【課題】耐食性と機械的強度に優れたイットリア焼結体を提供する。
【解決手段】イットリア焼結体は、イットリアを主成分とし、窒化珪素を５〜４０体積％含む。 （もっと読む）

【課題】過剰電力が投入された時に、ヒーターの抵抗発熱体間でリークが発生することによる熱応力割れの発生を低減する。
【解決手段】ヒーター１００の複数の抵抗発熱体１０２間に空隙Ｓを形成するように各抵抗発熱体を絶縁層１０４によって被覆する。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 保護層であるオーバーコート層の膜厚が４０μｍ〜６０μｍにおいても、高い耐電圧特性が得られるため、熱効率のよい定着ヒータを効率的に作製する。
【解決手段】 耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の基板１１の長手方向に発熱抵抗体１２１，１２２、それに発熱抵抗体１２１，１２２、に電力を供給するための電極１４，１５を形成し、発熱抵抗体１２１，１２２上にオーバーコート層１８が施される。オーバーコート層１８は、発熱抵抗体１２１，１２２を直接覆う無機酸化物のフィラーを１％〜１０％添加した第１層のガラス１８１と、第１層のガラス１８１上に無機酸化物フィラーを添加しない第２層のガラス１８２とから構成したことで、高い耐電圧特性が得られ、熱効率のよい定着ヒータが実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）

伝導性エレメント（１２）、および伝導性エレメント（１２）の少なくとも一部分を取囲む被覆部材（１４）を有する導体（１０）が開示される。好ましくは被覆部材（１４）は、内側部分（３４）、および内側部分（３４）の融点が外側部分（３６）融点よりも高いように、異なる材料から形成される外側部分（３６）を有する。導体（１０）は、ヒータ（８０）を形成するのに特に有用であり、そのヒータ（８０）を自動車のシート（９０）中に組込むことができる。
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【課題】帯状の抵抗発熱体を備えたウエハ加熱装置において、加熱冷却を繰り返しても抵抗発熱体の剥離やクラックの発生を防止する。
【解決手段】板状セラミック体２の一方の主面をウエハを載せる載置面３とするとともに、他方の主面に１または２回路以上の帯状の抵抗発熱体４を備えると共に、前記抵抗発熱体またはそれを覆う絶縁層の表面を凹凸面を形成する。 （もっと読む）

【課題】 支持容器のセラミック基板と接触する部分の平面度を管理する必要がなく、支持容器とセラミック基板との接触面積を小さくすることができ、セラミック基板からの熱の逃散が少なく、セラミック基板の加熱面の温度を均一にすることができるホットプレートユニットを提供すること。
【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板が、支持容器に配設されてなるホットプレートユニットであって、前記セラミック基板と前記支持容器とは、点接触してなることを特徴とするホットプレートユニット。 （もっと読む）