【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】容器５１と、容器５１の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体５２と、容器５１の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体５２を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ５４とを有する。 （もっと読む）

ゲッターポンプ（１２０；２２０）及びイオンポンプ（１３０；２３０）を含む複合型ポンプシステムは、説明される。ゲッターポンプ及びイオンポンプ（１２０，１３０；２２０，２３０）は、システムの真空レベルを改善するために、ゲッター及びイオンポンプ双方の伝導率が真空チャンバーのガス流量の源に向かって最大化されることができるように、同じフランジ（１１１；２１１）に直列に取り付けられており、それぞれそれに関して両側に配置される。
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複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
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【課題】チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０はカバー１２によって覆われている。カバー１２とゲッター膜１０との間には隙間１３があり、その隙間１３は開放されている。 （もっと読む）

【課題】異なる非希ガスが異なる温度にて選択的に排気されるように加熱装置を有するインシトゥーゲッターポンプを提供する。
【解決手段】本ウェハー処理装置は、処理チャンバーと、チャンバーから希ガスを排気するめために処理チャンバーと結合されている低圧ポンプと、希ガス源と処理チャンバーとを結合するバルブ機構と、処理チャンバー内に配置されていると共に、希ガスの流れが前記チャンバー内へ流入する間、特定の非希ガスを排気し得るインシトゥーゲッターポンプと、処理チャンバー内に配置されるウェハーを処理するための処理システムとを備える。インシトゥーゲッターポンプは、異なる温度で異なる種類のガスを選択的に排気するために数多くの異なる温度にて作用することが好ましい。ガス分析装置は、チャンバーから排気されるガスの種類を制御すべくゲッターポンプの温度を自動的に制御するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子放出構造が簡単に構成される、低電力消費の無磁気静電サドルフィールド型スパッタイオンポンプに関する。
【解決手段】本発明に係るスパッタイオンポンプは、側壁に電子注入孔を有する真空容器と、前記真空容器の中心軸に対して対称になるように前記真空容器に設置された二本の棒状の陽極電極と、前記電子注入孔に対応して、前記真空容器の外側に設置された少なくとも一つの冷陰極電子放出装置と、を含む。 （もっと読む）

本発明は真空ポンプで1次真空処理された密閉された容器内の残留気体を化学反応で吸収して高真空を作る事が出来るLCDゲッターに関するもので、特に上記ゲッターの構成成分に水銀を含ませてTFT-LCDの冷陰極蛍光ランプに専用に使えるようにしたものである。
また本発明のゲッターはTFT-LCDの面発光方式である四角蛍光ランプと水銀が微量含まれた高真空ランプそして水銀が微量内在した不活性ガス雰囲気ランプ種類にも使えるようにしたものである。 （もっと読む）