本発明は保護コーティング剤、フォトレジスト膜、エッチング時のマスキング剤、燃料電池用セパレーター、燃料電池用触媒固定用皮膜、およびペリクル材料等として有用な新規な重合体、該重合体の原料として有用な化合物および該化合物の製造に有用な新規な中間体を提供する。また本発明は、新規な材料を用いたペリクル膜およびペリクル膜用接着剤を提供する。
すなわち本発明は、式（Ａ１）で表される単位等の式（Ａ）で表される単位を含む重合体からなるペリクル、および新規な式（ａ１）で表される化合物。ただし、Ｘ^１およびＸ^２は独立に、フッ素原子、塩素原子または水素原子であり、ｎは１または２の整数であり、Ｒ^ｆ１はフッ素原子またはトリフルオロメチル基であり、Ｒ^ｆ２はフッ素原子または炭素数１〜５のペルフルオロアルキル基である。

（もっと読む）

ガス拡散性が良好な主鎖に脂肪族環構造を有しかつスルホン酸基を有する含フッ素ポリマーをフッ素ガスと接触させたフッ素化して撥水性を高め、かつ分子末端を安定化させることにより、このポリマーを固体高分子型燃料電池用電解質材料とする、撥水性やガス拡散性が良好で、高い出力密度の固体高分子型燃料電池用膜電極接合体を得る。前記含フッ素ポリマーとしては、下記モノマーＡに基づく繰り返し単位と下記モノマーＢに基づく繰り返し単位（ただし、Ｙはフッ素原子又はトリフルオロメチル基であり、ｍは０〜３の整数であり、ｐは０又は１であり、ｎは１〜１２の整数である。）とを含む共重合体が好ましく採用される。 モノマーＡ：ラジカル重合により、主鎖に環構造を含む繰り返し単位を有するポリマーを与えるパーフルオロモノマー。 モノマーＢ：ＣＦ_２＝ＣＦ−（ＯＣＦ_２ＣＦＹ）_ｍ−Ｏ_ｐ−（ＣＦ_２）_ｎ−ＳＯ_３Ｈ。 （もっと読む）

【解決手段】 インデン類と、ヒドロキシ基もしくはエポキシ基を有すると共に重合性２重結合を有する化合物とを共重合してなる高分子化合物を含有することを特徴とする下層膜形成材料。
【効果】 本発明の下層膜形成材料は、必要により反射防止効果のある中間層と組み合わせることによって、２００ｎｍ以上の膜厚で十分な反射防止効果を発揮できるだけの吸光係数を有し、基板加工に用いられるＣＦ₄／ＣＨＦ₃系ガス及びＣｌ₂／ＢＣｌ₃系ガスエッチングの速度も通常のｍ−クレゾールノボラック樹脂よりも遅く、高いエッチング耐性を有する。また、パターニング後のレジスト形状も良好である。 （もっと読む）

【解決手段】 新規なコポリマーを開示する。該コポリマーは、下記一般式（１）で表される繰り返し単位（Ｐ１）の少なくとも一種を１〜９９ｍｏｌ％、及び下記一般式（２）で表される繰り返し単位（Ｐ２）の少なくとも一種を９９〜１モル％含むコポリマーである。式中、Ｒ¹〜Ｒ⁴及びＬ¹〜Ｌ⁴はそれぞれ、水素原子、重水素原子、ハロゲン原子、又は任意の置換基を表し；Ｘ及びＹはそれぞれ酸素原子（Ｏ）または硫黄原子（Ｓ）を表し；ｎ１は２〜４のいずれかの整数を表し、ｌ及びｍはそれぞれ、繰り返し単位の反復数を表すが；ただし、Ｒ¹〜Ｒ⁴の少なくとも一つはフッ素原子（Ｆ）ではなく、Ｌ¹〜Ｌ⁴の基の中に必ずフッ素原子を１個以上含み；Ｌ¹〜Ｌ⁴の中から選ばれる２つが環状構造をとってもよい。
【化２７】
（もっと読む）

【課題】感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式（１）で表される構造単位および／または一般式（１）で表される構造単位の前駆体よりなる化合物を成分（ａ）として含み、かつ、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる少なくとも１つの官能基を有することを特徴とする樹脂組成物。
【化１】




（一般式（１）において、ｎは１〜２の整数である。Ｒ^１〜Ｒ^４はＨ、Ｆ、ＣＦ_３、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基のいずれかを示し、同じでも異なっていてもよい。Ｒ^５、Ｒ^６はＨ、または炭素数１〜１０のアルキル基のいずれか一つを示し、同じでも異なっていてもよい。Ｒａは置換基を示す。） （もっと読む）