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Fターム[3H077CC00]の内容

往復動ポンプ (9,475) | 作動室の型式 (2,067)

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【課題】高出力なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ1は、第1の基材10と、第2の基材20と、ガス発生材30とを備えている。第1の基材10には、第1のマイクロ流路11が形成されている。第1のマイクロ流路11は、第1の基材10の一主面10aに開口している第1の開口部11aを有する。第2の基材20には、第2のマイクロ流路21が形成されている。第2のマイクロ流路21は、第2の基材20の一主面20aに開口している第2の開口部21aを有する。ガス発生材30は、第1の基材10の一主面10aと、第2の基材20の一主面20aとに接着されている。ガス発生材30は、第1及び第2の開口部11a、21aを塞いでいる。第1の開口部11aと第2の開口部21aとは、ガス発生材30を介して対向している。 (もっと読む)


本発明は、セミコンダクターオンインシュレーターと呼ばれるウエハ内に所定の厚さdを有するキャビティ及び/又は膜(24)を集合的に製造する方法に関連し、絶縁層上で厚さdを有する少なくとも1つの半導体表面層を備え、この絶縁層自体は基板上に支持され、この方法は、前記表面層内に前記キャビティ及び/又は膜を形成するために、厚さdを有する半導体表面層をエッチングする段階であって、この絶縁層が停止層を形成する段階を備える。
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