【課題】 光学素子の表面に効率良く均一なパターンを形成してパターニングの品質を高める光学素子表面のパターニング方法を提供する。
【解決手段】 光学素子を載置する支持面を具え、且つ内部に複数の冷却管を配設してなるダイセット部と、
該ダイセット部の支持面の周囲に設けられ該光学素子を固定する挟持部と、該ダイセット部の支持面に対向するとともに、所定のパターンを形成する入子が設けられてなる圧接面を具え、且つ内部に加熱手段が設けられるダイと、該ダイの上方に設けられ、該ダイを駆動して光学素子に対する熱圧接を進行させる駆動手段と、を含んでなる光学素子表面のパターニング装置を利用して、光学素子を該ダイセット部の支持面に固定し、ダイの位置を調整して該光学素子上に対応させ、熱圧接方式で該ダイを該光学素子に圧接させ、該入子を該光学素子の表面に圧入させてパターンを形成する。 （もっと読む）