【課題】ノズルの噴射液の吐出に異常が発生した場合、これをリアルタイムに検出して、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するインクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法、並びに噴射液の噴射方法を提供する。
【解決手段】インクジェット印刷装置は、複数のノズル１２５を含む少なくとも１つのヘッド１２０と、各ノズル１２５から噴射液が正常に吐出されているか否かをリアルタイムに検査するノズル監視装置１８０と、ヘッド１２０に噴射液を供給する噴射液供給部１６０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ノズル面に接触する吸引キャップを容易に交換可能な吸引装置、これを備えた液滴吐出装置及びマイクロアレイの製造装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１００の吐出口１１２を外部から吸引する吸引装置であって、外部から吸引するための吸引孔２１８が設けられた、液滴吐出ヘッド１００の吐出口１１２が形成された面１１４を凹部２１６で覆うキャップ２１０と、キャップ２１０に備えられた磁性体２１２とを含み構成されるキャップユニットと、磁性体２１２に作用する磁石４１４を吸引孔２１８との接続部近傍に備えた接続部材４１２を有し、接続部材４１２を介してキャップ２１０内を吸引する吸引手段４００と、を備える吸引装置１０により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】熱による粘度上昇、湿気による反応を防止することが可能で、且つ安定した連続塗布を可能にし安定生産に寄与できる。
【解決手段】加熱されて溶融状態となる固体状態のホットメルト接着剤２１を溶融し、塗布ヘッド７０に送液するホットメルト接着剤溶融送液装置１であって、固体状態のホットメルト接着剤２１を防湿袋２０に入れた状態で加熱溶融する加熱溶融部３と、防湿袋２０に入れた溶融状態のホットメルト接着剤２１を防湿袋２０から取り出して保温する保温タンク部４と、保温タンク部４に貯留するホットメルト接着剤２１を塗布ヘッド７０に供給する供給手段７とを備える。 （もっと読む）

本発明の液滴吐出装置は、振動板と、振動板を変位させるアクチュエータと、振動板の変位により増減するキャビティ内の液体を液滴として吐出するノズルとを有する複数のインクジェットヘッド１００と、アクチュエータを駆動する駆動回路と、複数のインクジェットヘッド１００のいずれのノズルから液滴を吐出するかを選択する吐出選択手段１８２と、振動板の残留振動を検出し、検出された残留振動の振動パターンに基づいて、液滴の吐出異常を検出する吐出異常検出手段１０と、アクチュエータの駆動による液滴の吐出動作後、アクチュエータとの接続を駆動回路から吐出異常検出手段１０に切り替える切替手段２３とを備える。
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【課題】異物に起因するスジ等の塗布欠陥の発生を抑制し、たとえ塗布欠陥が発生した場合でも簡便かつ迅速に異物を除去することができるエクストルージョン型塗布装置の提供にある。
【解決手段】流入路９と流出路１８でなりマニホールド６を内部に有する塗布ヘッド５と、該塗布ヘッド５に塗布液を供給する塗布液貯留タンク１とで構成されるエクストルージョン型塗布装置において、前記塗布液貯留タンク１が三方バルブ１５を介して吐出能力の低い塗布用ポンプ１２と吐出能力の高い循環・洗浄用ポンプ１３とに連繋され、その流路が三方バルブ１６で合流され、合流後フィルター４を介して流入路９に連繋され、マニホールド６の流出路１４より開閉バルブ１８を介して前記塗布液貯留タンク１へ連繋されている洗浄機能を有するエクストルージョン型塗布装置である。 （もっと読む）

液体射出器（１０）が提供される。この射出器は、液体チャンバ（２０）と液体サプライ（６０）とを有する。液体チャンバの一部は、ノズル孔（８０）を規定する。液体サプライ通過路（７０）は、液体チャンバと液体サプライとの間に位置する。液体サプライ通過路は、液体チャンバ及び液体サプライと液通している。複数のピラー（９０）が、液体サプライ通過路に懸架されている。液体チャンバの壁（１３０）は、液体サプライ通過路まで延在することができる。中央ピラー（９０ａ）はまた、中央ピラーの液体チャンバに位置する一部と、中央ピラーの液体サプライ通過路に位置する他の一部とを含むことができる。
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【課題】欠陥を含まない品質の良いレジストパターンをウエーハに形成する。
【解決手段】液体供給源からパーティクルろ過装置９を経て供給される薬液３を吐出ノズル６より吐出してウェーハの表面に吐出する。このパーティクルろ過装置９と吐出ノズル６との間の管路に、薬液３中に含まれる気泡やパーティクルなどの粒子状物質の量を測定する微粒子測定装置１３を介装する。さらに、配管の開閉を行う電磁制御弁１０の制御電圧値および微粒子測定装置１３の測定値を常時収集するデータ収集ユニット１５と、微粒子測定装置１３の測定結果の演算を行う演算装置１６とを設ける。演算装置１６では、ウェハ１枚あたりに塗布される薬液中に含まれる粒子状物質の数を算出し、その粒子状物質の数を規格値と比較することにより、薄膜塗布装置を停止するか否かの判定を行う。 （もっと読む）