【課題】得られる膜のパターンや厚さの精度向上を図った、成膜装置とこれを用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、液滴吐出ヘッド３４を移動させるヘッド移動手段３３と、液滴吐出ヘッド３４における各ノズルからの液滴の吐出を制御する制御手段４０と、を有してなる成膜装置３０である。制御手段４０は、被成膜体Ｓ上への液滴吐出による描画処理とは別に、描画処理に先立つ待機時において液滴吐出ヘッド３４に、描画処理における液滴吐出ヘッド３４全体での液滴吐出速度の、±１０％の範囲の液滴吐出速度で、非描画領域Ｆに吐出をなさせるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットの吐出不良による画像不良を回避することができるインクジェットヘッド記録装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１０は、ノズル１９への分岐後流路に設けられた開放面（開口）３３と、該開放面３３上流を閉鎖可能の流路閉鎖部材２３と、各ノズル１９への機能性液状体供給流路３４とは別経路で配置された液加減圧部２６と、流路閉鎖部材２３により分岐後流路を閉鎖した後、ノズル１９と液加減圧部２６とを接続して機能性液状体３２の加減圧を行う加減圧制御手段３０と、を備える。パージ処理時に、流路閉鎖部材２３によってノズル１９への開口３３上流を閉鎖した後、液加減圧部２６によりノズル１９と液加減圧部２６とを連結させて、機能性液状体３２の加減圧を行い、ノズル１９に圧力を作用させてノズル１９の吐出不良を解消する。 （もっと読む）

【課題】塗料の流速を大きくせずに、配管内での塗料の沈降を抑えることができる塗料供給装置を提供することを課題とする。
【解決手段】塗料配管２０は、塗料循環行き配管２０Ａ、塗料循環戻り配管２０Ｂ、余剰塗料戻り配管２０Ｃを含み、これらの配管２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに各々回転可能配管２１を設ける。回転可能配管２１は、図左右方向に延長してなる直線配管２２と、この直線配管２２の両端に設けた回転管継手３０、３０とからなり、回転機構５０で回転させるようにした。
【効果】直線配管２２を回転させると、内部の塗料は上下に撹拌される。この撹拌により、塗料成分の分離や沈降を防ぐことができる。以上から、塗料の流速を大きくせずに、配管内での塗料の沈降を抑えることができる塗料供給装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターン状に設けられた隔壁とを含む基板の開口部に、複数のノズルから各隔壁内にインクを吐出するインクジェットの吐出パターン生成装置において、傷がついてしまったノズルや不吐出ノズルによる濃度むらや混色による品質低下をすることがなく、高品質なカラーフィルタを製造する吐出パターン生成装置を提供すること。
【解決手段】基板と、基板に対してインクを吐出するための複数のノズルからなるインクジェットヘッドを組み合わせて一体としたインクジェットヘッドユニットと、前記インクジェットヘッドと各々のノズルの位置情報を計測する手段と、前記ノズルの不良状態の有無情報を検出する手段と、前記位置情報と前記不良状態の有無情報から各インクジェットヘッドの吐出パターン情報を自動的に生成する手段と、前記吐出パターン情報に基づいてインクジェットヘッドのノズルを制御する手段と、を備えた吐出パターン生成装置。 （もっと読む）

【課題】塗布停止時におけるスリット内の塗布液の乾燥防止や目詰まり防止をメンテナンスフリーで実現するスリットコータの提供。
【解決手段】ノズルを構成する対となったリップ部１２，１３相互間にスリット１５を介在させてなるスリットコータ１１と、塗布液Ｌを貯留する貯液タンク２１と、該貯液タンク２１からスリット１５内へと塗布液Ｌを送る送液管３１との間に形成される液流路系Ｆに対し、スリットコータ１１が塗布停止中に振動を与える振動付与手段４１を配設して、液流路系Ｆ中の塗布液Ｌにおける大気との接触面Ｌ_１の乾燥を自動阻止自在とした。また、スリットコータ１１と、塗布停止時にスリット１５における液吐出口１６を閉止すべく真空吸引自在に配設される蓋体と、該蓋体の内側面と液吐出口１６との間に配設されて施蓋時に液吐出口１６に接触する吸湿清拭材とを少なくとも具備させてスリット１５の目詰まりを自動阻止自在とした。 （もっと読む）

