【課題】
長尺の高分子フィルムの表面改質を効率よく連続的に行う高分子フィルムの連続的表面改質方法、この方法の実施に好適な高分子フィルムの連続的表面改質装置、及び前記方法によって得られる長尺の高分子フィルムを提供する。
【解決手段】
表面部にイオン注入層を形成する高分子フィルムの連続的表面改質方法であって、長尺の高分子フィルムを、高電圧印加回転キャンの周囲に沿って一定方向に搬送させると同時に、前記高電圧印加回転キャンに負の高電圧のみを印加して生成させたプラズマ中のイオンを、前記フィルム表面部に注入することを特徴とする高分子フィルムの連続的表面改質方法、高分子フィルムの連続的表面改質装置、及び前記表面改質方法によって得られる長尺の高分子フィルム。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の外周面に、所定の処理を施しやすいマイクロ波プラズマ処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】マイクロ波プラズマ処理装置１は、スリット３００を有する筒状の内周壁部３０と、内周壁部３０の軸直方向外側に配置される筒状の外周壁部３１と、内周壁部３０と外周壁部３１との間に区画される導波通路３３と、内周壁部３０の軸直方向内側に区画され、スリット３００を介して導波通路３３に連通し、処理対象物８０の外周面８００が配置される照射部３４と、プラズマ生成用ガスをスリット３００に供給するガス供給管３５と、を備える。略大気圧条件下において、マイクロ波とプラズマ生成用ガスとをスリット３００に通過させることにより、スリット３００付近に高電界を形成し、照射部３４にプラズマを生成し、プラズマにより外周面８００に所定の処理を施す。 （もっと読む）

本発明は、ポリマー成形品の表面処理装置を提供する。動作において、ポリマー成形品は、製品装着及び解放ユニット（２０）に、ジグ（１１）によって保持され、そして製品送りユニット（１０）によって移送される。第１の不純物除去ユニット（３０）は製品の表面を清浄にする。製品は、入口真空ユニット（４０）を通り、製品表面のイオン処理ユニットに入る。イオン処理ユニットは、イオン電流を制御し、そして雰囲気ガス供給ユニット（６０）から供給されるガスを用いてプラズマカチオンを生成し、またプラズマイオンは製品の表面上で一様に走査される。表面処理済みの成形品は、第２の不純物除去ユニットを通り、製品装着及び解放ユニットに送られ、そこでジグは処理済の製品を新しい製品に交換する。 （もっと読む）

【課題】効率的に内周面処理を行なうことができるとともに内周面処理のばらつきを低減することができるチューブ状フィルム内周面処理装置およびチューブ状フィルム内周面処理方法を提供する。
【解決手段】棒状電極３と、所定の間隔をあけてそれぞれ互いに向かい合っており連結部材６によって連結されている第１台座１０および第２台座９と、第１台座に設置され第２台座の方向に突出した第１凸部１と、第２台座に設置され第１台座の方向に突出した第２凸部２とを含み、第１凸部には棒状電極が挿通可能な貫通孔が設けられており、棒状電極は第１凸部の貫通孔を通って第１凸部の突出方向に前進または第１凸部の突出方向と反対方向に後退する。 （もっと読む）