【課題】流動性材料が塗布される基板上の非塗布領域に流動性材料の付着を防止するマスク部材を粘着剤層を介して貼付するマスク部材貼付装置において、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止する。
【解決手段】マスク部材貼付装置では、マスク部材１２が基板９の非塗布領域９２に向けて押圧されることにより、マスク部材１２が、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１を介して基板９上に貼付される。粘着剤層１１は、粘着材料１１１および粒状のスペーサ１１２を含んでいるため、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さはスペーサ１１２の直径におよそ等しくされる。また、マスク部材１２の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープが貼付された基板において、非塗布領域と塗布領域との間の境界におけるメニスカスの発生を容易に防止する。
【解決手段】テープ貼付装置により基板９上に貼付されたマスキングテープ１では、第１マスキングテープ１１の第１下面エッジ１１２３が非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０よりも非塗布領域９２の内側に位置しており、第２マスキングテープ１２の第１マスキングテープ１１から外側へと突出する庇部１２０が非塗布領域９２の露出領域９２１を覆う。これにより、基板９上に吐出された有機ＥＬ液が露出領域９２１に付着することが防止され、また、有機ＥＬ液が第１マスキングテープ１１の側面１１０３に付着してメニスカスを形成することも防止される。その結果、非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０におけるメニスカスの発生を容易に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】着色層の形状を改善して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５を移動させつつ基板３に対してインクを塗布し、インク塗布を行った分だけインクジェットヘッド５を移動させる。カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５の移動に伴い、シート９を移動させて基板３の着色層の上方を覆う。これにより、シート９で覆われた着色層の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層の乾燥環境を均一にすることにより、着色層の変形を防止して表面形状を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ落下することを防止することができ、しかも、少ない液量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置の提供。
【解決手段】テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置。 （もっと読む）

【課題】液状材料の塗布時点で、塗膜形成対象物の貫通穴内部へ液状材料の侵入をより確実に防止する塗膜形成方法及び塗膜形成装置を提供すること。
【解決手段】塗膜形成対象物１の塗布面３に塗膜１０を形成する際に、塗布面３側の気圧より反対面４側の気圧を高くし、貫通穴２内に塗布面３側へ向かう空気７の流れを発生させた状態で、スプレーノズル８から液状材料９を噴出させる。空気７の流れにより、液状材料９が貫通穴２内に入り込むことを防止する。 （もっと読む）