【課題】過大なアキシアル荷重が作用した場合でも、安定な制御を可能とする。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられた２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。モータロータ２８ａは、前記２つのスラスト板１３ａ，１３ｂで挟まれる空間に形成される。前記スラスト板１３ａ，１３ｂの片面には電磁石ターゲットが形成され、もう一方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。モータステータ２８ｂは、前記永久磁石２８ａａに挟まれるように配置される。アキシアル方向の力を検出するセンサ１８の出力に応じて電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。 （もっと読む）

本発明は、リニア・回転駆動装置（１）の動作中に共通な動力伝達機構（２）の回転運動と直線移動を可能とし、かつ磁気的な軸受をも行うための手段を有するリニア・回転駆動装置に関する。本発明の装置では、例えば動力伝達機構が２つの軸方向軸受によって動力伝達機構の始端および終端で支持されており、この際、軸方向の軸受はリニア駆動装置によって行なわれる。
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【課題】超電導磁気軸受を構成要素とする回転機械システム全体としての最適な組み合わせ、配置を考案し、横軸または縦軸回転体を非接触で制振・安定支持する事を特徴とする超電導磁気軸受システムとしての超電導磁気軸受の適用方式を提供する。
【解決手段】アウターローター・ラジアル型超電導磁気軸受３において、筒状永久磁石回転軸２を構成する永久磁石集合体６の着磁方向を、回転軸の軸方向に対し直角方向の回転軸の半径方向とし、回転中心線から外周方向を見た同一円周上に、例えば着磁方向を外向きの正に統一した円環状永久磁石体があって、これを回転軸の軸方向に多層積層する方式は、超電導磁気軸受の軸受特性として、回転軸の軸方向に比べ、回転軸半径方向高載荷力・高剛性特性を呈し、円環状永久磁石体の着磁方向を一層毎正負交互に変えて積層する方式は、回転軸々方向高載荷力・高剛性特性を呈する。 （もっと読む）

【課題】 軽合金からなるスラスト軸受部と鉄系合金からなるジャーナル軸受部とを有する回転軸を備え、かつ当該回転軸において、製造コストを低減しつつ、外径を大きくすることなく十分な内径を確保可能とした静圧気体軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル装置１は、回転軸１０と、回転軸１０を取り囲むハウジング２０とを備えている。回転軸１０は、円柱状のジャーナル軸受部１１と、ジャーナル軸受部１１の端面に接合された円盤状のスラスト板部１２とを含んでいる。ジャーナル軸受部１１は、鉄系合金からなり、スラスト板部１２は、軽合金からなっている。ジャーナル軸受部１１と、スラスト板部１２とは、摩擦圧接により一体に接合されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に板状被研削物を均一な厚さに研削する。
【解決手段】研削砥石２７がチャックテーブル１０の回転中心Ｘ上に載るようにチャックテーブル１０の回転中心Ｘと研削ホイール２５の回転中心Ｙとをオフセットして配置する。第１のエアーベアリング１３に１対のチャック側圧力ポートを設け、第２のエアーベアリング２６に１対の砥石側圧力ポートを設ける。第１のエアーベアリング１３のハウジング１２は、ウェーハ９の研削砥石２７に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成する。１対のチャック側圧力ポートと１対の砥石側圧力ポートとで検出した圧力差Ｐ_AC、Ｐ_BWに基づいて、第１のエアーベアリング１３のハウジング１２を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】ロータを軸方向（アキシャル方向）および径方向（ラジアル方向）に制御可能であり、加工・組立時において永久磁石による磁気吸引力を受けない磁気軸受を提供する。
【解決手段】ステータ１は、少なくとも一対の環状部１２ａ、１２ｂと、環状部１２ａ、１２ｂ各々の内周に設けられた第１磁極１３ａ及び第２磁極１３ｂ、環状部１２ａ、１２ｂ間に位置する環状の永久磁石３を備える。第１磁極１３ａ及び第２磁極１３ｂ内にはラジアル励磁コイル１４、アキシャル励磁コイル１５が巻回され、ラジアル励磁磁束φｒ、アキシャル励磁磁束φａを発生させる。 （もっと読む）

