Fターム[4K029CA07]の内容
Fターム[4K029CA07]の下位に属するFターム
スパッタリングとイオンビーム照射の併用 (87)
蒸着とイオンビーム照射の併用 (154)
Fターム[4K029CA07]に分類される特許
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光学素子及び露光装置
露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写するための露光装置であって、前記基板の表面と前記投影光学系との間に所定の液体を介在させた前記露光装置に使用される光学素子において、 前記投影光学系の前記基板側の透過光学素子の表面に第1の溶解防止部材を備えている光学素子。 (もっと読む)
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