【課題】ＵＶ／ＶＵＶ（紫外・真空紫外）領域においてＳＨＧ（第２高調波発生）を得ることができ、しかも、ＵＶ／ＶＵＶ領域の波長のレーザーに対して高い耐久性を有する強誘電体フッ化物結晶を提供する。
【解決手段】Ｂａ１−ｙ（Ｍｇ１−ｘＺｎｘ）１＋ｙＦ４（但し、０≦ｘ≦１且つ−０．２≦ｙ≦０．２）で表されるフッ化物の結晶において、結晶中に含まれるカリウム、ナトリウム、ルテチウムの総量を、重量濃度で３０ｐｐｍ以下とすることにより、エネルギー密度５〜１００（ｍＪ／ｃｍ２・Ｐｕｌｓｅ）のＡｒＦエキシマレーザーを１０４パルス以上照射したときの、波長１９３ｎｍの光に対する透過率低下が厚さ５ｍｍあたり１０％以下である強誘電体フッ化物結晶がえられる。 （もっと読む）

本発明は、ドープされたセリア（ＣｅＯ_２）研磨剤粒子に関し、この場合、この粒子は、本質的に八面体の形態を有する。このような研磨剤は、基板、たとえばシリコンウエハの化学機械研磨（ＣＭＰ）のために、水ベースのスラリー中で使用される。さらに本発明は、１０〜１２０ｍ^２／ｇの比表面積を有するイットリウムドープされたセリア粒子に関し、この場合、この粒子は、少なくとも９５質量％、好ましくは少なくとも９９質量％の粒子が単結晶であり、かつその粒子表面は、７０％を上廻って、好ましくは８０％を上廻って｛１１１｝面に対して平行な面から成ることを特徴とする。さらに、この生成物を合成するための新規気相方法を開示し、この場合、この方法は、熱ガス流を供給し、かつ、前記ガス流をセリウム含有反応体、ドーパント含有反応体及び酸素含有反応体中に導入し、その際、前記ガス流の温度は、前記反応体が噴霧されるように選択され、その際、反応体は、冷却時にドープされたセリア粒子が形成されるように選択される。前記セリアをベースとする研磨剤スラリーは、研磨された基板において誘導される低いレベルの欠陥性と同時に良好な除去率を提供する。
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【課題】結晶育成方向軸に垂直な断面の直径が７０ｍｍ以上であって、ステッパー用レンズ材料として用いた場合に十分な解像性能が得られるフッ化物単結晶、及び、その育成方法、並びに、かかるフッ化物単結晶からなるレンズを提供する。
【解決手段】結晶育成方向に沿って温度勾配のある結晶成長炉内で育成後、前記結晶成長炉内で単結晶の融点未満の均一な温度に再加熱され、冷却することにより製造されたフッ化物単結晶１０であって、断面が直径７０ｍｍ以上の略円形状を有し、波長２４８ｎｍ、エネルギー密度５０ｍＪ／ｃｍ^２、パルス幅１０^５ｓｈｏｔ、周波数１００ＨｚのＫｒＦレーザーを前記断面の中心部に照射した前後の透過率の変化値が、０．００≦（ΔＴ_２−ΔＴ_１）≦０．２０（ΔＴ_１は前記断面の中心部におけるＫｒＦレーザー照射前後の透過率の変化値、ΔＴ_２は前記断面の外周部におけるＫｒＦレーザー照射前後の透過率の変化値）の条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】真空紫外光透過用光学部材、特に液浸式露光装置のラストレンズとして有望な、２００ｎｍ以下の真空紫外光（ＶＵＶ）の透過性、及びレーザー光照射による損傷等が少なく、レーザー耐性に優れたＢａＬｉＦ_３単結晶体を提供する。
【解決手段】Ｍｇ及びＫを含有するＢａＬｉＦ_３単結晶体であって、これらの含有比率がモル基準でＭｇ／（Ｌｉ＋Ｍｇ）が０．００１〜０．０２の範囲にあり、Ｋ／（Ｂａ＋Ｋ）が０．００１〜０．０２の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】ＢａＬｉＦ_３単結晶体を融液成長法で製造した際に、結晶中心部と周辺部で真空紫外光の透過率が異なりやすいという問題を解決し、真空紫外光透過用の光学部材を作製するための原材料として用いることの可能な、光透過率の均一性に優れたＢａＬｉＦ_３単結晶体の製造方法を提供する。
【解決手段】ＢａＦ_２とＬｉＦとＫＦとからなり、これらの含有比率がモル基準で、Ｌｉ／（Ｂａ＋Ｌｉ＋Ｋ）が０．５２〜０．６５の範囲にあり、かつＫ／（Ｂａ＋Ｋ）が０．００２〜０．０４０の範囲にある原料溶融液を用いてＢａＬｉＦ_３単結晶体を育成する。得られる単結晶体は、通常、Ｋ／（Ｂａ＋Ｋ）が０．００１〜０．０１０の範囲でＫを含む。 （もっと読む）

