【課題】比較的高い剛性と優れた高速安定性とを得ることができる浮動ブッシュの特長を利用でき、しかも、より高い１次共振速度とすることができて、安定限界速度を更に向上させることができると共に簡単な構造とし得る静圧気体軸受機構並びにこれを用いた軸回転装置及びスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受機構２は、中空体１１と、中空体１１に対して隙間１３をもって当該中空体１１の内部１４に配されている浮動ブッシュ１５と、中空体１１及び浮動ブッシュ１５に対して隙間１６をもって中空体１１の内部１４に配されていると共に中空体１１に対して回転自在であるスピンドル１７と、中空体１１の外部１８から中空体１１の内部１４への高圧空気の給気のための給気通路１９と、中空体１１の内部１４から中空体１１の外部１８への高圧空気の排気のための排気通路２０とを具備している。 （もっと読む）

ある典型的な実施例が、ラジアル磁気軸受の静止部を具えたシステムを具えている。ラジアル磁気軸受の静止部が、複数の電磁石を具えている。ラジアル磁気軸受の静止部が、複数のパルス幅変調増幅器を具えており、そのそれぞれが、複数の電磁石のうちの対応する電磁石に電気エネルギを出力するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構成で信頼性が高く高効率である磁気軸受式ポンプを提供する。
【解決手段】液体流路２ｃを有するケーシング２と、ケーシング２内に収容されて液体流路２ｃ内の液体を移送するインペラ１０ｂを有するロータ１０と、ロータ１０を非接触で支持する磁気軸受１６とを備えたポンプ１であって、磁気軸受１６は、ロータ１０に回転軸線Ｚが一致するように設けられた透磁性及び導電性を有する円筒状導体１１と、円筒状導体１１の外周面に対向する状態で周方向に間隔をあけて極性が交互に異なるように設けられた複数の主磁石５を有するステータ９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつ主軸を高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられたスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。これらのスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、他方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。この永久磁石２８ａａに挟まれるようにモータステータ２８ｂが配置される。モータ２８は、アキシアルギャップ型のコアレスモータで、モータステータ２８ｂは集中巻き方式の複数個のコイル２８ｂａを有し、それらのコイル２８ｂａが周方向に複数並び互いに一体化された複数個のモジュールに分けて構成する。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつモータの消費電力を最小に抑えることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受の電磁石１７は、主軸１３に設けられたスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向する。アキシアルギャップモータ２８のモータロータ２８ａは、前記スラスト板１３ａ，１３ｂとこのスラスト板に設けられた永久磁石２８ａａとで構成される。モータロータ２８ａとモータステータ２８ｂ間の角度を検出する位置センサと、モータロータ２８ａの回転速度を検出する速度センサと、モータコイル２８ｂａに流れる電流を検出する電流センサとが設け、これらの出力よりモータコイル２８ｂａへの電圧印加のタイミングを決定する。 （もっと読む）

【課題】軸が頑丈で保守の乏しく簡単な形式に軸ケーシングに支承されているターボ機械を提供すること。
【解決手段】ターボ機械の、軸３を軸方向と半径方向に支承する軸受８は静液圧ガス混合された軸受８として形成され、軸３は静液圧ガス混合された軸受８によって、軸受作用が軸３の回転速度と無関係に或いは少なくとも大幅に無関係であって、それによりターボ機械１の始動中にも軸３の十分な支持と回転数と無関係に大きな剛性と圧力衝撃負荷に対する僅かな抵抗力不足が保証されるように支承されていて、圧縮ガス導管１０における接続部９の圧力が通気接続部１４の領域内の圧力より少なくとも５バールより大きい。 （もっと読む）