磁気ベアリング装置（１）用のロータ軸（２００）が開示されている。その軸は、スペーサ（２５０、２７０）により隔てられた複数のターゲット（２４０、２６０、２８０）の取付けられている内部部分からなる。これは、ラジアル方向の押し付け力よりもむしろ軸心方向の押し付け力（Ｆ、Ｆ’）を周辺にあたえることで達成される。この方法では、単純化した構成、高い剛性および高回転速度にて高い安定性が達成される。さらに、直径が周辺部に向かい減少するスラストディスク（２２０）を有するロータが開示されている。このことは、一定回転速度に対して、より大きなスラストディスクの使用を可能にする。
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改良された真空気密のハウジング（１０）を通る電気的貫通接続部を有する磁気ベアリング装置が開示されている。貫通接続部３０は、好適には、常にハウジングの内周に沿って、ハウジング（１０）の壁を通り伸びている硬質性または屈曲性のプリント回路基板のような結合要素（３１）からなる。結合要素は気密的な方法でハウジングに対しシールされている。この要素は、好適には、ロータ軸を受け入れる中心部の開口（３６）を有する。ベアリングユニットおよびセンサへの結合は、平坦なリボン・ケーブルまたはフレックスプリントにより達成される。センサは好適には、プリントセンサとして実装される。かくて、非常にコンパクトでコスト効率のよい磁気ベアリング装置が得られる。代替的実施例では、ベアリング要素への貫通接続部としてハウジングの側壁に結合要素を用いる。
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【課題】 軸受部品の加工費用が高額にならず、目詰まりによる調整が不要である静圧軸受を提供する。
【解決手段】 静圧軸受１は、ラジアル軸受部３とスラスト軸受部４とを軸線方向に連結させた構成を有し、各軸受部３，４には、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂを２つ近接させたオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂが形成されている。１つのオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ内でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの配置間隔は、隣り合う他のオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ同士の間でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂ間の距離よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】 運転が終了した後においても静圧気体軸受への加工液などの異物の侵入を防止可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル１は、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２と静圧気体軸受スピンドル１の外部とを連通する連通路７０と、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２への異物の流入を防止するために連通路７０にシール用気体を供給するためのシール用気体供給部５０と、連通路７０とシール用気体供給部５０とを繋ぐシール用気体流路５１とを含んでいる。連通路７０には、シール用気体流路５１との連結部である第１の連結部と連通路７０における静圧気体軸受スピンドル１の外部への開口である連通路開口との間に液溜め部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】非接触でオイル等の流体も不要な軸受を実現でき、ファンモータの歩留まり向上、信頼性向上、長寿命化および静音化ならびにコストダウンを図ること。
【解決手段】本発明は、円筒形状のステータマグネット１１と、ステータマグネット１１の外側に被せられる状態で配置される袋形状のロータマグネット１２とを備えており、ステータマグネット１１の外側とロータマグネット１２の内側とで磁力の反発を利用して、ステータマグネット１１とロータマグネット１２との間におけるラジアル方向およびスラスト方向の各々にギャップＧ１、Ｇ２が構成されている磁気軸受１である。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ短時間で自動工具交換が行える磁気軸受主軸を実現する。
【解決手段】モード判別部１２と、バイアス指令発生部１０、パワー増幅器８，９、可変重量部交換位置検出部１１とにより構成される可変重量部交換モード処理部１４とを備え、可変重量部４０（例えば工具）を交換するときに、特定のラジアル磁気軸受電磁石２２，２４にバイアス電流を印加し、回転体３１を決められた位置に固定することにより、工具交換時の位置決めを可能にし、信頼性が高く、かつ短時間での自動工具の交換を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 検出された位置信号の交流リップル分を低減できると共に、位相遅れの少ない位置センサ、及びこの位置センサを適用することで安定し、かつ振動のより少ない磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 搬送波発信器２０１及びセンサ１０７とで構成された位置信号検出部と、該位置信号検出部から抽出された信号と前記搬送波発信器２０１の信号とを乗算する乗算器２３１と、該乗算器２３１の出力信号を分岐し、該分岐された一方の信号を遅延させる遅延器２３７と、該遅延器２３７の出力信号と前記分岐された他方の信号とを加算する加算器２３５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】加工中にも主軸伸び補正機能を正しく動作させ高精度な加工が可能な磁気軸受主軸を実現すること。
【解決手段】主軸径検出処理部４と、主軸伸び演算部５，補正値演算部６，補正指令演算部７により構成される伸び補正演算部８とを備え、加工負荷による主軸３１のラジアル方向の変位に対して、対向する参照センサであるラジアル変位センサ２８，４０からの信号を加算することにより、加工負荷によるラジアル方向の変位分をキャンセルし、また、回転周波数成分を除去するフィルタ処理部３により、非軸対象の回転振れが発生した場合において回転振れ信号を遮断し、さらに、プロセス条件により主軸３１の状態が変化する場合においても補正値演算部６の出力に基づき、伸び補正値を補正することにより、加工中でも主軸３１の伸び補正機能を正しく動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】 復調処理を省くことができ、軸受制御に関する演算処理量を従来よりも低減することができる磁気軸受装置の提供。
【解決手段】 センサ７３には、フィルタ３２を介して周波数ｆcの搬送波信号が印加される。搬送波信号はセンサ７３で変調され、差動アンプ２０３において振幅変調波Ｆ_ＡＭ(ｔ)とセンサ基準信号Ｆstd(ｔ)の差分演算が行われる。差動アンプ２０３から出力された差分信号Ｆsub(ｔ)は、Ａ／Ｄコンバータ３４によりＡ／Ｄ変換されて離散化センサ信号とされる。このときの、サンプリング周波数ｆsは搬送波信号の周波数ｆcに対してｆc＝ｎ・ｆsやｆc＝ｆs／２と等しく設定されるため、離散化センサ信号には搬送波が含まれず、従来必要であった復調処理を省くことができる。ただし、ｎ＝１，２，…である。 （もっと読む）