【課題】 密集して配列された複数個のヘッド吐出口を有するインクジェットヘッドに対して印字前または印字後の吐出検査を有効に実施する。
【解決手段】 金属ローラを回転させながら検査用の印字をすることで、ライン状の規則性あるパターンが形成され、画像認識を容易にする。また、クリーニング機構として、金属ローラの回転上流側から第１の洗浄液吐出口によって洗浄液を吐出させ、洗浄液とインクの混合液を第１のブレードで除去し、さらに第２の洗浄液吐出口によって洗浄液を吐出し、金属ローラ上の洗浄をしながら第２のブレードでかきとる。最後には洗浄液とエアの混合流体を金属ローラに噴射し、仕上洗浄を行う。次に溶剤を揮発、乾燥させる目的でエアナイフを用いて、ローラ上が常に乾いて、清浄度が保たれた状態とする。 （もっと読む）

【課題】従来の、ヘッドの吐出回復手段では、負圧を用いて吸引することで余分にインクを吸引してインクの無駄が発生し、キャッピングに時間がかかり、生産性が低下するという課題がある。
【解決手段】インク供給チューブを外から押し潰す方式の微量インク送り出し部とインクの流れを遮断してインクの移動方向を制御するインク遮断部から構成されるインク押し出し機構をインク供給チューブの間に設ける。 （もっと読む）

【課題】インクの消費量を抑えつつ常に良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１の部材２１と第２の部材２６とがフィルタ２７を介して固着されていると共に、フィルタ２７が、第２の部材２６の第１の部材２１との接続領域に設けられて他の領域よりも内径の広い空間であるフィルタ室３１内に配設され、このフィルタ室３１の内面を、液体供給手段１３側からフィルタ２７側に向かう溝３２を有する形状とする。 （もっと読む）

【課題】吐出口の構造を複雑化することなく、また特別な装置を追加することなく吐出口の液溜まり等を容易に除去することができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】被吐出材料２００を対象物に対して吐出する吐出口１４２を有する吐出部１４０と、前記吐出部内の被吐出材料に対する吐出圧力を調整する吐出圧力調整手段３００と、前記吐出口を撮像する吐出口撮像手段１６０と、前記吐出口撮像手段により撮像された前記吐出口における前記被吐出材料の状態を複数の色彩の組み合わせによって表示する画像処理部１７０と、を有することで塗布装置１００を構成する。 （もっと読む）

【課題】配管内に滞留して劣化した薬液を排出するための特別な処理とそれに伴う装置の稼動停止が不要になり、ノズル先端固化と劣化した薬液の吐出を防止しつつ、無駄になる薬液を最小限にする。
【解決手段】薬液塗布装置に対して定期的にダミー吐出を行わせる際のダミー吐出レートを少なくとも２つ有し、一定の期間に吐出される薬液の量が常に一定値を超えるように前記ダミー吐出レートの切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】 ヘッド面をクリーニングするブレード部材のクリーニング特性を長期間に亘り保持する。
【解決手段】 ブレード部材４１がヘッド面２６ａとの対向位置から退避位置へと移動する移動路の途中に配置され、ブレード部材４１が移動途中で摺擦してクリーニングが行われるブレードクリーニングベルト６３を有するブレードクリーニング機構６０を備える。ブレードクリーニングベルト６３が駆動軸６６に設けたワンウェイクラッチ軸受６８によりブレード部材４１一方移動動作においてのみ一方方向の送り動作が行われる。 （もっと読む）

塗料循環システムは製品仕上げ設備におけるアプリケータに塗料を提供するのに好適である。このシステムはシステム内に塗料を送り込むポンプと、自体の上流に位置するシステム部分における塗料の圧力変動を実質的に解消する背圧調整器（ＢＰＲ）を含む。システム内を循環する塗料が所要の流量に維持される流量モードと、ポンプおよびＢＰＲ間における塗料圧が維持される圧力モードとのいずれかで動作するようにポンプおよびＢＰＲを制御する制御手段を設ける。塗料循環方法はポンプおよびＢＰＲを流量モードと圧力モードとの間で切り替える動作を含む。
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【課題】 ノズル位置を簡単に検出することができるようにした液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズル１と、該ノズル１から吐出された液滴を検出する液滴検出部２とを備え、該液滴検出部２は、液滴吐出方向と直交する方向の光軸６を有する光学ビームを発光する発光部７と該光学ビームを受光する受光部８とを有する光センサ部５と、該光センサ部５と前記ノズル１とを液滴吐出方向と前記光軸６とに直交する方向に相対移動させる第一移動部９と、前記光センサ部５の光学ビームを前記液滴が遮光するとき前記受光部８の受光量が低下することで液滴の有無を判断する制御部１０とを備え、前記液滴検出部２が、前記ノズル１の位置を検出するノズル位置検出部１１とされており、前記制御部１０は、前記ノズル１と光センサ部５とを前記第一移動部９により相対移動させて前記受光部８における受光量の変化を検出し、該検出結果に基づき当該ノズル１の位置を求めるものである。 （もっと読む）

【課題】スピナー設備においてノズルを通してケミカル溶液が噴射されるときにノズルの目詰まりを検出してケミカル溶液の噴射不良を低減する噴射不良制御装置を提供する。
【解決手段】フォトスピナー設備の噴射不良制御装置において、ケミカル溶液を噴射するノズルと、前記ノズルの噴射圧力を感知する少なくとも１つ以上の圧力センサーと、前記圧力センサーで感知された圧力値を受けて予め設定された圧力値と比較して予め設定された圧力値を超過するときにインターロック信号を発生するコントローラーと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの短時間の温度調節が可能な２液混合吐出装置を提供する。
【解決手段】 別々に貯蔵された２種類の材料を使用直前に混合して硬化させて使用する２液混合型の硬化型材料を間欠的に吐出するためのノズル６を備えた、２液混合吐出装置１において、硬化型材料の吐出時にはノズル６と接触し、硬化型材料の吐出休止時にはノズル６と非接触となる加熱部７と、硬化型材料の吐出休止時にはノズル６と接触し、硬化型材料の吐出時にはノズル６と非接触となる冷却部８と、を備え、加熱部７は硬化型材料の反応速度が増大する高温度に常時保たれており、冷却部８は硬化型材料の反応速度が低下する低温度に常時保たれていることを特徴とする。 （もっと読む）

ホットメルト接着剤のホースアセンブリは、一対のヒータ回路と、ホースコアの外周面に接触してさらに配置される一対の温度センサとを包含する。第一のヒータ回路と第一の温度センサとは、初めにホットメルト接着剤のホースアセンブリの電気的回路構成要素と電気的に接続される。前記第一の回路で又は前記第一の温度センサで、故障が発生した場合に、故障したヒータ回路又は故障した温度センサを、ホットメルト接着剤のホースアセンブリの電気的回路構成要素から有効に取り除き、第二のヒータ回路又は第二の温度センサを前記電気的な回路構成要素に電気的に接続するために、電気的なスイッチ機構を作動することが出来る。このような冗長性は、故障した構成要素の取替えのために生産を休止する必要性を排除し、その結果、生産時間の損出を防止する。
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【課題】予備吐出したインクを色毎に回収可能なインク回収装置及びパターン形成装置を提供する。
【解決手段】吐出穴１０１ｂ，１０３ｂ，１０３ｂが予備吐出したインクを、インクの色毎にインク受容パン１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが回収し、そして、そのインクを着脱可能に設けられた回収ビン１２１ｅ，１２２ｅ，１２３ｅが貯留し、さらに、インク受容パン１２１ａ，１２２ａ，１２３ａの間の範囲に、霧状インクを吸引するインク吸引室１２６ａを設けた。 （もっと読む）

【課題】ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液によって洗浄するため洗浄装置およびそれを用いたダイヘッド内の洗浄方法の提供を目的とする。
【解決手段】ダイヘッドのスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させるための液溜まりを有していて、ダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーをダイヘッドの先端部分を覆うように装着した後、ダイヘッドのマニホールドとスリット、並びに洗浄カバーの液溜まりの中に制御バルブを経由して洗浄液をその供給量を調整しながら送り込むと共に、洗浄カバー、ダイヘッドブロック、供給管等に付設の超音波振動子で洗浄液を振動させながらダイヘッド内の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの目詰まりの発生を起きにくくすることができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動制御方法を提供する。
【解決手段】 機能液を吐出するためのノズル２７を有する吐出ヘッド２６と、機能液がリフレッシュされたときからの所定時間を計時するタイマ８９と、経過時間に対応した微振動電圧波形をノズル２７におけるメニスカスに印加するデータが記憶されたＲＯＭ７３またはＲＡＭ７４と、経過時間に対応したデータに基づいて吐出ヘッド２６に微振動電圧波形を印加するように指示するＣＰＵ７２とを備える。さらに、微振動電圧波形は、経過時間に伴って、徐々に大きくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】色替の時間を短縮することができる粉体塗装装置を提供する。
【解決手段】塗料供給装置１０の吸引管１１の吸上げノズル１２を塗料タンク２に抜き差しする昇降装置３と、吸上げノズル１２に接続され吸引管１１内を空気流により清掃する空気洗浄ノズル２０とを備え、空気洗浄ノズル２０を、吸上げノズル１２に対向する清掃準備位置と、塗料タンク２の設置空間から退避する待機位置との間で往復自在に設け、空気洗浄ノズル２０が、塗料タンク２の搬出方向動に追随して清掃準備位置に移動し、塗料タンク２の搬入方向動に追随して待機位置に移動するようにした。 （もっと読む）