【課題】 超臨界条件を満足する高圧室内にマイクロ波を導入する新しい手段を提供する。
【解決手段】 高圧室２の開口３ａを、比誘電率が大きく、マイクロ波を透過し、かつ、熱的にも機械的にも強固な誘電体製の仕切窓４で封止する。誘電体製の仕切窓４により、比較的断面積の小さい開口３ａでマイクロ波を高圧室２内に導入できるようにした。この手段を用いて、高圧室２の径に応じて共振する横共振器型、この高圧室２と外部の調整空胴１５とで形成され全体の長さＬに応じて共振する縦共振型、高圧室２に１対の仕切窓を設け、これを伝送線に取り込んだ伝送線型の３種のマイクロ波導入法がある。 （もっと読む）

【課題】 複数の反応容器による複数種の液相合成を並列的に行なうことが可能な反応容器並列型自動合成装置を提供する。
【解決手段】 反応容器並列型自動合成装置は、反応ユニット（１）、試薬ユニット（２）および溶媒ユニット（３）を少なくとも備え、反応ユニット（１）は、反応容器、反応容器加熱・冷却部、リフラックスコンデンサおよび反応容器内部の視認可能なガラス蓋を１セット組み合わせて収納した反応ブロックを、複数、並列に配置した反応ブロック集合体と、これら反応ブロックと試薬ユニット（２）および溶媒ユニット（３）との間に配置した送液先を切り換える多方弁および微少量の送液を制御するマイクロ定量ポンプとからなり、試薬ユニット内の複数の試薬容器および溶媒ユニット内の複数の溶媒容器から各反応容器へ送られる液について、その送液先および送液量を個々に制御可能とした。 （もっと読む）

ほぼ均一な速度で複数の流体の流れを作り出すための装置（1）であって。第１入口ポート(3)及び第２入口ポートを有し、各入口ポートが前記入口ポートからそれぞれの環状通路（4,5,6）に流体を輸送するために配置されているマニホールドと；第１開口の組(12)とその中に第２開口の組(13)を有し、各開口の組が少なくとも１つの開口を備え、かつ環状通路の１つと流体連通するように配置されている分配要素(7)とを含み、前記環状通路からそれぞれの流体出口に１つの開口を介して流体が流れ出るようになっている。
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【課題】
【解決手段】ビューウィングウィンドのクリーニング用装置とビューウィングウィンドと取り付け具とを有するプロセスチャンバのためのビューウィングポートが、与えられている。ビューウィングウィンドのクリーニング用装置は、この取り付け具に結合され、このビューウィングウィンドと上記プロセスチャンバのあいだに位置されており、この取り付け具のクリーニング用のプラズマ領域にクリーニング用のプラズマを形成するように構成されている。さらに、この取り付け具は、副生成物が、ウィンドに向かうのを妨げることによって、プロセスチャンバからのビューウィングウィンドの表面の副生成物の量を、減少させるように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、飽和脂肪族ハロゲン炭化水素の熱開裂によりエチレン不飽和脂肪族ハロゲン炭化水素を製造する方法に関する。該方法によれば、生成物のガス流が、反応器に向かって開いている少なくとも１つの供給導管を含む反応器に導入される。供給導管は、開裂促進剤および基から生成した加熱ガスを反応器に供給する。本方法は、開裂反応の収率における増加を可能ならしめる。
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【課題】プラズマ処理システム用の改良された光学窓堆積シールドを提供する。
【解決手段】プラズマ処理システムにおいて堆積シールド１４を通して処理空間１２にアクセスするための光学窓堆積シールド１４は、前面８４及び周辺面８６を具備するプラグ８０と、プラグ８０に結合されたフランジ８２とを具備する。フランジ８２は、第１の面８８と、第２の面９０と、縁部面９２とを具備する。第１の面８０の一部は、係合面１１０を具備する。光学窓堆積シールド１４の複数の露出面１４５に保護バリア１５０が結合される。露出面１４５は、プラグ８０の前面８４、プラグ８０の周辺面８６、及び係合面１１０を除くフランジ８２の第１の面８８を含む。
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