【課題】非磁性体からなる転動体を備えた保護ベアリングにおいて、磁化された内輪の連れ回りを抑制すること。
【解決手段】内輪41及び外輪42は、磁性体の部材により形成され、転動体43は、非磁性体により形成されている。磁気誘導体44は、磁性材により形成された部材であり、磁化された内輪の磁気を、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導する磁気誘導機能を備える。磁気誘導部44bは、軸受固定部44aの内周縁部から、軸受固定部の延長方向及び軸方向に張り出した部位から構成され、より磁気抵抗が小さくなるように外輪と接触されている。保護ベアリングの内輪と磁気誘導部との隙間の間隔βは、内輪の内周面とシャフト7の外周壁面との隙間の間隔αと比較して十分に小さくなるように構成されている。このように、間隔β＜間隔αとなるように磁気誘導体を設けることにより、より多くの磁束を拾い、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導することができる。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させ、安定した高速回転を行うことができ、かつ軸方向移動自由側の転がり軸受のフレッティング摩耗を防止する空気サイクル冷凍機用タービンユニットを提供する。
【解決手段】主軸１３の支持に、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受を構成する電磁石１７に対向するように取付けられたスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう一方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。一方の転がり軸受は、軸受箱４１内に圧入または接着する。軸受箱は、スピンドルハウジング１４の内に摺動自在に嵌合させる。その嵌合面に、弾性シール材を設けた高粘性材４３を封入し、転がり軸受に予圧を与える予圧用ばね２６を設ける。 （もっと読む）

【課題】フランジ部を有する回転軸を非接触で支持することのできる回転軸付き軸受装置を提供することにある。
【解決手段】フランジ部１ａを有する回転軸１と、回転軸１の径方向荷重を支持するラジアル静圧気体軸受２，３と、フランジ部１ａを介して回転軸１の軸方向荷重を支持するスラスト静圧気体軸受４，５と、ラジアル静圧気体軸受２，３及びスラスト静圧気体軸受４，５を収容する軸受ハウジング６とを備えてなる回転軸付き軸受装置において、スラスト静圧気体軸受４，５に加圧気体を供給する給気ポケット４ａ，５ａをスラスト静圧気体軸受４，５の外周面に設けた。 （もっと読む）

【課題】低真空側の転がり軸受の振動可能性および抵抗可能性という特に矛盾する要求を満たす真空ポンプの軸の支持装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ハウジングと、軸線方向に力を発生し且つ軸方向剛性を有する第１の軸受と、転がり軸受として形成され且つ軸方向および半径方向剛性を有するホルダ内に配置されている第２の軸受とを備えた真空ポンプの軸の支持装置に関するものである。第２の軸受に高い軸方向力が加えられたときに軸受の振動可能性が失われることを回避するために、前記ホルダが振動台および固定部を含み、この場合、振動台は、振動台の軸方向および半径方向運動を可能にするメタル結合要素を介して、ハウジング内に保持されている固定部と結合されていることと、および振動台と固定部との間に配置されている軸方向ばねにより、ホルダの軸方向における剛性がホルダの半径方向における剛性より大きく、この場合、ホルダの軸方向剛性が第１の軸受の軸方向剛性より大きいこととが提案される。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４及び第２の板状部材５と、本体の外表面から中空部まで貫通する第１の空気供給路２ｇと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、回転軸の外周面上の溝部３ａと、溝部の底部から回転軸の一端まで貫通する第３の空気供給路３ｂ、３ｃと、第１の板状部材に、第３の空気供給路と連通する第２の空気排出路４ａ、４ｂとを備え、空気が第１の空気供給路、溝部、第３の空気供給路、第２の空気排出路の順に通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４と、第２の板状部材５と、第１の板状部材を囲繞し、本体に固定される蓋体７と、蓋体の外表面から、蓋体の第１の板状部材と相対向する面上の、回転軸の軸心を中心とする円形開口部まで貫通する第１の空気供給路７ａと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、蓋体７の円形開口部に連通するように設けられる第２の空気排出路４ａ〜４ｃとを備え、空気が第１の空気供給路、第２空気排出路を通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
（もっと読む）

