【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理するシステムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システム１００は、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。この排ガス処理システム１００は、半導体製造装置から排出された混合ガスを排気するポンプ部２と、ポンプ部２により排気された混合ガスを圧縮して後段へ送る圧縮機１１と、圧縮された混合ガスを集めて収容するガス収容部３と、ガス収容部３から供給された混合ガスの流量を制御する流量制御部４と、水素を選択的に透過させ、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部６と、を備える。これにより、半導体製造装置１から排出された混合ガスの圧力変動を緩和し、安定して排ガス処理システムを運転することができる。 （もっと読む）

【課題】容器内に導入された水素含有ガス中の水素を水素吸蔵合金粉末に吸蔵させて不純物ガスと分離する水素分離精製用容器であって、水素吸蔵性能が低下し難くて水素回収率が低下し難い水素分離精製用容器を提供する。
【解決手段】(1) 容器内に水素吸蔵合金粉末および水素非吸蔵性金属粉末が混合されて充填された充填層を有し、導入された水素含有ガス中の水素を前記水素吸蔵合金粉末に吸蔵させて不純物ガスと分離する水素分離精製用容器であって、前記水素吸蔵合金粉末の充填時の平均粒径（中心粒径Ｄ50の値）が２０μｍ以下であることを特徴とする水素分離精製用容器、(2) 前記水素分離精製用容器において充填層の形状が円柱状であり、その高さ（Ｌ）と内径（Ｄ）との比（Ｌ／Ｄ）が充填時において０．５〜２５であると共に、前記充填層の水素吸蔵合金粉末の質量（重量）が０．５〜１０ｋｇであるもの等。 （もっと読む）

【課題】水素透過速度がＰｄ膜に匹敵する、複合水素透過膜を提供する。
【解決手段】複合水素透過膜１は、水素透過性を有する金属合金基板２と、金属合金基板２を被覆する酸化物ガラス層３，５と、酸化物ガラス層３，５を被覆する触媒層４，６と、を備えている。金属合金基板２はＮｉ−Ｎｂ−Ｚｒ合金からなり、酸化物ガラス層３，５はプロトン及び電子の混合導電性を有する酸化タングステン含有リン酸塩ガラスからなり、触媒層４，６はＮｉ、Ｐｄ等の遷移金属からなる。複合水素透過膜１は、高い機械的強度を有し、長時間安定に動作する。 （もっと読む）