本発明は、気相合成法を利用したフッ素含有酸化マグネシウム粉末及びその製造方法に関し、電子線により励起され、波長領域が２２０〜３２０ｎｍ範囲内にピークを有する陰極線発光をするフッ素含有酸化マグネシウム粉末及び製造方法である。上記本発明では、マグネシウム蒸気にフッ素含有気体と酸素含有気体とを噴射し、気相合成法を利用したもので、フッ素を０．００１〜２重量％範囲で含有する酸化マグネシウム純度が９８重量％（但し、酸化マグネシウム純度は、フッ素含有酸化マグネシウムの純度）以上であり、ＢＥＴ比表面積が０．１〜５０ｍ^２／ｇ範囲にあるフッ素含有酸化マグネシウム粉末を製造することを特徴とする。
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【課題】放電遅延時間を短縮させ、温度依存性を改善し、増進されたイオン強度を有するＰＤＰの保護膜を製造するための材料、その製造方法、これより形成された保護膜及び該保護膜を備えるＰＤＰを提供する。
【解決手段】本発明によれば、ＭｇＯ１質量部を基準に２．０×１０^−５〜１．０×１０^−２質量部の希土類元素がドーピングされた酸化マグネシウム単結晶を含む保護膜の材料、約２８００℃の温度で結晶化を通じて前記酸化マグネシウム単結晶を製造する方法、これより形成された保護膜及び前記保護膜を含むＰＤＰを提供する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外領域で高輝度発光するフッ化物結晶からなり、フォトリソグラフィー、半導体や液晶の基板洗浄、殺菌、次世代大容量光ディスク、及び医療（眼科治療、ＤＮＡ切断）等に好適に使用できる真空紫外発光素子を提供する。
【解決手段】化学式Ｌａ_{１−ｘ−ｙ}Ｂａ_ｘＮｄ_ｙＦ_３−ｘで表され、ｘ及びｙがそれぞれ０．０１〜０．２及び０．００１〜０．５の範囲にあるフッ化物結晶、好ましくはその単結晶を製造し、得られたフッ化物結晶を真空紫外発光素子に加工する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造用の液浸式露光装置のラストレンズ等として有用な、光を透過させる主軸方向が＜１００＞方向のＢａＬｉＦ_３単結晶体からなり、かつ屈折率均質性が良好な光学部材を安定的に、簡便かつ安価に得る。
【解決手段】 チョクラルスキー法にて＜１１１＞方向に結晶を育成してインゴットを得、このインゴットを斜め方向に切断するなどして｛１００｝面からなる平行２面を有する板状体を得る。＜１００＞方向に育成して水平に切断して得た板状体よりも応力分布（歪）等が均一となり、屈折率均質性に優れる部材を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】室温超伝導体を開発するための有力な方策は、これまでとは異なる視点から材料
を見つめ、新たな超伝導化合物を見出し、超伝導化合物の系を拡げていくことである。
【解決手段】化学式[Ｃａ₂₄Ａｌ₂₈Ｏ₆₄]^４＋・２[ｘＯ^２−＋２ｙＡ＋２{1−（ｘ＋２ｙ)
}ｅ⁻] (Ａはケージに包接された、ＯＨ⁻、Ｏ⁻又はＯ_２⁻のいずれか１種以上、０≦
ｘ＋２ｙ≦０．５)で示されるマイエナイト型結晶構造を有する化合物であることを特徴
とする化合物超伝導体。化学式が[Ｃａ₂₄Ａｌ₂₈Ｏ₆₄]^４＋・２[ｘＯ^２−＋２ｙＡ] (Ａは
ケージに包接された、ＯＨ⁻、Ｏ⁻又はＯ_２⁻のいずれか１種以上、０≦ｘ≦１、ｙ＝１
−ｘ) で示されるマイエナイト型結晶構造を有する化合物を磁性イオンが含有されない方
法で調製し、該化合物のケージに包接されたＯ^２−及びＡの合計（ｘ＋２ｙ）の５０原子
％以上を電子で置換することにより作成できる。 （もっと読む）

