【課題】プラズマジェットの調節を容易にし、かつ電極部の磨耗を抑制して装置の寿命を向上できるコンパクトなプラズマトーチ装置を提供する。
【解決手段】アノード５４と電気的に通じる第１金属ボディ部２０と、第１金属ボディ部２０と組み立てられる絶縁ボディ部３０と、絶縁ボディ部３０に内在されてカソード５２と電気的に通じる第２金属ボディ部４０とを含む装置ボディ部１０と、カソード５２と、その前方にプラズマノズル部を形成するように間隔を置いて配置されるアノード５４とを含み、放電を通じプラズマを発生させる電極部５０と、装置ボディ部１０に夫々備えられ、電極部５０側にガスを供給し、及び装置を冷却するためのボディ一体型ガス通路６０及び冷却水通路７０と、を含みボディ一体型冷却水通路７０は、装置ボディ部１０の第１金属ボディ部２０と、絶縁ボディ部３０及び第２金属ボディ部４０に備えられた冷却水路７０と空間とを含んだ構成。 （もっと読む）

【課題】 安定したプラズマ火炎が得られ、再現性よく特性の安定した製品を造ることができ、かつ稼動中の振動によってトーチに損傷の生ずることのない固体合成用高周波熱プラズマトーチを提供する。
【解決手段】 原料ガス導入部材１の外方に、冷却水流路７を形成する内側管２と外側管３が配設され、さらに外側管３の外方に高周波コイル４が巻回され、前記原料ガス導入部材１の中心に原料ガス流路５が形成され、前記内側管２と原料ガス導入部材１との間にプラズマガス流路６が形成されてなる高周波誘導熱プラズマトーチにおいて、前記高周波コイル４とその内側の外側管３との間に絶縁体13を介在させて、高周波コイル４の位置を固定し、プラズマガス流路６と高周波コイル４との位置関係が一定に保持されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマトーチ装置及びプラズマを用いた返鉱処理方法を提供する。
【解決手段】上記プラズマトーチ装置は、装置ボディ部と、上記装置ボディ部に備えられ、放電を通じプラズマを発生させる電極部と、上記装置ボディ部に夫々備えられ、電極部側にガスを供給し装置を冷却するためのボディ一体型ガス通路と冷却水通路を含み構成される一方、上記電極部の周辺に配置され、供給ガスをツイスティングさせて電極部の磨耗を防ぐように提供されたガスツイスティング手段と電子の流れを調整してトーチ効率を向上させるように提供された磁石手段をさらに備える。 （もっと読む）

イオンビームエッチシステム(ＩＢＥ)などの高真空処理システムにおける基体などの被支持部材の温度の制御を向上させるための装置および方法に関する。この装置は、被支持部材(２０)を支持する支持部材(４２)から液冷式熱交換部材(４４)へ熱を伝達させる、支持部材(４２)の温度を制御するための熱電デバイス(７０)を備えている。この方法は、液冷式熱交換部材(４４)へ熱を伝達する熱電デバイス(７０)を用いて、支持部材(４２)を冷却することを含む。
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