【課題】起動時間を大幅に短縮するとともに安定したドライアイススノーを噴射できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズル１から被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至る流通管２とを備え、上記流通管２の先端部よりも噴射ノズル１側の部分から分岐して流通管２とは離隔した状態で噴射ガス供給管４が連通し、上記流通管２の内径Ｄに対し長さＬが（Ｄ^２×１０００）±（Ｄ^２×１２５）未満となるよう設定した。 （もっと読む）