セラミック粒状材料はアルミナ粒子を含み、上記粒子は、１５ｍ²／ｇ以上及び７５ｍ²／ｇ以下の比表面積（ＳＳＡ）と、（ｉ）真円度相関画像解析法（Ｒｏｕｎｄｎｅｓｓ Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ Ｉｍａｇｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ）により測定されるような０．７１０以上の平均真円度、及び（ｉｉ）２０％未満の凹面度の少なくとも１つにより定量化される真球度とを有し、上記凹面度は、少なくとも１００個のアルミナ粒子の試料に基づく、ＴＥＭ検査によりｄ₅₀の１０％以上の距離に沿って伸びる凹面形の外周部分を有するアルミナ粒子のパーセンテージであり、当該凹面形の外周部分は、粒子の内部から観察された場合に負の曲率半径を有する。 （もっと読む）

【課題】高結晶性のアルミナ微粒子を分散質とする、金属触媒の支持体として有用なアルミナゾル及びその簡便かつ効率の良い合成方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム塩水溶液を、４１０℃以上の超臨界状態の水中において水熱反応させて、一次粒子径が２０ｎｍ以下であり、その粒子は残存水酸イオンが少なく、凝集のない、結晶化度が高いアルミナ微粒子が分散したアルミナゾルを製造する方法、上記アルミナ微粒子を分散質とするアルミナゾル及びその反応膜としての用途。
【効果】触媒及び触媒担体用材料として利用可能な、高結晶かつ単結晶性の粒子径が２０ｎｍ以下の、ガンマ型アルミナ微粒子を分散質として均一に分散させた、優れた透明性及び安定性を有するアルミナゾルを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 カルシウムアルミネートモノカーボネートを安価な原料と安価な装置を用い、迅速かつ粒径制御性に優れた製造方法を提供すること。
【解決手段】 原料のひとつである水酸化アルミニウムに摩砕処理を施し、メカノケミカル活性化することで、消石灰及び炭酸カルシウムとの相互の反応が進行し、常温常圧の水中でカルシウムアルミネートモノカーボネートが合成される。この際、反応開始時に高速剪断混合処理を行うと、反応時間の促進とともに一次粒子の微細化と良好な分散化が図られる。 （もっと読む）

【課題】坩堝内部への水分流入を防止し、光学性能（透過率など）に優れた結晶を製造することができる結晶製造装置を提供する。
【解決手段】坩堝１０の内室ＩＲのガス圧が坩堝１０の外室ＯＲの圧力又は処理炉ＰＦの圧力よりも低い場合には、外蓋１４は内蓋１２に載置された状態を維持するので、坩堝１０の外部から坩堝１０の内室ＩＲへの水分などの流入を防止することができる。一方、坩堝１０の内室ＩＲのガス圧が坩堝１０の外室ＯＲの圧力又は処理炉ＰＦの圧力よりも高い場合には、外蓋１４が内蓋１２から持ち上がり、坩堝１０の内室ＩＲのガスは、開口部１２ａを介して、坩堝１０の外室ＯＲに排出され、更に、開口部１１を介して、坩堝１０の外部に排出される。このように、開口部１２ａを有する内蓋１２と、開口部１２ａを覆う外蓋１４とが、逆止弁の機能を実現する。 （もっと読む）

