【課題】ウェーハにクラックなどが生じること無しに表面保護フィルムを剥離する。
【解決手段】ウェーハ（２０）の表面に貼付けられた表面保護フィルム（１１）を剥離する表面保護フィルム剥離方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハを可動テーブル（３１）上に支持し、表面保護フィルムの一端（２８）において表面保護フィルムに切込み（１５）をウェーハの表面に沿って形成し、表面保護フィルムの一端において切込みが形成された部分の表面に剥離テープを貼付け、可動テーブルをウェーハの他端（２９）から一端に向かう方向に移動させて、表面保護フィルムをウェーハの表面から剥離する。また、切込みが形成された部分を把持した状態で可動テーブルを移動させる場合には、剥離テープを用いることなしに、表面保護フィルムを剥離できる。 （もっと読む）

【課題】薄板状フィルムの接着層側にリリースフィルムが貼着されている柔軟性基材から前記リリースフィルムを剥離し、前記薄板状フィルムを別の基材に連続して貼着する際に、薄板状フィルムに波打ちやしわを発生させることなく、簡単な機構で位置ずれがなく、短時間で連続的にリリースフィルムの剥離および薄板状フィルムの貼着ができるようにする。
【解決手段】シート状に裁断された柔軟性基材３ａはリリースフィルム２を上側にして位置合わせテーブル９に吸着固定する。一部の吸着パッド８ａにてリリースフィルム２の一端を吸着し持ち上げれば、位置合わせテーブル９に吸着固定されたカバーレイ１からリリースフィルム２が捲り起こされる。このリリースフィルム２をチャック機構１１で挟持し、リリースフィルム２とカバーレイ１との間にノズル１２から気体を噴射して、カバーレイ１からリリースフィルム２を剥離する。 （もっと読む）

イメージング装置（３０）内における使用に適した、スタック（４２）からシート・イメージング・メディアを取り出すメディア供給システム（４０）。メディア供給システムは、ピックアップ・アッセンブリ（５０）およびアクチュエータ・システム（５２）を含む。ピックアップ・アッセンブリは、第１と第２のポジションの間において移動可能であり、それにおいてピックアップ・アッセンブリの部分は、ピックアップ・アッセンブリが第１のポジションにあるとき、スタックの第１のシートに選択的に係合するべく構成される。アクチュエータ・システムが、ピックアップ・アッセンブリと選択的に結合され、第１と第２のポジションの間においてピックアップ・アッセンブリを移動し、かつピックアップ・アッセンブリが第１のポジションから移動した後に、第１のシートと係合しているピックアップ・アッセンブリの少なくとも一部を所望の振動数において振動するが、それにおいて所望の振動数は、シート・イメージング・メディアの特性に基づく。 （もっと読む）