【課題】従来の主軸では、高回転精度、高速回転が可能で超音波振動を発振することのできるものは市販されていない。これは、超音波振動の効果をマイクロ加工などにおいて有効利用していないからである。
【解決手段】超音波振動子を内蔵した主軸筒、モータおよび流体静圧軸受により構成された流体静圧軸受超音波振動主軸を提案した。超音波振動子は、電歪素子とフランジ、これらをボルトにより締結した軸からなっており、超音波振動子で発生する振動を、振動ホーン、チャックを介して工具に伝える超音波振動系を構成している。超音波振動系は、振動の節の位置となるフランジ部で主軸筒に固定され、主軸筒は、流体静圧軸受により保持され、回転可能である。モータおよび電歪素子は、外部より高周波電力をに非接触供給される。超音波振動子、振動ホーンおよびモータの発熱を冷却する目的で、フランジ、モータロータなどに穴が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基本的には１点で支持することにより、回転損失、振動抑制などの問題を解決すると共に、超電導体の冷却を容易にする。
【解決手段】 本発明は、ハウジング側に取り付けられたモータステータと協働して発電電動機を構成するモータロータを固定する回転主軸を支持するために、回転主軸の上端部をラジアル方向に支持する位置決め用の永久磁石反発形磁気軸受と、ラジアル方向及びアキシャル方向の安定化を図る１つのみの超電導軸受とを備える。この超電導軸受は、回転主軸の下端部を支持する。超電導軸受は、回転主軸の下端をラジアル方向に位置決めするために、回転主軸の下端外周面に固定された永久磁石と、これに対向してハウジングに取り付けられた超電導体によって構成され、さらに、回転主軸をアキシャル方向に支持する浮上用の永久磁石磁気軸受を備える。 （もっと読む）

【課題】 回転体のラジアル制御軸方向およびアキシアル制御軸方向の変位を正確に検出することができ、しかも、変位センサユニットの構造が簡単で、部品点数が少なくてすみ、製作が容易で、コストダウンが可能な磁気軸受装置の変位検出装置を提供する。
【解決手段】 ２組の変位センサユニット6,7のそれぞれが、回転体1のターゲット部15,17の片側の縁部に対向するとともに２つのラジアル制御軸上に位置するように周方向に等間隔をおいて配置された４個の変位センサ16a,16b,16c,16d,18a,18b,18c,18dを備えている。変位演算手段が、８個の変位センサの出力を用いて所定の演算を行うことにより、一方の変位センサユニット6の部分における２つのラジアル制御軸方向の回転体1の変位、他方の変位センサユニット7の部分における２つのラジアル制御軸方向の回転体1の変位、および回転体1のアキシアル制御軸方向の変位を求めるものである。 （もっと読む）

【課題】 移動体の円滑な動作および位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に油圧を供給することを可能とする。
【解決手段】 ベース３から、該ベース３に直線移動可能に支持された移動体４に対して流体を供給する流体供給機構１であって、ベース３または移動体４のいずれか一方に固定され、移動体４の移動方向に沿って配置された中空ロッド６と、ベース３または移動体４のいずれか他方に固定された流体室７とを備え、該流体室７の対向する一対の壁面１０に、径方向に隙間をあけて中空ロッド６を貫通させるロッド挿通孔１０ａが設けられ、中空ロッド６に、該中空ロッド６内部とその周囲の流体室７内部とを連絡する貫通孔８が設けられ、ベース３に固定された、中空ロッド６の内部空間６ｂまたは流体室７のいずれかに、流体供給配管９が接続されている流体供給機構１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 方向性の小さい電磁鋼板積層部品を提供する。
【解決手段】 電磁鋼板積層部品13,14は、複数の圧延電磁鋼板製円環状板部材17が積層されたものであり、圧延方向が所定角度ずつ異なる複数種類の板部材17が積層されている。 （もっと読む）

【課題】 回転体の軸方向の変位を正確に検出することができ、しかも、アキシアル変位センサユニットの構造が簡単で、部品点数が少なくてすみ、製作が容易で、コストダウンが可能な磁気軸受装置の変位検出装置を提供する。
【解決手段】 ２組のラジアル変位センサユニット6,7のそれぞれが、回転体1の外周部のターゲット部15,17に対向するように周方向に等間隔をおいて配置された４個のラジアル変位センサ16a,16b,18a,18bを備え、１組のアキシアル変位ユニット8が、回転体1の外周部のターゲット部17の軸方向両縁部に対向するように軸方向に間隔をおいて配置された１対のアキシアル変位センサ19a,19bを備えている。変位演算手段が、ラジアル変位センサの出力より回転体1の径方向の変位を演算し、アキシアル変位センサの出力より演算した値をラジアル変位センサの出力に基づいて補正することにより回転体1の軸方向の変位を演算する。 （もっと読む）

本明細書に開示されるのは、回転可能要素のための磁気駆動手段および磁気ベアリング手段の両方を提供するように構成されたステータおよびロータを有する装置である。ステータおよびロータは、協調して作動して、ロータに連結されている回転可能要素を軸まわりに回転させ、軸まわりの回転可能要素の半径方向、軸方向および傾き位置を制御するための磁力を提供するように構成されている。ロータおよびステータアセンブリは、相補的な表面形状をもって構成されて、駆動、および連結している回転可能要素の軸方向、半径方向および傾き位置を制御するための付形可能な磁気駆動力および付形可能な磁気ベアリング力を生じさせる。

