【課題】抵抗値のばらつきも少なくして温度ムラを軽減させるとともに、熱伝導損失も抑えることのできるヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状の絶縁性基板１１の長尺方向の中央に第１の抵抗発熱体１２１を形成する。第１の抵抗発熱体１２１の両側に沿った基板１１上に第１の抵抗発熱体１２１より幅の狭い第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３を形成する。基板１１上に形成した第１の電極１３と第１の抵抗発熱体１２１の一端と電気的に接続する。第１の抵抗発熱体１２１の他端と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の一端を、基板１１上に形成した接続導体１４と電気的に接続する。第１の電極１３に近傍の基板上に形成した第２の電極１５と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の他端をそれぞれ電気的に接続する。ガラス製の保護層１９で少なくとも第１〜第３の抵抗発熱体１２１〜１２３を覆うようにした。 （もっと読む）

【課題】 製品ごとの特性のばらつきを抑え、回路のショートを防止することで、被処理物を加熱する際の均熱性に優れたセラミックスヒータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックスヒータは、セラミックスヒータ１ａと、そのセラミックスヒータ１ａ上に形成されかつコンピュータシミュレーションにより回路設計された発熱体回路パターン２とを有している。このため、コンピュータにてシミュレーションを実施することで、製造後のセラミックスヒータの加熱時の温度分布を予め計算・予測することが可能になる。これにより、被処理物を加熱する際の均熱性に優れたセラミックスヒータを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 環境試験装置等に採用される操作孔付き観測窓を改良するものであり、操作孔の直近部分についても曇ったり霜が付くことのない操作孔付き観測窓を提供することを課題とする。
【解決手段】 透明基材６には、操作孔１５，１６が設けられている。操作孔を除く全域に導電発熱層２０が設けられている。透明基材６の左右の両端には、母線（主電極）２１，２２が設けられている。操作孔１５，１６の近傍には、補助電極２５，２６が設けられている。補助電極２５，２６は、一方側補助電極片２７と他方側補助電極片２８によって構成されている。一方側と他方側の補助電極片２７，２８は対称形であり、いずれも円弧状をしている。補助電極片２７，２８は、いずれも操作孔１５，１６に対して同心的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体の設計ルールは、数年後には、０．１０μｍ以下になると言われており、さらに均一な温度分布が要求されている。しかしながら従来技術の抵抗分布調整や分割制御だけでは、数年後の設計ルールを満足するだけの均一な温度分布が達成できない。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、内部に複数のブロックに分割された発熱抵抗体を有し、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備し、前記均熱板を保持するケーシングを備えてなるウエハ加熱装置において、前記複数に分割された発熱抵抗体ブロックは、前記発熱抵抗体を形成した面の中心に配置された円形の発熱抵抗体ブロックと、その外側に同心円状に配置された２つの環状の発熱抵抗体ブロックとからなり、最外周の前記環状の発熱抵抗体ブロックが径方向に分割された複数の発熱抵抗体ブロックとする。 （もっと読む）

【課題】 流体への熱伝達効率を向上させ、ヒータ自身の小型化を図ると共に、必要な温度の温水が供給されるまでの立ち上がり時間が短く、消費電力の少なくい流体加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板１の一表面上に発熱体２を備え、セラミックス基板１の熱伝導率が５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、例えばセラミックス基板が窒化アルミニウムであって、且つ発熱体２を被覆する絶縁層４が形成されている。また、平板状のセラミックス基板１の一表面上に形成した発熱体２を備え、セラミックス基板１が窒化珪素であり、且つ該発熱体２を被覆する絶縁層４が形成されていてもよい。 （もっと読む）

本発明は、地面加熱装置、特に加熱されたフィルム（１）を備えるタイプの、合成面で被覆された地面に対するものに関する。前記装置は、２枚の、シールされ電気的に絶縁された支持シート（１ａ，１ｂ；１’ａ，１’ｂ）を備え、これらの間に導電性抵抗ストリップ（３，３’）を前記支持シートの長さにわたり対の形で配置し、一端（Ｂ）にあっては、前記ストリップは、二つの給電コネクタ（Ｌ，Ｎ）と接続し、他端（Ａ）にあっては、通電ブリッジ（９）により互いに接続されている構成。 （もっと読む）

