【課題】 スパッタリングのターゲットとして用いられた場合に、スパッタリング装置内に水分等が含まれるのを抑制することにより、ＤＬＣ膜の諸特性を飛躍的に向上させることができる金属‐炭素複合材料を提供することを目的としている。
【解決手段】 炭素、バインダー、及び、金属又は金属化合物を混練、粉砕した後、粉砕物を成形して成形体を作製し、更に、この成形体を１３００℃以上で熱処理する工程を有することを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、耐熱構造複合材料部品を作製する方法であって、ワイヤまたはケーブルからつくられかつ炭素またはセラミック前駆体を含有する団結組成物で含浸された繊維プリフォームをつくることと、熱分解により前駆体を炭素またはセラミックへと転化させることと、繊維プリフォームを化学気相浸透によって緻密にすることとを含む方法に関する。団結組成物は平均粒径が２００ナノメートル未満の粉末の形態にある耐熱性固体フィラーをさらに含有しかつ熱分解後に団結固体相を残し、前記団結固体相では、前駆体に由来する炭素またはセラミックがプリフォームの見かけ体積の３％ないし１０％の間にある体積を占め、一方固体フィラーがプリフォームの見かけ体積の０．５％ないし５％の間にある体積を占める。 （もっと読む）

【課題】焼結時における炭素系母材による被焼結体への浸炭現象や、被焼結体の炭素系母材との溶着などを抑制し得る焼結用セッター材を提供する。
【解決手段】炭素系母材表面に、ガラス状カーボン４０質量％以上を含む炭素質材料を用いて形成された厚さ１０〜１０００μｍの被覆層を形成し、かつ当該被覆層がその表面に露出したセラミックス粒子を保持する焼結用セッター材。 （もっと読む）