【課題】 制御型磁気軸受による安定浮上が可能な範囲を増大させることができるフライホイールエネルギ貯蔵装置を提供する。
【解決手段】 フライホイールエネルギ貯蔵装置は、フライホイール13を有する回転体2が制御型磁気軸受3,4,5により非接触支持されて回転させられるものであり、回転体2の回転停止時の１次の曲げモード固有振動数が２次の剛体モード固有振動数の２〜６倍である。 （もっと読む）

【課題】 広範囲の周波数域にわたって制御安定性を劣化させることなく、消費電力を低減できる磁気軸受装置の制御装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置の制御装置は、回転体1の変位に基づいて制御型磁気軸受2,3,4の電磁石12,13,14に供給する励磁電流を制御するものであって、回転体1の変位によって変化しない定常電流と回転体1の変位によって変化する制御電流とを合わせた励磁電流を電磁石12,13,14に供給する。制御装置は、プラントとコントローラを含むフィードバック制御系の制御安定性を評価する安定性評価手段と、制御安定性の評価結果に基づいて定常電流値を変化させる定常電流値制御手段と、制御安定性の評価結果に基づいてプラントの同定とコントローラの最適化を実施する最適化手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 軸受全体の剛性を高めること、回転軸の減衰特性を比較的容易に設計・製作時に設定できること、加工機械の特性を左右する回転軸の整定時間を制御できる静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】 固定軸受筒ＣＪと浮動ブッシュＦＢとの間に配される第一の軸受部Ａと、前記浮動ブッシュＦＢと回転軸ＫＪとの間に配される第二の軸受部Ｂとからなる気体軸受部を備え、前記第一の軸受部Ａの減衰係数およびばね剛性を調整することにより、回転軸ＫＪの外乱に対する整定時間を制御する。また、固定軸受筒ＣＪと浮動ブッシュＦＢとの間に配される第一の軸受部Ａと、前記浮動ブッシュＦＢと回転軸ＫＪとの間に配される第二の軸受部Ｂとからなる気体軸受部を備え、前記第一の軸受部Ａの減衰係数およびばね剛性を調整する手段として、前記第一の軸受部ＡへフルイドダンパＦＤを付加してなる。 （もっと読む）

【課題】 軌道輪の材質を変更することなく、磁気軸受が作る磁場により回転輪が連れ回りすることを防止することのできるターボ分子用タッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】 強磁性体からなる回転輪（例えば内輪）１と外輪２の間にセラミックス製の転動体（ボール）３を配置するとともに、そのセラミックス製の転動体３の列内に、磁化された部材（ボール）４を少なくとも１個介在させることにより、磁化された部材４が強磁性体からなる回転輪１に磁気的に吸着して転動体３の公転を阻止し、回転輪１の連れ回りを防止する。 （もっと読む）

【課題】 磁気軸受が発生するラジアル方向擾乱力を低減する。
【解決手段】 ロータ、ロータを電磁力によって浮上させる複数の電磁石からなる磁気軸受を有し、ロータのラジアル方向並進変位指令、アキシャル方向並進変位指令及びラジアル方向回転変位指令を受けて、ロータの５自由度ロータ変位を追従させるよう制御する軸受制御系１０と、磁気軸受が発生するラジアル方向擾乱力からロータのラジアル方向並進変位指令を算出して軸受制御系１０に出力する並進変位指令制御系２０とを備える。 （もっと読む）