【課題】 スライダーをより安定して浮上させ、低剛性のスライダーであってもスライダー自体の変形を低減することが可能なスライダーを提供する。
【解決手段】 板状部材の一方の面を所定の面積で区分けするとともに互いに連結された区切り溝と、この区切り溝で区切られた領域のそれぞれに設けられた少なくとも一つの気体噴出穴を有し、この板状部材の区切り溝を有する側をステージ上に載置してそれぞれの噴出穴から気体を噴射させたときに、板状部材にかかる力のモーメントが最小となるように前記区切り溝と噴出穴を配置した。 （もっと読む）

【課題】アンバランス及びジャイロモーメントの許容度が優れたスピンドル装置を提供する。
【解決手段】静電塗装機用エアスピンドル装置は、回転軸３と、回転軸３が挿通されたハウジング４と、ハウジング４を収容する装置ケース１と、を備えている。ハウジング４の内周面には多孔質部材５が取り付けられており、多孔質部材５の内周面から回転軸３の外周面に圧縮空気を吹き出すことにより、ラジアル軸受である気体軸受が形成される。また、回転軸３にはフランジ部６が形成されており、ハウジング４の後端側端面には、フランジ部６の平面６ａに対向するように磁石７が取り付けられている。そして、多孔質部材５からフランジ部６の平面６ａに圧縮空気を吹き出すとともに、磁石７によりフランジ部６を引きつけることにより、スラスト軸受である複合軸受が形成される。さらに、ハウジング４は、弾性体８を介して装置ケース１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら静圧回転軸の軸線傾きを抑制できる支持装置及びそれを有する加工機を提供する。
【解決手段】第１の静圧面ＳＰ１が受ける力Ｆ１は、第２の静圧面ＳＰ２が受ける力Ｆ２は、Ｆ１＞Ｆ２となることより、その差に重心までの距離を乗じた値が、静圧回転軸ＳＲＳに時計回りの方向にモーメントとして傾き補正を行うための復元力となる。軸線の傾きが大きくなれば、スキマの差と圧力伝達媒体の圧力差も大きくなり、復元力は増大する。図３で図示していない、下部円板部ＬＣの左半部でも同様に生じており（但し下部円板部ＬＣの下面が第１静圧面で、その上面が第２静圧面）、従って復元力としてのモーメントは２倍となるため、高い復元力により軸線の傾きを自律補正可能な構成である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら軸線ズレを抑制できる静圧回転軸及びそれを用いた支持装置を提供する。
【解決手段】軸線ズレが生じると、第１の絞り部の圧力伝達媒体の流れ方向下流側にある大径円筒状の静圧面ＬＳＰと支持面ＬＨＰとのスキマΔＬ’は、第２の絞り部の下流側にある小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマΔＳ’より広く、小径円筒状の静圧面ＳＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＳは、大径円筒状の静圧面ＬＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＬより大きくなるため、ズレ量に応じて増大するその力の差分（ＦＳ−ＦＬ）により、大径円筒状の静圧面ＬＳＰと大径円筒状の支持面ＬＨＰとのスキマと、小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマが等しくなる方向に、前記静圧回転軸ＳＲＳを移動させる。 （もっと読む）

【課題】 高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができるスライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】 複数の給気部７が設定されたスライドテーブル１の下面１ａの一部に吸気部９を設定したため、スライドテーブル１に下向きの力が作用し、高剛性を得るための最適な気体膜Ｍの厚さに設定することができる。給気部７がスライドテーブル１の周縁部寄りに位置しているため、給気部７間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。吸気部９がスライドテーブル１の中央に位置しているため、吸気部９による下向きの力をスライドテーブル１の全体に作用させることができる。大気開放溝１０が形成されているため、給気部７と吸気部９の機能を独立して発揮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】
支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。
【解決手段】
同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。 （もっと読む）