【課題】高温時においても起動を円滑かつ確実に行うことのできる電動圧縮機の制御装置、電動圧縮機の起動制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】パワートランジスタの温度が高い状態においても、その温度に応じたモータの回転数や加速レートを設定して徐々に電動圧縮機を起動させる。また、起動開始後は、所定時間毎にパワートランジスタの温度を再チェックしてモータの回転数や加速レートを更新し、パワートランジスタの温度に応じてモータの回転数や加速レートを高めていくことで、迅速な起動を可能とする。起動にともなって電動圧縮機のハウジング内を冷媒が流動しはじめると、制御基板が冷却されてパワートランジスタの温度も低下するので、その効果は相乗的なものとなる。 （もっと読む）

【課題】より簡易、低コストな構成で電動圧縮機の迅速な起動を可能とし、さらに電動圧縮機の軽量化、コスト低減、組立の手間の軽減等を実現することのできる電動圧縮機の制御装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】電動圧縮機のモータを起動するに際し、圧縮機本体の入口側と出口側に差圧が生じている場合には、通常モードよりも低い回転数でモータを起動させる。これにより、例えば圧縮機本体の出口側において冷媒が液化してしまっているような場合であっても、液化した冷媒を押し出すような動作を実行させて、モータを起動させることが可能となる。この場合においては、モータの回転数を段階的あるいは線形的に変化させて上昇していくことで、起動を確実に行いつつも、なるべく早期にモータを要求回転数に到達させる。 （もっと読む）

【課題】真空容器内の真空圧力を変化させる際に、目標真空圧力値に対して行き過ぎることを防止する真空圧力制御システムを提供する。また、真空比例開閉弁の再組立後において、真空比例開閉弁の開度と弁開度指令値の対応関係のずれを補正する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】Ｓ３において、真空比例開閉弁のポペット弁体が弁座と密接している際のポテンショメータの出力値に対応する弁開度指令値を暫定弁開度指令値として求め、Ｓ１１で決定された、新たな真空比例開閉弁の開度の零点は、Ｓ３で取得された暫定弁開度指令値より僅かに変化した弁開度指令値となっている。そして、Ｓ１１で決定された、新たな真空比例開閉弁の開度の零点は、判定値を僅かに下回るものであるから、ポペット弁体が動き始める直後の弁開度指令値となる。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を実現すること。
【解決手段】
吐出ポンプ１３によるレジスト液Ｒの吐出・吸入動作を、正圧、負圧いずれの設定圧にも調整可能な電空レギュレータ５１を用いた作動エアの圧力調整により行うようにした。これにより、モータなどの発熱源が不要となり、吐出ポンプ１３からの発熱が防止される。そして、吐出ポンプ１３の作動室内を負圧として可撓性膜を反ポンプ室側に作動させることで、スプリング等の付勢手段も不要となるし、電空レギュレータ５１と吐出ポンプ１３とを接続する配管に、正圧、負圧を切り換える切換手段等の構成を設ける必要もなく、吐出ポンプ１３の小型化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 貯留槽の容量を十分に確保し、または、モータの回転軸にフライホイールを装着しなくとも、モータの寿命を延ばし、且つ、ウォーターハンマ現象が発生することのない安価なポンプシステムを提供する。
【解決手段】 液体を貯留する貯留槽２と、前記貯留槽２に貯留された液体を移送する電動モータを駆動源とするポンプ４と、前記貯留槽２の液位に応じて前記ポンプ４の起動または停止制御を行なうポンプ制御装置９とを備え、前記ポンプ４の起動時に前記電動モータの始動電流を位相制御により制御する始動制御手段９Ａを備える。
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