【課題】単結晶構造又は多結晶構造の無機粉体の格子欠陥を低減する。
【解決手段】単結晶構造又は多結晶構造の無機粉体に対して、周期数２回以上のサイクルアニールを実施する。下記式（１）、特に下記式（２）を充足する条件で、サイクルアニールを実施することが好ましい。
０．４５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｌ＜Ｔ_Ｈ＜Ｔ_ｍ・・・（１）、
０．４５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｌ＜Ｔ_Ｈ、０．５５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｈ＜Ｔ_ｍ・・・（２）
（式中、Ｔ_ｍは無機粉体の融点（Ｋ）である。融点がなく、溶融せずに昇華する性質を有する無機粉体の場合には、Ｔ_ｍは昇華温度（Ｋ）とする。Ｔ_Ｌ（Ｋ）はサイクルアニールの最低温度、Ｔ_Ｈ（Ｋ）はサイクルアニールの最高温度である。） （もっと読む）

【課題】短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い蛍石、それよりなる光学部品及び該光学部品を用いたフォトリソグラフィー用の露光装置を提供する。
【解決手段】蛍石は、１３５ｎｍの波長の光に対する内部透過率が７０％以上である。蛍石は、ストロンチウムを含む蛍石であって、ストロンチウムの含有量が１ｐｐｍ以上６００ｐｐｍ以下である。エキシマレーザー用の光学系は、蛍石又はストロンチウムを含む蛍石からなるレンズを有する。フォトリソグラフィー用の露光装置は、蛍石からなるレンズを有する光学系と、露光される基板を保持するステージとを備えている。フォトリソグラフィー用の露光装置は、ストロンチウムを含む蛍石からなるレンズを有する光学系と、露光される基板を保持するステージとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 短波長域においても十分に大きな透過率を示すフッ化物単結晶が得られるフッ化物単結晶の製造方法を提供すること。
【解決手段】 フッ化物にスカベンジャーを混合した混合物を溶融した溶融物を冷却することによりフッ化物単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、スカベンジャーが、圧力−温度曲線において１４００℃以下に１以上の極大点を有する化合物を２種以上含む、フッ化物単結晶の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、化学式Ａ_xＬｎ_(y-y’)Ｌｎ’_y’Ｉ_(x+3y)の無機希土類ヨウ化物のシンチレーション材料であって、式中、ＡがＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓから選択される少なくとも１つの元素を表し、ＬｎがＬａ、Ｇｄ、Ｙ、Ｌｕから選択され、当該化学式において原子価３＋である少なくとも１つの第１の希土類元素を表し、Ｌｎ’がＣｅ、Ｔｂ、Ｐｒから選択され、当該化学式において原子価３＋である少なくとも１つの第２の希土類元素を表し、ｘが整数でかつ０、１、２又は３を表し、ｙが０よりも大きく３よりも小さい整数又は非整数であり、ｙ’が０よりも大きくｙよりも小さい整数又は非整数である、無機希土類ヨウ化物のシンチレーション材料に関する。当該材料は、高い阻止能と、速い減衰時間、特には１００ナノ秒未満の減衰時間と、優れたエネルギー分解能（特には６６２ｋｅＶで６％未満）と、高い発光レベルを提供する。当該材料は、核医学設備、とりわけ、アンガー型γカメラ及び陽電子放射断層撮影装置において使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 小さな応力しか生じないためグライド帯部分が小さくかつ高屈性率均質性であり、また少量の散乱能、少量のシュリーレン及び小角度粒子境界しかもたない単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】高均質低応力大形単結晶の製造方法を、ａ）溶融物から単結晶を成長させ、ｂ）前記単結晶を冷却し、及びｃ）前記単結晶の焼戻しを行う各工程から構成し、結晶成長後の単結晶の冷却を１３００℃から１０５０℃に至る温度範囲内において少なくとも１０Ｋ／時間の冷却速度で行う。 （もっと読む）

【課題】 十分に高い蛍光出力、良好なエネルギー分解能、及び短い蛍光減衰時間を有するシンチレータの製造方法及びシンチレータを提供する。
【解決手段】 本実施形態のシンチレータの製造方法は、無機固体中の塩素含有割合を低減する低減工程と、低減工程によって塩素含有割合を低減した無機固体を溶融させることにより、溶融液を得る溶融工程と、溶融液を固化させることにより、母材中にセリウムを発光中心として含むシンチレータを得る固化工程とを含む。 （もっと読む）