【課題】ダンパ効果を向上させることができ、さらにダンパ効果を回転体に加わる外乱に応じて調整することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】固定子側軸受磁極６、７の溝に電磁石巻線１２、１３を挿入し、回転子側軸受磁極２と固定子側軸受磁極６、７との間にダンパ用電極部材１６、１７を配置し、回転体１の半径方向への振動が生じたときに、電磁石巻線１２、１３に流す電流の直流成分を増加させるとともに、電磁石巻線１２、１３に流す電流に交流電流成分を重畳する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプにおいて、振動検出センサの取り付けを容易とし、製造経費を抑制する。
【解決手段】真空ポンプ１は、磁気浮上により回転支持されるロータにより吸排気を行う真空ポンプであり、ロータを磁気浮上させ回転駆動させるポンプユニット２と、ポンプユニットに磁気浮上および回転駆動のための電力を供給する電源ユニット３とを備え、このポンプユニット２と電源ユニット３とを一体あるいは連接した構成とすると共に、電源ユニット３に、ポンプユニット２の振動を検出する振動・姿勢検出部４のうちの少なくとも振動検出センサを設ける構成とする。真空ポンプ１は、ポンプユニット２と電源ユニット３とを一体化あるいは連接し、電源ユニット３が内部に備えている回路基板に加速度センサ等の振動検出センサおよび演算回路を取り付けることによって、新たに回路基板を設けることなく外部振動を検出する。 （もっと読む）

【課題】 浮上基準位置と浮上位置とのずれが継続した場合でも積分要素のオーバーフローが防止される磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 複数対の電磁石により回転体5がアキシアル制御軸方向およびラジアル制御軸方向に非接触支持される。磁気軸受装置は、各制御軸方向について、回転体の位置を検出して位置検出信号を出力する位置検出手段、浮上基準位置信号を出力する浮上基準位置信号出力手段、浮上基準位置信号および位置検出信号に基づいて少なくとも積分出力を含む電磁石制御信号を出力する電磁石制御信号出力手段、ならびに上記電磁石制御信号に基づいて上記電磁石を駆動する電磁石駆動手段を備えている。電磁石制御信号出力手段は、浮上基準位置信号と位置検出信号との差が所定値以下の場合に積分入力をゼロとする積分入力制限手段と、積分出力を所定値以下に制限する積分出力制限手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル変位センサの異常をより確実に検出できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体4をラジアル電磁石の磁気吸引力により互いに直交する２つのラジアル方向に非接触支持する制御型ラジアル磁気軸受6,7と、回転体4の上記２つのラジアル方向の変位を検出するための２対のラジアル変位センサを有する少なくとも１組のラジアル変位センサユニット24,25と、回転体4の上記２つのラジアル方向の変位に基づいてラジアル電磁石を制御するラジアル電磁石制御手段とを備えている。ラジアル変位センサのゲイン補正値およびオフセット補正値を求めて記憶するキャリブレーション時にこれらゲイン補正値およびオフセット補正値ならびに少なくとも１組のラジアル変位センサユニットにおけるラジアル変位センサ相互間のゲイン補正値の差に基づいてラジアル変位センサの異常を検出する異常検出手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】回転部の回転精度と対象物固定手段の性能とのいずれも低下させることなく回転部の軸方向の長さを短縮できる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドル１は、スラスト板４に設けた回転側通気路３２と固定部に設けた固定側通気路３０とを介して、通気口２９から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。一方の端部がスラスト板４のモータ側表面へ連結する回転側通気路３２をスラスト板４に設けるので、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、静圧気体ジャーナル軸受の軸方向長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、回転部２の軸方向の長さを短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 高速回転での使用に有利でしかも耐久性に優れている燃料電池用過給機を提供する。
【解決手段】 燃料電池用過給機6は、ケーシング11内に設けられた遠心圧縮機12と、圧縮機12の回転軸13を支持する軸受装置14とを備えている。軸受装置14は、回転軸13に同心状に設けられて回転軸13を径方向から支持する１対のラジアルフォイル軸受21,22と、回転軸13に軸方向から対向させられて回転軸13を軸方向から支持するアキシアル磁気軸受23とを備えている。アキシアル磁気軸受23は、回転軸13に設けられたフランジ部32を介して対向するアキシアル電磁石24および永久磁石25を有している。 （もっと読む）

【課題】主軸の高速回転が可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられた２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。モータロータ２８ａは、２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂで挟まれる空間に形成される。モータステータ２８ｂは、モータロータ２８ａの永久磁石２８ａａに挟まれるように配置される。スラスト板１３ａ，１３ｂの外径部には、鍔高さが永久磁石２８ａａ厚さと同じもしくはそれ以上でできた鍔１３ａａ，１３ｂａが形成されている。アキシアル方向の力を検出するセンサ１８の出力に応じて電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。 （もっと読む）