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外部から供給される加圧気体が定盤（１６）にそれぞれ設けられた細孔（６６ａ，６６ｂ）から上下方向にそれぞれ噴出され、これらの加圧気体が、ステージ（ＲＳＴ）の第１、第３凹部（５６ａ，５６ｃ）でそれぞれ受けられる。そして、第１凹部で受けられた加圧気体は、第１通気路（５８ａ，１６１，５８ｂ）を介してステージ底面の第１凹部とは異なる位置に導かれるとともに、軸受部（５７）から定盤に向けて噴出され、この加圧気体の静圧によりステージが定盤の上方で浮上支持される。このとき、第３凹部に作用する下向きの圧力と、第１凹部に作用する上向きの圧力とのバランスにより、ステージを定盤の上方に所定のクリアランスを維持した状態で支持することができる。従って、小型軽量のステージに配管を接続することなく、定盤上で高精度な非接触駆動を行うことができる。
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【課題】 組立時の作業性が良く、不良品発生のおそれが少なく、不良品発生時の対応が容易で、安価に製作できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体2と、複数組の軸受用部品がハウジング3の内側に固定された軸受部分1とを備えている。軸受部分1が、分割ハウジング部材14a〜14eの内側に軸受用部品が固定された複数の部品装着ユニット13a〜13eに分割されて、これらの分割ハウジング部材14a〜14eを連結することによって軸受部分1が組み立てられている。軸受用部品の電線が接続されたコネクタ15a〜15eが分割ハウジング部材14a〜14eに取り付けられ、合成樹脂モールド部16により、分割ハウジング部材14a〜14eのコネクタ取付部分が密封されるとともに、少なくともコネクタ15a〜15eに接続された電線の部分が被覆されている。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】 主軸の軸受として非接触の軸受では、油静圧軸受による高速回転での発熱の問題、空気静圧軸受による低速回転での低い軸受剛性の問題を解消でき、耐久性が高く、加工精度が維持され、しかも、精密な加工に柔軟に対応できる工作機械の主軸装置を提供する。
【解決手段】 主軸ヘッドに対し、主軸７を回転自在に支持する軸受に、主軸をその径方向、または、軸方向に支承する静圧軸受１７を用い、たとえば、主軸７の低速回転のときは油静圧軸受に切り換えるための油供給用電磁弁１を設け、高速回転のときは空気静圧軸受に切り換えるための空気供給用電磁弁２を設けるとともに、加工に応じて油供給用電磁弁１と空気供給用電磁弁２とが切り換えられ、同じ管路９の中で油と空気とが使い分けられることを特徴とする工作機械の主軸装置６である。 （もっと読む）

【課題】 正常な変位センサのキャリブレーションができないことによる不具合をなくすことができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体4と、電磁石26,27,28の磁気吸引力により回転体4を非接触支持する磁気軸受5,6,7と、回転体4の変位を検出するための変位センサ23,29,30と、回転体4を回転させる電動モータ9と、回転体4の回転数を検出するための回転センサ10と、タッチダウン用の保護軸受11,12と、変位センサ23,29,30の出力に基づいて磁気軸受5,6,7の電磁石26,27,2を制御するとともに回転センサ10の出力に基づいて電動モータ9を制御する制御手段とを備えている。制御手段が、磁気軸受5,6,7の起動時において、回転センサ10の出力から回転体4の回転の有無を判別し、回転体4が回転しているときには変位センサ23,29,30のキャリブレーションを行なわず、回転体4が回転していないときには変位センサ23,29,30のキャリブレーションを行なう。 （もっと読む）

【課題】 強力な永久磁石を利用した非接触で作動する磁気軸受を提供する。
【解決手段】 ラジアル磁気軸受１０は、インナレース１１とアウタレース１３を有する。インナレース１１の外周面にはリング状の永久磁石１２が取付けられ、アウタレース１３の内周面にはリング状の永久磁石１４が取付けられる。対向する一対の永久磁石１２，１４は強力な磁力を有し、同一の磁極面を有する。両磁石は最小間隙Ｇをもって配設され、その反発力によりインナレース１１とアウタレース１３は非接触で回転することができる。 （もっと読む）

【課題】 強力な永久磁石を利用した非接触で作動する磁気軸受を提供する。
【解決手段】 ラジアル磁気軸受１０は、インナレース１１とアウタレース１３を有する。インナレース１１の外周面にはリング状の永久磁石１２が取付けられ、アウタレース１３の内周面にはリング状の永久磁石１４が取付けられる。対向する一対の永久磁石１２，１４は強力な磁力を有し、同一の磁極面を有する。両磁石は最小間隙Ｇをもって配設され、その反発力によりインナレース１１とアウタレース１３は非接触で回転することができる。 （もっと読む）

【課題】 排気の良好を図りながら、同じ外径寸法でも軸受性能を従来より向上させることができ、また軸受性能を下げずに外径の小型化が図れるものとする。
【解決手段】 ハウジング１の内径面に軸受スリーブ２が嵌合し、軸受スリーブ２内を貫通した主軸３が、ジャーナル軸受４およびスラスト軸受５により回転自在に支持される。各軸受４，５は、絞り孔８，１０から軸受隙間ｄ１，ｄ２に気体を供給する静圧気体軸受である。これら軸受隙間ｄ１，ｄ２から排気する排気路２１を主軸３内に設ける。主軸３のフランジ面の立上り部には盗み部１６を設け、排気路２１はこの盗み部１６に開口させる。 （もっと読む）