【課題】基板面内において塗布液を均一に塗布しつつ、塗布液の供給量を低減する。
【解決手段】ウェハを第１の回転数で回転させ、ウェハ上に純水が拡散しないように、ウェハの中心部に純水を供給する（工程Ｓ１）。ウェハの回転を第２の回転数まで加速させ、ウェハ上の純水の中心部に塗布液を供給し、塗布液の下層に塗布液と純水の混合層を形成する（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第３の回転数まで加速させ、塗布液をウェハ上の全面に拡散させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第４の回転数まで減速させ、ウェハ上の塗布液の膜厚を調整する（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第５の回転数まで加速させ、ウェハ上の塗布液を乾燥させる（工程Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】作業者の誤操作等により供給路の洗浄前に電源スイッチが切れてしまうことを防止し、ひいては混合機内で混合液が硬化してしまうことを防止できる多液混合装置を提供する。
【解決手段】本発明の多液混合装置は、閉状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給する一方、開状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給しないものとする電源スイッチ３５と、液状態判定手段３０による測定結果に基づいて、供給路１５内の液体が混合液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行不能とし、供給路１５内の液体が洗浄液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行可能とする制御装置２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の粘性流体塗布装置は、カートリッジ３３０と、ピストン３３４と、エアー供給源３３２と、切替えバルブ３３１と、供給配管３４０と、供給コック３４１と、供給コック３４１により塗布ヘッド１００への粘性流体の供給が停止され塗布ヘッド１００が基板への塗布動作を終了させた後、エアー供給源３３２に接続され大気圧よりも大きい圧力を粘性流体に継続的に加える供給状態から、切替えバルブ３３１による切替えを所定の時間間隔繰り返す事により、所定の時間間隔で圧力が変化するようパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返し、ピストン３３４の上下動により粘性流体の固化を防止する固化防止状態に切替えるように制御する制御部１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本来の塗料分配機能を高く確保しながら、塗料沈降を効果的に防止するとともに配管コストを安価にする。
【解決手段】 塗料往き管路４及び塗料還り管路５の夫々を複数の塗装ガン装備部２の配設列に沿わせて延設し、それら塗装ガン装備部２の夫々において、塗装ガン３に供給する塗料Ｔを取り出す塗料取出部１１を構成するのに、塗料往き管路４と塗料還り管路５とを短絡的に接続するバイパス管路１２を設けて、そのバイパス管路１２から塗料取出管路１３を分岐し、この塗料取出管路１３を開閉する塗料取出弁１５を設ける塗料供給設備において、塗料往き管路４をその全長にわたって同一管径の管路にし、塗料還り管路５をその下流側ほど管径が段階的に大きくなる管路にする。 （もっと読む）

【課題】予備の吐出ヘッドを備えさせることにより吐出ヘッドのメンテナンス期間を長くし且つ、液体吐出途中で吐出ヘッドの寿命に起因して吐出を完了できない状況を回避する。
【解決手段】各々独立して着脱可能な複数の吐出ヘッドを備えさせ、各吐出ヘッドにおける使用頻度と故障の有無とから成る液体吐出状況を監視し、監視結果に基づいて各吐出ヘッドの寿命を判断し、寿命の残っている全ての吐出ヘッドを切換対象として設定しつつ、切換対象となる吐出ヘッド間で使用頻度に偏りが生ずるように切換順を設定し、設定された切換順で切り換えて液体吐出を行わせる。そして何れかの吐出ヘッドで寿命の残りが所定値を下回ると、交換を促す通知を行う。 （もっと読む）

