【課題】移動部材と支持体との間が所定のクリアランスに保たれたスライド式半浮上案内装置を提供する。
【解決手段】スライド式半浮上案内装置は、移動部材１を案内する案内部２１が支持体２の移動方向に延在して形成され、移動部材１と案内部２１の上面２１ａとの間にノズルを介して潤滑油が供給されて、移動部材１が案内部２１に対して半浮上した状態で支持される。また、案内部２１には、下方に面した裏案内面２１ｂが摺動方向に延在して形成され、移動部材１に固定された裏板１２の対向面１２ａには、潤滑油供給装置から潤滑油がノズル６１を介して夫々供給される静圧ポケット１５が摺動方向に少なくとも３個並設され、少なくとも３個の静圧ポケット１５のうち、摺動方向の両端部に位置する静圧ポケット１５に発生する支持力が、他の静圧ポケット１５に発生する支持力よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアシリンダを作動する高圧エアを用いながら強い調芯作用が得られるエア軸受にてピストンを支持したエアシリンダを提供する。
【解決手段】シリンダ本体３１と、シリンダ本体３１内に摺動自在に収容されたピストン３２と、シリンダ本体３１内のピストン３２の摺動方向の少なくとも一側に配設され、高圧エアが供給される圧力室３３ａ、３３ｂとを備えたエアシリンダ１２であって、圧力室３３ａ、３３ｂ内の高圧エアの一部が導かれる高圧エア吹出口３４をピストン３２の外周でのピストン摺動方向の中央位置に配設し、ピストン３２の外周でのピストン摺動方向の両側部に大気圧開放部である環状溝３６ａ、３６ｂを配設した。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部が固定部に対して空気軸受で支持された軸受装置において、軸受装置全体の空間体積の増加を抑えることができ、かつ、既存の駆動機構を備えていない軸受装置に後付けによる設置が容易な駆動機構を有する軸受装置を提供すること。
【解決手段】長尺状の固定部２と、固定部２に沿って案内される可動部３とを備える。可動部３は、可動部３を固定部２に対して浮上させた状態で案内可能な空気軸受によって支持される。可動部３は、可動部３を駆動するモータユニット４を備え、モータユニット４は、モータと、モータの駆動力によって回転するとともに固定部２に接する車輪８とを有して構成される。従って、モータユニット４を備えることにより軸受装置１全体の空間体積の増加を抑えることができ、モータユニット４が可動部３に取り付けられているので、既存の軸受装置に対して後付で容易に取り付けることもできる。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の運動精度を向上させることのできる直線案内装置を提供すること。
【解決手段】吹出口４１から第１流体ベアリング面７５に向けて流体が吹き出されるとともに吸込口３１に流体が引き込まれると、吹出口４１から吹き出された流体の一部が吸込口３１に引き込まれることにより、第１流体ベアリング面７５と第１案内面２１との間に流体層７７が形成される。また、第２静圧伝達口７３２から吹き出された流体が第２負圧伝達口７４２に引き込まれることにより、第２流体ベアリング面７６と第２案内面２２との間にも流体層７７が形成される。従って、スライダ装置７に静圧および負圧を送るための配管を取り付けることなく、スライダ装置７を直線ガイドレール上に滑動可能に設置することができるので、それらの配管による外乱を無くすことができ、スライダ装置７の運動精度を向上させることができる。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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ガイドレール（２）の上で静圧式に支承可能なガイドキャリッジ（１）を備える静圧プロファイルレールガイドにおいて、ガイドキャリッジ（１）は背部（９）と、ガイドレール（２）が間に配置された、背部（９）に連続する２つの脚部（１０）とを有しており、背部（９）はガイドレール（２）と反対を向いているほうの側にたとえば機械部品（１７）などを取り付けるための取付面（８）を有しており、取付面（８）はガイドレール（２）の長手方向で見て凹面状に湾曲している。
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本発明は、液圧管路用の流れ調整弁（１１）であって、液圧媒体用の流出開口（１８ａ）と、液圧媒体用の流入開口（１８）と、液圧媒体の一定の容積流を圧力とは無関係に準備するための差圧調整器（１７）と、該差圧調整器（１７）の調整特性を調節するための調節部材（１５ａ）とが設けられている形式のものに関する。このような流れ調整弁において本発明の構成では、調節部材（１５ａ）が、液圧管路の外側に接近可能に設けられた、調節部材（１５ａ）を調節するための操作区分（２７）を有している。
