【課題】ナノインプリント用モールド表面に形成した離型剤の塗布状態を微視的に検査する方法であって、微細な凹凸パターンの凹部パターン底面を含め、モールド表面が離型作用を受けるに十分な量の離型剤で均一に被覆されているか否かを迅速かつ簡便に知ることができる検査方法およびパターン形成方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有し、前記凹凸パターン上に離型剤が塗布形成されたナノインプリント用モールドの離型剤の塗布状態の検査方法であって、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンの測定領域において、前記カンチレバーの探針先端と前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンとの間に働くフォースカーブから前記探針と前記凹凸パターン表面の離型剤との間の付着力を計測し、前記付着力より前記離型剤の塗布状態を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストでスタンプと被転写基板との並行度を維持しつつ双方を密着させることが可能なマイクロコンタクトプリント装置及びマイクロコンタクトプリント方法を提供する。
【解決手段】基板台５の上側に試料基板３が固定される。また、基板台５の上方に配置されているスタンパー３１は、スタンプ２が下方に接着されたスタンプホルダー１を支持部７ｃにより下方から接離可能に支持した構造を有している。そして、スタンパー３１を下方に移動させ、スタンプ２及びスタンプホルダー１を試料基板３上に載置させて、スタンプホルダー１と支持部７ｃとを離隔させる。このことによりスタンプ２及びスタンプホルダー１の自重によってスタンプ２が試料基板３に押圧され、スタンプ２に付着した被覆膜材料を試料基板３に転写させる。 （もっと読む）

【課題】インプリントプロセスにおけるアライメントに関する制御条件を工夫し、より好適なアライメント制御が可能となるインプリント方法等を提供する。
【解決手段】
基板上のパターン形成層に、モールドが有するインプリントパターンをインプリントするインプリント方法である。
そして、前記モールドと前記樹脂との接触時に発生する前記位置合わせ制御の誤動作を防止するために、前記位置合わせ制御を停止させるステップを有するか、あるいは、
前記位置合わせ制御を行なうための前記ステージの制御方法、駆動プロファイル、あるいは制御パラメータの少なくとも一つを変更するステップを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被転写体の表面のマイクロメートルスケールのうねりをスタンパの表面にならし、かつ局所的な圧力集中による樹脂の流動の妨げを抑制することで、被転写体の表面に均一で薄いパターン形成層を有する微細構造体を得ることができる微細構造転写装置を提供すること課題とする。
【解決手段】本発明は、微細パターンが形成されたスタンパ２を被転写体１に接触させて、前記被転写体１の表面に前記スタンパ２の微細パターンを転写する微細構造転写装置Ａ１において、前記スタンパ２または前記被転写体１の裏面から流体を噴きつけて前記スタンパ２または前記被転写体１を湾曲させる流路Ｐ１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、精度のよい転写を行うことができる転写装置を提供する。
【解決手段】微細な転写パターンが形成されている型Ｍを保持する型保持体５と、被成型品Ｗを保持する被成型品保持体７とを備え、被成型品保持体７に対して保持体５を移動し、被成型品Ｗに転写する転写装置１であって、被成型品保持体７に取り付けた変位センサー１７によって、型保持体５と被成型品保持体７との間の距離を計測する計測手段を有し、この計測手段での計測結果に応じて、型保持体５と被成型品保持体７との間の距離を補正し、転写を行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、モールドを用いてモールド表面の微細なパターンを樹脂膜等の被転写体に転写する際に、事前にモールド表面が離型作用を受けるに十分な量の離型剤で被覆されているか否かを迅速且つ簡便に知る方法、離型剤濃度を評価可能なモールド並びにモールドの離型処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】表面に凹凸パターンが形成されたパターン形成用モールドであり、該パターン形成用モールドを被転写体に対して凹凸パターン面を押し付けて該凹凸パターンを転写するためのパターン形成用モールドにおいて、少なくとも前記凹凸パターン面に離型作用を持つ物質および所定の検出手法に対して標識となる物質が付着されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性を維持しながら欠陥発生を最小限に抑える離型動作を実現可能なインプリント装置及びインプリント方法を提供する。
【解決手段】このインプリント装置１０は、金型１８と被成形材１９とを相対的に接近させてプレスし離型することで金型の微細構造１８ａを被成形材に転写し、金型と被成形材とをプレス方向軸上で相対移動させるとともにその相対移動の際の金型と被成形材との相対移動速度が異なる複数の駆動装置１１，２３を備える。 （もっと読む）