本開示は、液体分注ノズルの汚損を防ぐための装置を提供する。分注ノズルの端は、ノズルによって分注される同じ溶媒を保有するバンドの中空の内部に配置される。バンド上の溶媒は、リングと分注ノズルとの間の間隙の中に蒸発することにより、分注ノズルの汚損を防ぐ一助となる蒸気シース又は蒸気環境を提供する。
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【課題】混合すると経時的にゲル化が進行する複数の液によって構成される塗布液を支持体に長時間塗布してもゲル状塊による塗布故障を生じることがない。
【解決手段】混合すると経時的にゲル化が進行する複数の液によって構成される塗布液を、給液配管１６を介して塗布ヘッド１４に給液して支持体２４に塗布する塗布液の塗布において、給液配管１６では塗布直前に、複数の液をスタティックミキサー２２で混合して塗布液を形成し、形成された塗布液を金属製フィルタ４０を通すことで、塗布液に対して剪断力を付与する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い高記録密度対応の光ディスク、又はＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクを提供できる光ディスク製造装置を提供する。
【解決手段】ノズル部材３Ｆによってディスク基板Ｄの上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処理装置２と、前記ノズル部材３Ｆを支承するアーム部材３Ｃとを備える光ディスク製造装置において、前記アーム部材３Ｃの先端部分には、前記液膜形成物質供給機構４と前記ノズル部材３Ｆとの間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁３Ｄと、その液膜形成物質開閉弁３Ｄにおける前記液膜形成物質の流出部に着脱可能に取り付けられた濾過部材３Ｅとが備えられ、前記ノズル部材３Ｆは前記濾過部材３Ｅの流出部に取り付けられ、前記液膜形成物質供給機構４内で発生した粒子までも除去可能にして高品質の液膜を前記ディスク基板Ｄ上に形成可能にする光ディスク製造装置。 （もっと読む）

【課題】ヘッドキャップにおける機能液が接触する可能性のある部分の全てに洗浄液を行き渡らせた状態とすることを、吸引ユニットのヘッドキャップの周辺が大きくなることを抑制して実現することができる液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが形成されたノズル基板を備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、ヘッドキャップ内の液体の液面を検出する液面検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】配管内に蓄積するスラッジの固化分を配管途中で分離することにより、スラッジ固化分のコーティング工程への流入を回避してマグネシアスラリーの塗布を行う方法について、提案する。
【解決手段】調合タンクにて調整されたマグネシアスラリーを、給液ポンプによりコーティング部まで送給し、該コーティング部にてマグネシアスラリーを鋼板に塗布するに際し、前記給液ポンプからのマグネシアスラリーを、少なくとも１箇所が屈曲された配管にて前記コーティング部まで導くに当たり、該配管の屈曲部を通るマグネシアスラリーの外側流と内側流とを、屈曲部の配管下流側において分断して前記内側流を前記コーティング部に導く。 （もっと読む）

【課題】インクジェットを使用したインク塗布において、長期にわたり安定な塗布が可能となるほか高価なノズルヘッドの交換時期を延ばすことができる塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】インク滴が吐出されるノズル１１と、ノズル１１に連通する圧力室１６と、圧力室１６内のインクに圧力変化を与える圧電素子１４とを含んで構成されるノズルヘッド１０と、ノズルヘッド１０にインクを圧送する圧送機構１７と、圧送圧力を制御する圧送制御部１８とを備えたインクジェット塗布装置を用いて、基板の所定領域にインク液滴を吐出し、塗布する塗布方法であって、インク滴を吐出しない待機時間に、圧送制御部１８を用いてノズル液面を揺動させる圧力を印加するようにしたものであり、安定な塗布が可能となるほか、高価なノズルヘッド１０の交換時期を延ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルから塗布液が液柱状に吐出されている状態と、ノズルの吐出孔に液溜まりが形成されている状態とを区別して認識し、不正常な状態での塗布処理を防止することができる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】基板塗布装置１は、レーザセンサ７１の受光器７１ｂから出力される受光信号を監視する。そして、受光信号が低下した時間に基づいて、ノズルから有機ＥＬ液が液柱状に吐出されている「第１の状態」と、ノズルの下端部に液溜まりが形成されている「第２の状態」とを判別する。