【課題】エア等の異物を簡単に除去できる異物除去装置を提供すること。
【解決手段】エネルギＵＶを加えられて硬化する液状のガスケット材料２を収容する収容容器３と、前記ガスケット材料２をワーク４に塗布する塗布装置５との間に配置される異物除去装置１０において、前記収容容器３と前記塗布装置５とを接続するものであって、窓１８が形成された接続管１１と、前記窓１８を介して前記ガスケット材料２を監視し、前記ガスケット材料２に含まれる異物８を検出する異物検出装置１９と、前記異物検出装置１９が前記ガスケット材料２に含まれる異物８を検出した場合に、前記異物８を含む前記ガスケット材料２に対して前記エネルギＵＶを加えるエネルギ付加装置２０と、前記エネルギ付加装置２０が前記エネルギＵＶを加えて硬化させたガスケット材料２ａを除去する除去装置１６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルの先端部において固形物やゲルの発生ならびに微粒子の凝集による沈降やノズル内の固着を防止できる塗布ヘッド、および被塗布基材上の塗布膜に塗布ムラやスジの不良現象発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】溶液を吐出するノズルを有する塗布ヘッドにおいて、電圧を印加した金属線または金属プレートをノズルの内側に配置し、ノズルには逆電位の電圧を印加することでノズル内における材料の沈降と固着を抑制できる。その結果、被塗布基材上の塗布膜に塗布ムラやスジの不良現象が発生しない塗布装置の実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドのクリーニングを行う際に無駄に消費される流体の量を低減することが可能な流体噴射装置及びメンテナンス装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１からインクを噴射可能な記録ヘッド１９を有するインクジェット式プリンタに備えられるメンテナンス装置２３は、ノズル２１を囲うようにして記録ヘッド１９に当接した状態で、内部に負圧が生じた場合にはノズル２１からインクを吸引可能に形成されたキャップ部材２４と、該キャップ部材２４内を吸引可能なチューブポンプ２８とを備える。さらに、メンテナンス装置２３は、チューブポンプ２８によってキャップ部材２４内が吸引された場合に、該キャップ部材２４内に発生する負圧の値が予め設定した閾値よりも大きくならないようにするための負圧規制装置３０を備える。 （もっと読む）

【課題】アライメントマスクの表面からマスク押え部材が突出することのないマスクユニット等を提供する。
【解決手段】表面の４周縁にそれぞれ傾斜面を形成した方形のアライメントマスク１０６と、４周に亘ってアライメントマスク１０６より大きく形成され、アライメントマスク１０６が載置されるマスクプレート１４５と、マスクプレート１４５に固定され、アライメントマスク１０６の各辺宛て少なくとも１つ設けられたマスク押え部材１４７と、を備え、各マスク押え部材１４７は、各傾斜面に対し、側方から乗り上げるようにしてアライメントマスク１０６を押さえている。 （もっと読む）

【課題】検査精度を維持しつつ、機能液吐出ヘッドからの検査吐出を受ける検査シートの無駄な消費を抑えることができる吐出検査装置等を提供する。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを導入セットし、各機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査装置であって、複数の機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出による設計上の着弾位置をマーキングしたアライメントマスクを備え、アライメントマスクには、ヘッドユニットにおける複数の機能液滴吐出ヘッドの配置パターンと同一のマスクパターンが複数組、且つ相互に位置ずれしてパターニングされている。 （もっと読む）

