【課題】中心部に回転軸を有して高速回転をするターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータの外周部に突設されている多数の動翼にかかる遠心力によって該ロータの変形をきたし、ロータと回転軸との嵌合が緩むのを防止する。
【解決手段】分子ポンプのロータ１は、複数の動翼１ｂからなる動翼段を中空の円筒状のハブ部１ａの外周に放射状に且つ多段に突設すると共に、該ハブ部１ａの末端部に軸方向へ突出するボス部１ｃを設けてロータ１をカップ状に形成し、該ボス部１ｃに設けた軸孔１ｄに嵌合するのは回転軸２の先端部のねじ部２ａに螺合するナット３を用いて前記ロータを回転軸２に締結した。 （もっと読む）

【課題】ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、安全な状態に管理することが容易にできる電源一体型真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離可能に固定された電源一体型真空ポンプにおいて、ポンプユニット２０は、分離判定用データが記憶されたＲＦＩＣタグ４４を備え、コントロールユニット３０は、ＲＦＩＣタグ４４に記憶されたデータを読み取るリーダ３５と、リーダ３５によるデータの読み取りができなかったときに分離情報として分離フラグＯＮを保持する記憶部３５ａとを備え、主制御部３１は電源投入時に記憶部３５ａに分離フラグＯＮが保持されている場合に、ポンプユニット２０の起動を禁止する。 （もっと読む）

【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニットが非正規に分解されるのを、確実に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニットは、複数の分解検知用データが記憶されるデータ記憶部４５２と、ポンプユニットが組立状態から非組立状態になると、データ記憶部４５２に記憶されている分解検知用データを消去する分解検出スイッチ４５１と、を備え、コントロールユニット３０の主制御部３１は、データ記憶部４５２に複数の分解検知用データが記憶されているか否かをそれぞれ判定し、複数の分解検知用データの少なくとも一つに関して記憶されていないと判定されるとポンプユニットの運転を禁止する。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝
ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効
率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ
３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面
に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した
。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ４を構成するロータ４のロータ円筒部９の最下部にリング材５１が形成されている。リング材５１は、炭素繊維強化プラスチック等の繊維強化複合材料により形成されている。ロータ４に、ロータ４とは別部材としてリング材５１を形成することにより、ロータ４に発生した亀裂の進展が遅延し、ロータ４が分裂する際の破壊トルクを大幅に低減する。 （もっと読む）

【課題】
コネクタ直近の主ケーブル端に板金加工等で作製する一定形のシールド筐体を不要とし、ケーブル組立品の製造コストを低減し、コネクタ締結・開放作業を簡素化し、かつシールド効果を改善できる可撓性のケーブル配設構造を提供する。
【解決手段】
主ケーブル９Ｎの端部でシールド１８を半開し信号伝達用芯線１４を取り出し制御コネクタ８に接続する。電力供給用芯線１５はシールド１８とともに折返し、シールド１８は分岐ケーブル１１Ｎのシールド１９Ｎとして利用する。電力供給用芯線１５は分岐ケーブル１１Ｎを介して電力コネクタ５に接続する。各芯線の露出部分および露出部分から制御コネクタ８に至る部分はシールド３２およびジャケット３１で被覆し、可撓性と密接性を確保する。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ軸５は、上端部に嵌め合い軸部５ａを有し、ロータ４の中央部には、厚さ方向に貫通する嵌合用開口部４ａが形成されている。ロータ４は、中央部において、ロータ軸５の嵌め合い軸部５ａと軸方向において重合する部分を有しておらず、ロータ４とロータ軸５の嵌め合い軸部５ａとは、冷やし嵌めまたは焼き・冷やし嵌めのみによって固定されている。ボルト締結部を有していない分、ロータ４は質量が小さくなり、破壊トルクを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】温度センサによる異常温度の検知に応答して直ちに真空ポンプのモータ駆動を零にしてしまうと、異常温度が生じた状況・原因に拘わりなく所謂フリーランの状態となってしまうという問題があった。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１に内蔵されているモータ６の温度を検出するモータ温度センサ３１と、複数のモータ温度に対応した重み値を記憶しておく記憶部８６と、モータ温度センサ３１により検出されたモータ温度に対応する重み値を記憶部８６から１秒（または、所定の周期）毎に逐次読み出す温度制御部８４と、温度制御部８４から供給された重み値を累算する累積演算部８８とを備えており、温度制御部８４は、累積演算部８８による累算結果に応じてアラーム発報を表す応答信号ＳＧ８４を発する構成としてあるので、モータ温度の変化状況に応じてアラーム発報時刻を適切に可変制御することができる。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ４に一体に形成されたロータ円筒部４ｂの最上段のネジ溝４ｂ２にリング部材２１を嵌合する。リング部材２１は、ロータ４とは別部材として焼き嵌めにより取り付けられる。リング部材２１は、ロータ４に発生した亀裂を一旦停止させるので、ロータ４が分裂する際の破壊トルクを低減する。 （もっと読む）

【課題】ケース部材の吸気口側にロータ翼の直径より小さい絞り部が形成された構造において、異常により分裂したロータによるケース部材への衝撃を小さくする。
【解決手段】吸気口１５を有する上ケース１２内には、ロータ４に設けられたロータ翼４ａとステータ翼６が多段に積層された翼排気部２が構成されている。ステータ翼６は上下に配置されたスペーサ５に挟まれて取り付けられる。最上段のスペーサ５の上面は、最上段のロータ翼４ａの上面より吸気口１５側に配置され、この最上段のスペーサ５上に上ケース１２の絞り部１２ａの内面から離間して衝撃干渉部材２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】全速力で回転する際にロータが破損した場合、締結装置ねじが破断しポンプが外れるのを回避する真空ポンプ用の締結装置構造を提供する。
【解決手段】真空ポンプを真空容器などに取り付けるフランジ１４に設けたねじ１７を通す貫通穴１６の形状を、構造壁２に隣接するフレア状近位セクション１６ｂとそれに続く円筒遠位セクション１６ａを含む形状にして、ねじ軸部１９の曲げおよび対応する横方向の偏りＤを可能にする変位空間を設けた。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプのロータに対して遠心力によって生じる応力の集中を緩和する。
【解決手段】ネジ突条部３３の排気側端部、および、ネジ溝部３４の排気側端部にＣ面取りを施すことで、ネジ突条部３３とネジ溝部３４とを接続する箇所の質量が減少して、遠心力による応力が低減されるとともに、ネジ突条部３３とネジ溝部３４とを接続する箇所の形状が、より応力が集中しにくい形状となる。 （もっと読む）

【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔２１０が形成された吸気口フランジ２１ｂを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ２１ｂのシール面側にボルト孔２１０毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔２１０が形成された円形凹部２１２と、を備え、円形凹部２１２は、ボルト孔２１０に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースＳ２と、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースＳ２よりも大きな周方向ボルト変形スペースＳ１とを有する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ターボ用コントローラ５０は、定格回転数のＤＣモータ４２の電流値が所定の閾値を超えたか否かを判断する。閾値は、反応生成物がターボ分子ポンプ本体１に流入した際の、ターボ分子ポンプの負荷に対応しており、電流値と閾値との比較によって、反応生成物流入を常時監視し得る。反応生成物のターボ分子ポンプへの流入が開始すると、電流値は急激に上昇し、閾値を超える。内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。そこで、ターボ用コントローラは、定格回転数運転時に電流値が閾値以上となり、かつ内部温度が閾値未満のときに、インターロック動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）