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【課題】大きな温度変化が生じてもバイメタル現象が起こることを低減し、安定した真直度精度を保つことが可能な静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】基台１上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持・案内する空気軸受部６、７、８と、空気軸受部６、７、８に対して吸引力を与える吸引力付与部１０と、を備え、基台１はセラミックスまたは石からなり、吸引力付与部１０は吸引レール部１０ａを備え、吸引レール部１０ａの熱膨張係数は、基台１の熱膨張係数とほぼ同じである。 （もっと読む）

【課題】スラスト気体軸受機構において、軸受隙間間隔の隙間間隔の振動を抑制することである。
【解決手段】中間軸受体２０とベース５０と、それらが向かい合う軸受隙間４０とでスラスト気体軸受機構１０が構成される。中間軸受体２０の底面部には、気体供給口２４、気体供給口２４より大きな直径を有する減速用くぼみ２６、複数の気体流路浅溝２８が設けられる。気体供給口２４から噴出する気体は減速用くぼみ２６で減速された後、複数の気体流路浅溝２８のそれぞれに導かれ、その細い浅溝に案内されて径方向に沿って流れ、終端部３０で行き止まりとなった気体は、軸受隙間４０に絞られながら漏れ出て、ベース５０に対し中間軸受体２０を浮上させる。 （もっと読む）

ガイドレール（１）に静圧で支えたガイドキャリッジ（２）を有し、ガイドキャリッジ（２）がガイドレール（１）に面した側に、作動油を働かせるための複数個の圧力ポケット（９）を備えており、圧力ポケット（９）の圧力を調整するために、圧力ポケット（９）への体積流量の調整のためのスロットル（１１）が設けられ、ガイドキャリッジ（１）に組込み部材として形成されたスロットル（１１）が各圧力ポケット（９）ごとに設けられている静圧異形レールガイド。
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ガイドレール（２）の上に静圧で支えられたガイドキャリッジ（１）を有し、ガイドレール（２）が異形レールガイドの縦軸に沿って伸びる中心面（３）及び中心面（３）の両方の縦側に配置された２つの上側支持面（５）を有し、上側支持面（５）が中心面（３）に対して斜めに設けられ、各上側支持面（５）の下側に、上側支持面（５）及び中心面（３）に対して斜めに下側支持面（６）が設けられ、異形レールガイドの横断面で見て中心面（３）と平行な第１の仮想直線（Ｇ１）、上側支持面（５）に平行な第２の仮想直線（Ｇ２）及び下側支持面（６）に平行な第３の仮想直線（Ｇ３）が三角形を成し、この三角形の第１及び第２の直線（Ｇ１、Ｇ２）の間に角アルファ（α）が、第１及び第３の直線（Ｇ１、Ｇ３）の間に角ガンマ（γ）が形成され、角アルファ（α）が１０°〜４５°の値、角ガンマ（γ）が２０°〜５５°の値を有する静圧異形レールガイド。
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【課題】 加工性およびガスシール性を向上させた気体軸受構造と、該構造を備えたスターリング機関およびスターリング冷却庫とを提供する。
【解決手段】 気体軸受構造は、シリンダ内で往復運動するピストン１４を支持する気体軸受構造であって、ピストン１４の外周面１４１にピストン１４の周方向に沿って断続的に形成された溝部の底面１４３Ａからピストン１４の内部空間１４７に達する噴出孔１４４を通じて内部空間１４７からシリンダの内周面に向かってガスを噴出する「ガス噴出機構」を備え、ピストン１４の周方向において、溝部の底面１４３Ａがピストン１４の外周面１４１に達するように該溝部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

【課題】 設計通りの荷重支持力を発揮させると共に、ダンピング効果が得られ、加工コストを抑えることのできる案内装置を提供する。
【解決手段】 支持体１１に形成された案内面１２と、案内面１２と対向するように移動体１３に形成された滑動面１４とを有し、滑動面１４に形成され、その内部に内側ランド部１８を備えた静圧ポケット１７に、開口部１９を介して圧油を供給することで案内面１２と滑動面１４とを無接触状態とすると共に、支持体１１により移動体１３を案内支持する案内装置１０に、開口部１９から放射状に延びる溝１５ｂを備えさせる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い固定絞りユニット及び静圧案内装置を提供する。
