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Fターム[4G077FA08]の内容

結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 後処理−拡散源、その配置 (19) | 液体拡散源と基板とを接触させるもの (4)

Fターム[4G077FA08]に分類される特許

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【課題】低コストで、電気機械結合係数が向上された弾性表面波デバイス用圧電基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】タンタル酸リチウム単結晶又はニオブ酸リチウム単結晶からなる弾性表面波デバイス用圧電基板であって、該弾性表面波デバイス用圧電基板は、引き上げ法により得られたコングルエント組成のタンタル酸リチウム単結晶又はニオブ酸リチウム単結晶からなる基板の表層に、リチウムが拡散されたものであり、該リチウムが拡散された表層の厚さは、弾性表面波の波長で規格化した値で3〜15波長の範囲である弾性表面波デバイス用圧電基板。 (もっと読む)


ダイヤモンドを処理する方法であって、その方法は、(i)黒鉛析出に関してカーボンで飽和されている液体金属を供給すること、(ii)液体金属がダイヤモンド析出に関してカーボンで飽和されるように、液体金属の温度を降下させること、(iii)ダイヤモンドを液体金属に浸漬すること、および(iv)金属からダイヤモンドを取り出すことを含む。
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高い導電率及び移動度を有するドープされたAlN結晶及び/又はAlGaNエピタキシャル層の製造を、例えば、複数の不純物種を含む混晶を形成し、この結晶の少なくとも一部を電気的に活性化させることによって達成する。 (もっと読む)


【課題】シリコン基板上に製膜した、酸化モリブデン(MoO)を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜、該薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜を利用したセンサ部材等を提供する。
【解決手段】金属酸化物単結晶に比べて安価なシリコン基板上に、適切な金属酸化物のバッファー層を介在させて、有機無機ハイブリッド薄膜を形成したことを特徴とする、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜、その製造方法、該方法により作製された電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜をセンサ素子として用いた、VOCガス等に対して高感度に応答する化学センサ部材。 (もっと読む)


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