレット５を縦置き状態で支持し、搬送ライン２がパレット５を支持する位置よりも低い位置にパレット５の下部を支持する下側支持部１１を備えており、搬送ライン２の終端６と返送ライン３の下側支持部１１との間又は返送ライン３の下側支持部１１と搬送ライン２の始端９との間に、パレット５を斜めに倒した状態で支持する橋渡部材１３、１４を備えていることを特徴としている。 （もっと読む）