【課題】 シリコンマスクを形成するエッチング処理時に、エッチング処理を最適な時期に終了させることが容易なマスク、及びマスクの製造方法を提案する。
【解決手段】 被成膜基板に対して所定パターンを有する薄膜を形成するためのシリコンマスクＭが、シリコン基材Ｓ上に、所定パターンに対応する開口部２０と、開口部２０を形成する際の形成状態を検知可能な検知部１５と、を備える。
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【課題】 シリコンウエハ製造会社や半導体製造会社から排出されるシリコンスラッジの回収とその有効利用を図るために、シリコンスラッジと水とを水和反応させて、ろ過性のよいシリコン結晶を高選択率に分離処理すると共に水素を回収する方法を提供する。
【解決手段】 アルカリ金属又はアルカリ土金属の水酸化物あるいは炭酸塩などの塩基触媒存在下にシリコンスラッジと水との水和反応をさせて生成した（１）式で示されるシリコン化合物を分離処理すると共に発生する水素を回収する方法である。 （もっと読む）

【課題】人工水晶を育成する水熱合成法を実施する際に、アルカリ水溶液に添加材として水酸化アルミニウムもしくは炭酸アルミニウムを加えることにより、結晶中のＳｉをＡｌに置換する手法では、水晶結晶中に充分な量のＡｌを含有させることができない。
【解決手段】石英又は珪酸ソーダの粉末とアルミニウムを含む化合物の粉末とを混合する混合工程と、混合したものを加熱融解する加熱融解工程と、加熱融解したものを徐冷して石英ガラスを得る冷却工程と、前記石英ガラスに水熱処理を施して多結晶水晶体を得る水熱処理工程とを備えたことを特徴とする多結晶水晶体の製造方法である。これにより水晶結晶中に固体電解質として望ましい数％オーダーのＡｌを含有させることが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つ以上の疎水基を含むモノマーと、少なくとも１つ以上の親水基を含むモノマーを含む統計的共重合体の、特にナノ粒子合成時の乳化剤としての使用、、およびステップaで、ひとつかそれ以上のナノ粒子の水溶性前駆体または溶融物を含む逆エマルジョンを、ひとつの疎水基を有するモノマー、およびすくなくともひとつ以上の親水基を有するモノマーの統計的共重合体から合成され、ステップbで粒子を生成する、粒子の生成工程に関連する。 （もっと読む）