【解決手段】固定絞りユニットは、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とを備えている。ここで、頭部ブロック（１１）は、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と、頭部ブロック平面（１１Ｂ）に開口している頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）とを有している。本体ブロック（１２）は、本体ブロック平面（１２Ｃ）と、本体ブロック平面（１２Ｃ）に開口している溝（１２Ｇ）と、溝（１２Ｇ）の底部に開口している本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とを有している。そして、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とは、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と本体ブロック平面（１２Ｃ）とを対向させて接合し、溝（１２Ｇ）と頭部ブロック平面（１１Ｂ）とによって絞り流路が形成される。 静圧案内装置は、固定絞りユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】ピストンの運動方向が重力の作用方向に交差する場合に、ピストンが運動を開始した後、速やかにピストンをシリンダから浮き上がらせること。
【解決手段】このピストン機関は、シリンダ２２内を往復運動し、かつ、その運動方向が鉛直方向に対して直交するとともに、ピストン本体２１１の内部に蓄圧室２１２が形成されるピストン２１を備える。蓄圧室２１２とシリンダ２２内とは、流体導入部２１４によって連通されており、シリンダ２２内の作動流体が蓄圧室２１２に導入される。そして、ピストン２１の側周部２１１ａ₁、２１１ａ₂には、蓄圧室２１２に取り込まれた前記気体を、ピストン２１の側面とシリンダ２２との間に噴出する複数の給気孔２１６、２１７が設けられている。この給気孔２１６、２１７は、鉛直方向上側ＵＳよりも鉛直方向下側ＬＳの方が多く配置される。 （もっと読む）

外部から供給される加圧気体が定盤（１６）にそれぞれ設けられた細孔（６６ａ，６６ｂ）から上下方向にそれぞれ噴出され、これらの加圧気体が、ステージ（ＲＳＴ）の第１、第３凹部（５６ａ，５６ｃ）でそれぞれ受けられる。そして、第１凹部で受けられた加圧気体は、第１通気路（５８ａ，１６１，５８ｂ）を介してステージ底面の第１凹部とは異なる位置に導かれるとともに、軸受部（５７）から定盤に向けて噴出され、この加圧気体の静圧によりステージが定盤の上方で浮上支持される。このとき、第３凹部に作用する下向きの圧力と、第１凹部に作用する上向きの圧力とのバランスにより、ステージを定盤の上方に所定のクリアランスを維持した状態で支持することができる。従って、小型軽量のステージに配管を接続することなく、定盤上で高精度な非接触駆動を行うことができる。
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【課題】初動時のジャッキアップを不要とし搬送時のバランスを良好に保つことにある。
【解決手段】搬送領域部１の上面にエアを吹き付け、搬送領域部の上面との間にエアの流れによる膜を形成することで、浮上力と吸着力を得るものであり、搬送領域部の上面に対向する下面が開口し上面が上部壁３ａにより閉塞されたシリンダ３と、下面が搬送領域部の上面に対向するようにシリンダ内部に上下スライド自在に収容され、シリンダの上部壁との間に内圧室１１を形成する加圧盤７と、内圧室に加圧エアを導入する加圧エア導入通路４と、加圧盤に形成され、内圧室に導入された加圧エアを搬送領域部の上面に向けて吹き出すことで、加圧盤の下面と搬送領域部の上面との間に前記エアの流れによる膜を形成する吹出孔８と、内圧室への加圧エアの導入前に、加圧盤を、搬送領域部の上面との間に所定の隙間を確保し得る上方位置に付勢する付勢手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 回転軸本体の慣性モーメントを小さくして、加減速時間の短縮化を図ると同時に、ワーク固定部のワーク着脱時の耐磨耗性を向上して、その摩耗や変形を確実に防止すること。
【解決手段】 回転軸本体３は、着脱可能な別体部品から構成してある筒状のワーク固定部２０を有している。ワーク固定部２０には、塗料拡散用のカップ１１を固定するためのネジ部２１と合せテーパー部２２とが形成してある。ワーク固定部２０には、カップ１１を固定する際の回り止めとして、Ｄカット部２３やピン穴２４が形成してある。ワーク固定部２０には、回転軸本体３に装着するためのネジ部２５が設けてある。回転軸本体３は、ワーク固定部２０のみが鉄系金属（鉄、ステンレス等）から形成してあり、それ以外の部分が非鉄系金属（軽合金のアルミニウム等）から形成してある。 （もっと読む）