【課題】 常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびこのエアベアリングを備えたリング状モータを提供する。
【解決手段】 回転リング１１と回転リング支持体２１とによりリング状モータ１のエアベアリングの主要部が構成されている。回転リング支持体２１は円筒状の多孔質体リング２２を備えている。多孔質体リング２２と回転リング１１の円筒状の本体、および回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面それぞれとの間には所定の大きさのエアギャップ３０が設けられている。回転リング支持体２１にはガス通路２３が設けられている。外部からのガスは、このガス通路２３から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通される。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ２本のレールの平行度にずれが生じた場合及び／又はレールに多少の撓みが生じた場合であっても、これらの不具合を解消することができて、テーブルを低摩擦で移動可能とすることができるエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる２本のレール２及び３と、レール２及び３の夫々の外周面４に装着されていると共に外周面４との間でしかも外周面４と協同して環状隙間を形成する内周面２６を有したエアベアリング５と、エアベアリング５の夫々に固定された弾性支持体６と、各弾性支持体６に固定されていると共にエアベアリング５同士を連結しているテーブル７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を得るロッドを静圧気体軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧気体軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシールを確保しつつ、軸受部材の着脱を容易な構造とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を得るロッド１１を非接触で支持する静圧気体軸受構造を用いて構成されており、その静圧気体軸受構造を構成する軸受部材２６に一対のＯリング２７ａ，２７ｂが周方向に環状に装着される。Ｏリング２７ａ，２７ｂは、軸受部材２６の軸方向において該軸受部材２６に加圧エアを供給するための供給通路２０を挟んだ各位置にそれぞれ配置されると共に、軸受部材２６とロッド挿入孔１５の大径孔部１５ａの内周面との間に介在されその相互間で押圧変形されることで、軸受部材２６が該大径孔部１５ａの内周面に対して弾性保持される。 （もっと読む）

【課題】 長尺であっても、気体膜を形成する空気をその滞留を避けるように適宜に外部に逃がし得て当該空気の発熱を抑えることができ、軸受面側及び可動体側の熱膨張を回避できて軸受面に対する可動体のより高速な移動、特に回転を可能にする多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、裏金２と、裏金２の内面３に環状隙間５を挟んで並置された多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂと、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの夫々に高圧気体を供給する供給手段１２と、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの端面１３及び１３ａ並びに１４及び１４ｂに一体に接合された封止材１５ａ、１５ａｂ及び１５ｂと、封止材１５ａｂに設けられている径方向の貫通孔１６と、貫通孔１６を裏金２の外部に連通させる貫通孔１７とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 ねじ等を用いないでも静圧気体軸受パッドに隙間調節部材を脱落しないように連結できて、而して、コスト低下を図り得る静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造、それに最適な静圧気体軸受パッド及び隙間調節部材並びにそれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。
【解決手段】 可動体１を固定体２に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体１と固定体２との間に介在させる静圧気体軸受パッド３と、静圧気体軸受パッド３と可動体１との間の隙間４を調節する隙間調節部材５との組み合わせ構造６は、静圧気体軸受パッド３に設けられていると共にリング装着溝７を有する凹所８と、リング装着溝７に装着された拡径自在な弾性Ｏリングからなるリング９と、隙間調節部材５に設けられていると共に凹所８を規定する静圧気体軸受パッド３の凹所規定面１０から部分的に突出するリング９を受容する受容溝１１とを具備している。 （もっと読む）