【課題】 像加熱装置の加熱ニップの長手方向での左右両端部の温度ムラを解消し、定着ムラやこれにともなう定着不良、高温オフセットを発生させないとともに、温度ムラによって定着フィルムが一方的に片側に寄って破損することを防止する。
【解決手段】 給電電極が長手方向の片側に集中して設けられた加熱体を用いた像加熱装置において、発熱体の発熱量を左右両端部で異ならせ、給電電極側端部よりも非給電電極側端部の発熱量を多くする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷却ガスを供給しても、冷却ガスの供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】板状体の一方の主面に複数の帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て、上記抵抗発熱体は略同一の幅を有する円弧状の帯と折り返し帯とを連続させて略同心円状に配設され、上記ノズルの先端が上記各抵抗発熱体の間に位置する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置に使用するヒータの抵抗値を調整するためには、レーザー光によるトリミングにより抵抗発熱体の帯の長手方向に溝を形成し、抵抗調整をしてきたが、抵抗調整範囲が大きいと調整しきれないことがあった。また、この抵抗発熱体は、微細に見るとクラックがあり、使用中にクラックが伸展し抵抗増加や断線となるという問題があった。また、それぞれのトリミング加工による抵抗値バラツキが生じ、なかなか狙った抵抗値に加工できないことからウェハＷの面内温度差が大きいという問題があった。
【解決手段】板状体の表面に帯状の抵抗発熱体を備え、該抵抗発熱体の帯の長手方向に略平行で、前記帯に直角方向に連続した複数の溝を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透視性及び視認性が高く、導電部の電気抵抗値が低くかつ均一な発熱が可能な高品位の面発熱特性を有する透明面状発熱体、並びに該透明面状発熱体を簡便かつ安価に製造する方法を提供する。
【解決手段】透明な基材の少なくとも一面に網目状の導電性層と透明樹脂層とがほぼ同一平面を形成するように設けられ、導電性層に一対以上の電極を備えている透明面状発熱体、及びその製造方法。 （もっと読む）

流体ヒーターは、その中に入れられた流体加熱チューブを備え、第一の表面を有する第一の熱交換器ブロックと、その中に入れられた流体加熱チューブを備え、前記第一の表面に隣接する第二の表面を有する第二の熱交換器ブロックとを備えている。前記第一の熱交換器ブロックの表面あるいは前記第一の熱交換器ブロックの表面および前記第二の熱交換器ブロックの表面のそれぞれに、キャビティが形成されている。加熱要素は、前記キャビティ内に位置決めされ、前記第一の熱交換器ブロックおよび前記第二の熱交換器ブロックによって、完全に覆われている。前記加熱要素は、第一のバス・プレートおよび第二のバス・プレートと、前記第一のバス・プレートおよび前記第二のバス・プレートの間に、電気的に並列にサンドイッチされた複数のＰＴＣ加熱要素を備え、複数のＰＴＣ加熱要素は、それぞれ、第一の伝導性プレートおよび第二の伝導性プレートと、前記第一の伝導性プレートおよび前記第二の伝導性プレートとの間に、電気的に並列にサンドイッチされた複数の正の温度係数を有する複数の加熱ストーンを有している。
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【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

その長手方向において互いに本質的に平行に、ならびに加熱される窓ガラス（１）の基端（２）に平行に延在する、極性の異なる２つの接触バスバー（６、７）と、接触バスバー（６、７）に電気的に接触している一連の加熱フィラメント（９）とを有する、とりわけ車のサイドウインド用の加熱される窓ガラス（１）が開示されている。本発明の窓ガラス（１）は、接触バスバー（６、７）がその長手方向に実質的に一直線に配置されている一方で、加熱フィラメント（９）が、窓ガラス（１）全体を確実に一様に加熱できるように本質的に同じ長さであることを特徴とする。加熱フィラメント（９）は、補償ループ（１１）を構成すること、および／または波形に配置される加熱フィラメント（９）の幅を変えることによって同じ長さにすることができる。
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【課題】 小型または薄型で、耐冷熱衝撃性および熱交換効率が優れた温水加熱用のセラミックヒータ及びそれを用いた温水装置を提供する。
【解決手段】 セラミック基材３の表面に配設された矩形状の発熱抵抗体４と、該発熱抵抗体４の対向する端部に接続される複数の電極５と、該電極５に夫々接続される複数の端子７と、前記発熱抵抗体４表面に積層した保護層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）