【課題】２つの同軸状電極内に発生した面状放電を同軸状電極間の管状放電に繋ぎ変える電流路の繋ぎ変えの安定性を高め、プラズマ光源の出力、安定性、信頼性を高めることができるプラズマ光源を提供する。
【解決手段】ガイド電極１４と真空チャンバー２２との間に絶縁板２６が挟持され、ガイド電極１４は真空チャンバー２２から絶縁されている。また１対のガイド電極１４の先端部を電気的に直接結合する連結導電体３２を備え、その中央部のみが接地されている。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現させる。
【解決手段】発生させた電子ビームＥ及びレーザ光Ｒの経路を制御して電子ビームＥとレーザ光Ｒとを衝突させる。電子ビームＥの経路を制御して仮想的に設定された楕円１０の第１焦点１１に電子ビームＥを入射させると共に当該第１焦点１１への入射角度を変化させる電子ビーム制御部７と、楕円１０の第２焦点１２から当該楕円１０の一部へと向かうレーザ光Ｒの進行方向を変化させるレーザ光制御部８と、楕円１０の一部に沿った反射面１９を有し、第２焦点１２から当該反射面１９に入射したレーザ光Ｒを反射させて電子ビームＥの反対側から第１焦点１１に入射させる楕円面ミラー９とを有している。 （もっと読む）

【課題】比較的安価でかつ長寿命のＸ線管電子源の提供。
【解決手段】Ｘ線管は抑制器（１４、１６）内に収容される放出器ワイヤ（１８）を備える。抽出グリッドが、放出器ワイヤに対して垂直に延在する複数の平行なワイヤ（２０）を備え、集束グリッドが、グリッドワイヤ（２０）に対して平行であり、かつグリッドワイヤ（２０）から等間隔で離間して配置される複数のワイヤ（２２）を備える。グリッドワイヤはスイッチによって正の抽出電位または負の阻止電位に接続され、いつでも一対の隣接するグリッドワイヤ（２２）が共に接続され、抽出対を形成し、それが電子ビームを生成するように、それらのスイッチが制御される。ビームの位置は、種々のグリッドワイヤ対を抽出電位に切り替えることにより移動される。 （もっと読む）

【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。 （もっと読む）