【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷却ガスを供給しても、冷却ガスの供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】板状体の一方の主面に複数の帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て、上記抵抗発熱体は略同一の幅を有する円弧状の帯と折り返し帯とを連続させて略同心円状に配設され、上記ノズルの先端が上記各抵抗発熱体の間に位置する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）

【課題】 抵抗値の変化の原因となる微小なクラックの発生を抑え、使用経時における抵抗発熱体の抵抗値の変化率を小さくする。
【解決手段】 耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の基板１１の長手方向に、発熱抵抗体１２１，１２２および発熱抵抗体１２１，１２２に電力を供給するための電極１４，１５を形成し、少なくとも発熱抵抗体１４，１５上にオーバーコート層１８を施してヒータ１００を形成する。ヒータ１００の発熱抵抗体１４，１５としては、銀（Ａｇ）とパラジウム（Ｐｄ）の重量比率Ａｇ／Ｐｄが、９０／０〜７０／３０のＡｇ／Ｐｄ合金およびガラス、前記Ａｇ／Ｐｄ合金重量に対して２０〜６０重量％の無機酸化物および／または無機窒化物を含有したものとする。 （もっと読む）

【課題】 高温処理なしで、安価に製造された、熱衝撃の耐久性が優れた発熱素子を提供する。
【解決手段】 透明基板２と、透明基板２の裏面に形成される導電性薄膜３と、導電性薄膜３の裏面の両端部に設けられる短冊状の電極部４と、導電性薄膜３と電極部４との間に設けられ、導電性薄膜３と電極部４とを接合する導電性固定材５とを備える発熱素子１であって、導電性固定材５は、電極部４の長手方向に沿って複数設けられ、導電性固定材５の各々の間に空隙部６が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、難燃性と高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することを目的としている。
【解決手段】柔軟性を有する難燃性ベース不織布２と、難燃性ベース不織布２に熱融着された柔軟性と耐熱性を有する難燃性ベースフィルム３と、難燃性ベースフィルム上に印刷により形成された櫛形電極４と櫛形電極４により給電される高分子抵抗体５と、櫛形電極４、高分子抵抗体５、及び難燃性ベースフィルム３との接着性と柔軟性を有する難燃性カバーフィルム６と、難燃性カバーフィルム６上に接着された柔軟性を有する難燃性カバー不織布７とを備えてなる柔軟性発熱体とすることで、柔軟性と難燃性を有して、かつ、高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することができる。 （もっと読む）

発明は特にヒータとして役立つ導電性材料に関する。電気的に導電性材料によって、あるいはその導電性材料で形成された加熱手段は知られており、特に、英国、コミュニティーおよび米国登録商標INDITHERMの下で売られたものがその柔軟性のために有効である。導電性のレールが釣り合った柔軟性を持つ必要がある電源への電気的接続を提供するために使用され、発明の目的は導電性のレールの全長に電力の維持を保証することである。この目的は、電力の供給および帰路のための離間された第1のレールを含み、前記レールは半導電性材料と両立性を有する柔軟性を持ち、その長さに沿って各第1のレールに取り付けられた補助レールがあり、補助レールは柔軟性があり、かつ第1のレールのものより大きな強度特性を持っているように構成することにより達成される。 （もっと読む）