【課題】基材を搬送しながら加熱する際に基材に与えられる熱量を速やかに変更してこの基材の温度を容易に調整することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加熱装置は、搬送装置１と、加熱源２と、変更手段とを備える。前記搬送装置１は加熱対象である基材４を搬送する。前記加熱源２は前記搬送装置１で搬送されている前記基材４を輻射熱で加熱する。前記変更手段は前記基材４の搬送経路と前記加熱源２との間の距離を変更する。 （もっと読む）