【課題】 何れかのインクジェットノズルがカラー材料を正常に吐出できない状態になった場合であっても、塗布対象物に対してカラー材料を高品質に塗布する。
【解決手段】 塗布対象物（２）に対して各インクジェットノズル（５２）から正常にカラー材料が供給されたか否かを検査する検査部（８１）と、カラー材料供給動作を行った後に検査動作を行わせるように前記検査部（８１）を制御し、次回のカラー材料供給動作時に、正常にカラー材料の供給が行われなかったインクジェットノズル（５２）を動作させないように前記インクジェットヘッド（５）を制御する第１制御手段（８２）（８３）を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、液滴の吐出不良および吐出面への異物付着の両方を適切に検出することが可能な液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクジェット塗布装置１０は、光学センサ２０および制御部３０を備える。光学センサ２０は、液滴の進行経路に交差するように検出光１００を出射する発光部３２、および検出光１００を受光する受光部３４を有する。光学センサ２０は、少なくとも検出光１００の一部がノズルプレート２６によって遮られる第１の位置、および、ノズルプレート２６と被処理物との間隔に相当する距離だけノズルプレート２６より下方に位置する第２の位置において、検出光１００の出射および受光を行う。制御部３０は、受光部３４の受光状態に基づいて、発光部３２および受光部３４の間を遮る物体の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】メインキャリッジに対するヘッドユニットの除給材を円滑に行うことができるヘッドユニットの除給材装置等を提供する。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットの、メインキャリッジに対する給材および除材に用いる除給材装置であって、ヘッドユニットを支持する装置本体と、装置本体を、ヘッドユニットの搬入搬出位置とメインキャリッジの直下の待機位置との間で相対的に移動させる移動手段と、装置本体を、待機位置とメインキャリッジに対しヘッドユニットの受取り・受渡しを行う除給材位置との間で相対的に昇降させる昇降手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】液状体の吐出不具合に起因する不良画素を早期に発見することができる画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】描画システム１は、液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置１０と、液状体が吐出描画された画素領域を観察する観察部３を有する画素観察システム２と、液滴吐出装置１０と画素観察システム２とを統括的に制御する統括制御部としての上位コンピュータ１１とを備えた。上位コンピュータ１１は、記憶部１４に格納されたノズル情報と基板に対するノズルの配置情報とに基づいて、少なくとも１回の基板と複数のノズルとの相対移動において複数のノズルが掛かる画素領域の座標を観察座標として生成し、観察部３のカメラ１５を用いて、当該観察座標に位置する画素領域を観察・撮像する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能な半導体デバイス製造装置および半導体デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 封止部材２１を上昇させて支持部材１３の当接面１７ａに封止部材２１の縁部２１ａを当接させ、精密吐出ノズル５を隔離した状態で、排気装置４１を作動させてチャンバ１内を所定の圧力まで減圧排気する。次に、ガス導入部２６を介してパージガス供給源３１からパージガスをチャンバ１内に導入し、チャンバ１内雰囲気をパージガスで置換するとともに、チャンバ１内の圧力を大気圧に戻した後、封止部材２１を下降させて精密吐出ノズル５の隔離を解除する。次に、キャリッジ７をＸ方向に往復移動させながら、基板Ｓ表面へ向けて液体デバイス材料の液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】液体が流通する通路の詰まりや気体送出手段の故障など、液体供給動作に影響する不具合を検出することができる液体供給装置およびその不具合検出方法を実現する。
【解決手段】ディスペンサヘッドの液体保持部に保持された液体を加圧された気体により外部に押し出すようにした液体供給装置において、前記液体保持部に所定量の液体を注入する液体注入手段と、 この液体保持部に加圧された気体を送り込む気体送出手段と、前記液体注入手段の不具合を検出する第１の不具合検出手段と前記気体送出手段の不具合を検出する第２の不具合検出手段とのいずれかを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リブなどで凸凹をなす基板に対しても、基板のうねりを精度良く計測し、ペーストパターンを高精度に形成することができて、生産性を高める。
【解決手段】基板Ｋには、図３に示すような、ストライプ状のＲａや井桁状のリブＲｂが設けられ、凸凹状をなしている。かかる基板ＫのリブＲａ間にペーストを塗布するノズルには、距離センサ（例えば、非接触式三角測式センサ）１９が設けられている。ペーストパターン形成のためのペースト塗布に先立ち、この距離センサ１９によって基板Ｋのうねりを計測するのであるが、これらリブＲａに対して微小角傾き、かつペースト塗布経路（この場合、リブＲａ間）近傍の経路に沿って距離センサ１９，基板Ｋ間の距離を測定していく。そして、その測定結果の距離データを処理してリブＲａの頂点を結ぶ面を求め、これによって基板Ｋのうねりを検出し、基板の表示領域一面を網羅する大きさのノズル１８にて塗布を実施する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの目詰まりや液状体の飛行曲がりを低減し、且つ液状体の吐出精度の確認ができる描画装置、液状体の描画方法、配線基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】描画装置１００は、液状体を液滴として複数のノズルから吐出する吐出ヘッドが搭載されたメインキャリッジ１０１と、メインキャリッジ１０１をＸ軸方向に移動可能なＸ軸リニアガイド１０２と、基材１を吐出ヘッドに対向配置すると共にＸ軸リニアガイド１０２に対して直交する方向に搬送するテープ搬送機構１１０と、各部を制御する制御部１３０とを備えた。テープ状の基材１には複数の描画領域が設けられており、制御部１３０は、基材１の複数の描画領域のうち少なくとも１つを吐出ヘッドと対向させ、当該描画領域に吐出ヘッドから液状体を吐出する予備吐出を行う。 （もっと読む）

【課題】ノズル部内に入射する光により内部のリブ形成材料が硬化してノズル部が詰まることを防止することにより、基板上にリブを精度よく形成する。
【解決手段】リブ形成装置では、ノズル部５１および光照射部４３を基板９の主面９１に沿って基板９に対して相対的に移動しつつ、ノズル部５１から基板９上に吐出されるリブ形成材料に光照射部４３から紫外線を照射することにより、リブが形成される。ノズル部５１は、紫外線を透過するジルコニアにて形成され、ノズル部５１の吐出口５１２近傍の表面には、ノズル部５１内のリブ形成材料の流路５１３へと到達する紫外線を遮蔽する遮蔽層５１１が形成される。これにより、ノズル部内に入射する光により内部のリブ形成材料が硬化してノズル部５１が詰まることを防止することができ、その結果、基板９上にリブを精度よく形成することが実現される。 （もっと読む）