【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バルブを使用することなく流路の切換えが可能な流路切換装置の提供。
【解決手段】所定の流体の導入路または排出路となる流路が形成された流路ヘッド部と、該流路と連通状態となる流路が形成された流路ポート部と、を少なくとも備え、流路ヘッド部と流路ポート部の両方またはいずかれ一方が二以上設けられており、流路ヘッド部と流路ポート部との組み合わせを切換えることによって、一又は二以上の連通流路が形成される流路切換装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スケール粒子の分布密度の偏りを抑制して良好な捕集効率が得られるボイラ蒸気管のスケール捕集装置を提供すること。
【解決手段】ボイラからの蒸気をタービンへ導く蒸気配管内に設置され、蒸気主流が下向きの流れから横向きの流れに流れ方向を変える曲がり部３に設けられて蒸気中に混入したスケール粒子Ｐａを分離させるボイラ蒸気管のスケール捕集装置１０Ａが、曲がり部３に連通する分岐部１１Ａと、分岐部１１Ａの下方に捕集空間を形成するポケット部１２とを備え、分岐部１１Ａに連通する蒸気配管の上流側及び下流側の少なくとも一方に蒸気主流の流路断面積拡大部１４を設けた。 （もっと読む）

【課題】 配水管を流下する沈降性物質だけでなく、管内全体を流動する浮遊性物質も捕集できる管内濁質除去装置とその設置方法を提供する。
【解決手段】 配水管（１）の分岐管（２）にノズル収納ケース（４）を着脱自在に立設し、ノズル収納ケース（４）に垂下した吸込管（８）の下端部に可撓性の吸込ノズル（１３）を連結すると共に、吸込ノズル（１３）を配水管（１）の上流側（Ｈ）の管底（１ａ）に摺接させて先端部の先端ノズル（１３ａ）を管頂（１ｂ）方向に拡開させ、吸込ノズル（１３）の曲折部に中間ノズル（１３ｂ）を配設したもので、管底（１ａ）を流下する比重大、粒径大の砂等の懸濁物質と、配水管（１）全体を浮遊しながら流下する懸濁物質を捕集することができる。工事対象配水管近傍に一時的に取り付けが可能となり、現地施工とメンテナンスが簡単で設置スペースの小さい管内濁質除去装置となる。 （もっと読む）