【課題】架台とバックフィルムとによって形成される空間を複数、同時に真空状態にする際に、バックフィルムの破損による影響を最小限に抑えることができる簡便で、低コストの真空圧力制御システムおよびこのシステムを備えた加熱装置を提供する。
【解決手段】圧力センサ９がバックフィルム内部空間Ｓの真空状態が開放された所定圧力以下の圧力を検知すると、制御装置７が複数のそれぞれの分岐吸気管４に設けられた開閉弁６の開閉を制御する開放箇所特定ステップをすべてのバックフィルム内部空間Ｓに対して実施して、真空状態が開放されている架台１１を特定するとともに、この特定した架台１１に接続している分岐吸気管４に設けられた開閉弁６のみを閉弁し、それ以外の開閉弁６を開弁した状態にする。 （もっと読む）