【課題】真空度付与装置において高い真空度から低い真空度への切替を速やかに行うことを可能とする真空度切替方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着または離脱させる吸引チャック７に接続されている流路部分８を高い真空度の第１の負圧にある状態から相対的に低い真空度に低圧化するに際し、第２の負圧制御装置４に流路部分８を接続した直後に、オン・オフをわずかな期間オフ状態として、流路部分８に外気を導入し、次に、オン・オフバルブ６をオン状態として、第２の負圧制御装置４から吸引チャック７に至る流路部分の低圧化を果し、しかる後、オン・オフバルブ６をオフ状態としてワークＷを離脱させる、真空度切替方法。 （もっと読む）

【課題】油がシリンダ内に混入したとしてもこれを効率的に回収し、シリンダ内が油によって過度に汚染されることを防止し、分解清浄化の頻度が少なく、かつ外部を油で汚染しない高圧流体発生装置を実現する。
【解決手段】ピストンロッドを備えたピストンをシリンダ内に設け、ピストンの一方の側に復帰バネを設け、他方の側を圧力室として、圧縮空気を給排気弁を介して圧力室に給排することによってピストンが往復動作し、その往復動作によってプランジャ式ポンプを駆動して、高圧流体を発生する装置において、シリンダ内から外界に接続された油回収用経路と、油回収用経路に設けられた油回収用逆止弁と、を本体に設ける。 （もっと読む）

【課題】圧力空気の排出時における不都合の発生を防止することができる残圧排出弁を提供する。
【解決手段】残圧排出弁１１のケーシング１２には二つのケーシング側鍵孔２０ａがノブ１３を介して相対向して形成されている。ノブ１３には、供給位置にて二つのケーシング側鍵孔２０ａと合致せず、排出位置にて二つのケーシング側鍵孔２０ａのうちの一つに合致するノブ側鍵孔２５が形成されている。また、ノブ１３には、供給位置から排出位置へのノブ１３の回転に連動してノブ側鍵孔２５と合致しないケーシング側鍵孔２０ａを閉鎖する第３突片２３が設けられている。 （もっと読む）