【課題】 単一の駆動部と、２つのカム部からなる単一のカムメカニズムとを用いてプランジャの回転および往復移動を正確に具現することによって漏出することなく定量の流体を吐出することができ、プランジャの上下移動量を調節して流体の吐出量を簡単に調節できる流体吐出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の一実施形態によるカム式流体吐出装置はハウジングに回転可能に設けられたシャフトとシャフトに回転可能に配置された第１カム部および第２カム部とを含むカムメカニズムと、カムメカニズムの一側に配置され、第１カム部との連動によって上下に回動可能な上下往復駆動部と、上下往復駆動部の回動によって下向移動可能であり、カムメカニズムの第２カム部によって回転可能に構成されるプランジャ部と、プランジャ部の下部に配置され、プランジャ部の上下移動によって流体の流入および吐出がなされプランジャ部の回転運動によって流体の流入ポートおよび排出ポートが開閉するノズルユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】往復型ポンプを利用した無脈動ポンプにおいて、機械系のがた等により生じる吐出期間初期の吐出量の減少を精度よく抑制する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１２の吐出期間の初期における吐出量の減少を、その期間の直前にプランジャ１６を吐出方向に駆動してポンプ室１８の容積を減少することによって防止する。このポンプ室容積の減少を、想定される吐出量の減少量より大きく設定し、実際の減少量と大きく設定された減少量の差分を、ポンプ室内の圧力により容積が変化する容積調整機構４０の容積変化により相殺する。容積調整機構４０の容積変化の量（調整量）は、圧力センサ４４により検出された平均吐出圧力に基づき設定される。平均吐出圧力と、その圧力において脈動を最小にする調整量をあらかじめ記憶部８６に記憶しておき、制御部４６は、この情報と検出された平均吐出圧力に基づき調整量を設定する。 （もっと読む）

【課題】駆動部材をシールする部材の交換等が容易なスピンレス法によりレジスト液を塗布するベローズポンプを提供する。
【解決手段】非圧縮性液体を収容する室をベローズ室２１とシリンジ室４１とに区分けし、ポンプヘッド１０およびベローズ２０を備えるポンプユニット２と、シリンジ本体４０、ピストンロッド５８等の駆動部材、およびパルスモータ５０等の駆動手段を備えるシリンジユニット３と、の２つのユニットからベローズポンプを構成した。ピストンロッド５８の移動によりシリンジ室４１の容積が変化し、非圧縮性液体がベローズ室２１へ流出入してベローズ２０が伸縮する。このように構成することで、長尺のシリンジユニット３を縦置きとすると共に、蛇腹部におけるレジスト液の滞留等を防止するためにベローズ２０の伸縮が水平方向となるようにポンプユニット２を配置できる。また、これらのユニットを着脱自在とすることで部材を容易に交換できる。 （もっと読む）

【課題】 ピストンを構成する部品点数を削減して容易に組み立てることができるようにすること。
【解決手段】 少なくとも円筒状のシリンダーと、該シリンダー内に摺動可能な状態で挿設されたピストンが端部に接続されたシャフトとを備えた定量ポンプであって、前記ピストンは前記シャフトとの間で弁機能を発揮するようにすることによって、ピストンを構成する部品点数を削減して容易に組み立てることができるようにすることができるようになる。 （もっと読む）