このため、正常な状態である「第１の状態」と不正常な状態である「第２の状態」とを区別して認識することができ、不正常な状態での塗布処理を適切に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドモジュールにおけるインクの吐出状態を確認することのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するヘッド７をそれぞれ有する複数のヘッドモジュール４と、これらヘッドモジュール４に供給するインクを溜めるサブタンク８と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を計測する圧力センサ１５と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を制御するための電空レギュレータ１７と、圧力センサ１５の計測値を取得して当該計測値に基づいてヘッドモジュール４におけるインクの吐出状態を検出する管理手段３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗布装置のインクを置換する際に、配管内やインクジェットヘッド内に残留しているインクを洗浄することが必要であるが、溶解度の高い洗浄液を用いると、残留インクとの間でソルベントショックが生じ、却って凝集物が残ったり、洗浄後の洗浄液で次の新たなインクが希釈され、塗布ムラの原因となる。
【解決手段】使用したインクに用いた溶剤のなかで主溶剤単独もしくは主溶剤を含むその他の構成溶剤の混合溶剤で、配管内のインクを押し出し、その後洗浄液で洗浄し、加圧エアで洗浄液を揮発させる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置の吐出不良を防止できる充填液、及び、該充填液を充填して液体吐出ヘッドや液体吐出装置を輸送又は保管する方法の提供。
【解決手段】（１）液体吐出ヘッドに充填される充填液であって、シリコーンオイルを含有する液体吐出装置用充填液。
（２）上記充填液が充填されている液体吐出ヘッド。
（３）上記液体吐出ヘッドが搭載されている液体吐出装置。
（４）上記充填液が充填された状態で輸送又は保管する液体吐出ヘッドの輸送又は保管方法。
（５）上記充填液が液体吐出ヘッドに充填された状態で輸送又は保管する液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置の輸送又は保管方法。 （もっと読む）

【課題】機能液パック容器に流入した気泡を確実に且つ効率良く排出可能な機能液パック容器等を提供する。
【解決手段】機能液供給源から供給された機能液を貯留すると共に機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する袋状のパック本体６１を有する機能液パック容器（サブタンク４１）であって、パック本体６１に設けられた、機能液供給源に連なる流入ポート７１と、機能液滴吐出ヘッドに連なる流出ポート７２と、流入した気泡を排出するための気泡排出ポート７３と、を備え、流入ポート７１および流出ポート７２は、パック本体６１の両側辺部に設けられ、気泡排出ポート７３は、パック本体６１の頂辺部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】液状体吐出装置において、スペースの効率化を図り、床面積を小さくする。
【解決手段】液状体を吐出する吐出ヘッドと、被加工物５を積載可能なワークステージ１１と、の相対的な移動により被加工物５に描画を行う液状体吐出装置１００であって、ワークステージ１１を一定の方向に移動させるステージ移動装置１０と、吐出ヘッドをワークステージ１１の上方で一定の方向に移動させる吐出ヘッド移動装置２０と、を備え、ワークステージ１１の移動方向と平行に吐出ヘッドが移動するように吐出ヘッド移動装置２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】偶発的な吐出不良を顕在化して判定することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１における機能液の吐出不良を検査する機能液滴吐出ヘッド１の吐出検査方法であって、実描画に比して過酷な吐出駆動条件で、機能液滴吐出ヘッド１から機能液を連続して捨て吐出させる予備吐出工程と、予備吐出工程の直後に、機能液滴吐出ヘッド１から機能液を検査吐出させて、各吐出ノズル２１に対する吐出の有無を検査する吐出検査工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの定量供給が可能な、且つフォトレジストの定量吐出の異常の有無及び気泡の有無を予め感知できる、半導体素子のフォトリソグラフィ工程に使用されるフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】フォトレジストをウェハに吐出する吐出ノズルと、吐出ノズルに定量のフォトレジストを供給する定量ポンプと、定量ポンプから吐出ノズルに供給されるフォトレジストが一時格納されるトラップタンクと、トラップタンクに格納されるフォトレジストが満たされているボトルと、定量ポンプから吐出ノズルに供給されるために待機するフォトレジストに気泡が含まれているかを判別する気泡判別部材と、気泡判別部材が気泡をチェックすると、定量ポンプで待機中のフォトレジストを廃液タンクにドレーンするために、定量ポンプと廃液タンクとを連結する第１ドレーンラインと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】長手方向に走行するウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８とバックアップローラ２０とを上面で支持する一の架台３０と、架台３０の底面に設けられたアクチュエータ３３と、ウエブ１６の張力によるバックアップローラ２０が受ける力の方向を、水平に対して５０°〜７０°の角度となるよう、ウエブ１６をバックアップローラ２０に案内するパスローラ１４とを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】誤った異常検出が行われるのを防止する。
【解決手段】主剤用流量計１４ａと硬化剤用流量計１４ｂは、主剤と硬化剤の流量を個別に検出し、その検出結果をパルス信号として出力する。判断手段２２は、主剤と硬化剤が１回ずつ共通流路１５に供給される１サイクルの供給工程毎に、２つの流量計１４ａ，１４ｂから入力されるパルス信号の総数をカウントし、そのカウントしたパルス信号の総数が予め設定された正常数値の範囲内であるときには主剤、硬化剤及び混合塗料の流れが正常であると判断し、パルス信号の総数が正常数値の範囲外であるときには主剤、硬化剤及び混合塗料の流れが異常であると判断する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法と構成でノズル硬化を確実に防止することができるように工夫した液滴吐出型ディスペンサのノズル硬化防止方法と液滴吐出型ディスペンサのノズル硬化防止装置を提供すること。
【解決手段】 非使用時に液滴吐出型ディスペンサのノズルを溶剤ポット内に漬け置きしておき、使用時に溶剤ポット内より引き抜いた液滴吐出型ディスペンサのノズルに拭き取り処理を施し、その後使用するようにし、それによって、ノズルの先端における溶剤の液溜まりに起因した吐出不良を未然に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドのメンテナンス動作を効率よく行うことができ、装置全体を小型化す
ることが可能な液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有して、当該ノズル面の各ノズルから
機能液の液滴Ｄを吐出する吐出ヘッド３と、ノズルから吐出された液滴Ｄをシート部材７
１に着弾させて、液滴の着弾精度を測定する着弾精度測定ユニット１３と、ノズルから吐
出された液滴Ｄを吐出対象物に着弾させる着弾エリアと、シート部材７１が設けられた着
弾精度測定エリアを含むメンテナンスエリアとの間で、吐出ヘッド３を移動させるヘッド
移動手段とを備え、吐出ヘッド３は、着弾精度測定エリアにおいて、ノズルからシート部
材７１に対して液滴Ｄを吐出するフラッシング動作を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のインク循環型インクジェットヘッドで、吐出信頼性が高く、高品質な塗工が可能なインク供給装置を提供すること。
【解決手段】インク吐出口近傍の共通液室にインクの供給口と排出口を有する複数のインク循環型インクジェットヘッドを有するインク吐出部と、前記インク吐出部にインクを供給／回収するためのインク分配マニホールドおよびインク回収マニホールドと、インク吐出口のインク圧力を制御する圧力センサと、前記インク循環型インクジェットヘッド内のインクを循環させる循環ポンプと、前記インク吐出部にインクを供給するインク供給部と、前記マニホールド内のインク温度を温調するための温調器を含み、上記インク循環系にインクと気体の接触がなく、複数のインク循環型インクジェットヘッドに適正な温度のインクを供給および循環させることを特徴とするインク密閉式循環型のインク供給装置。 （もっと読む）

【課題】設備コストおよびメンテナンスコストの増加を抑制しながら、配管系に滞留する塗料を効率的に回収することができる塗装システムおよび塗料回収方法を提供する。
【解決手段】塗料Ｐを収容する密閉式塗料タンク１１０、塗料Ｐを吐出するための吐出手段１３０、配管系１４０、第１圧送手段１２０、第２圧送手段１５０および圧力制御手段１２２を有する塗装システム１００であって、配管系１４０は、塗料タンク１１０と吐出手段１３０との間を連結するために使用され、第１圧送手段１２０は、塗料タンク１１０に収容されている塗料Ｐを圧縮ガスによって加圧して圧送することにより配管系１４０を経由して吐出手段１３０に供給するために使用され、第２圧送手段１５０は、配管系１４０に滞留する塗料Ｐを圧縮ガスによって加圧して圧送することにより吐出手段１３０に供給される際に使用された同一経路を経由して塗料タンク１１０に回収するために使用される。 （もっと読む）