【課題】加熱炉内のクリーン度（米国連邦規格２０９Ｄ）をクラス１０レベルに高く保つことができるローラーハースキルンに関する技術を提供すること。
【解決手段】金属製ケース内に断熱材を充填した断熱壁で天井部３・床部４・左右側壁部５を構成した炉内空間にワーク搬送用の低発塵性ローラー６を備えた本体部１と、該本体部全体を覆う外殻２を有し、該本体部の左右側壁部に形成されたローラー貫通孔１２を貫通した低発塵性ローラー６を、外殻に設けた低発塵性ローラー駆動部７で支持し、炉内空間には、低発塵性ヒータ８を備える。 （もっと読む）

【課題】炉内温度の上昇を抑制しながら、分子間の水素結合を切断する能力に優れる近赤外線を集中的に放射してワークを効率よく加熱することができるとともに、ワークから揮発する成分を、炉内天井部に配置された赤外線ヒーターの表面に付着させることなく、炉外に速やかに排出することができる赤外線加熱炉を提供すること。
【解決手段】フィラメント１２の外周が３．５μｍ以上の赤外線を吸収する複数の管1３，１４によって覆われ、これらの複数の管の間に赤外線ヒーターの表面温度の上昇を抑制する冷却用流体の流路１６を形成した構造を有し、炉体天井部の幅方向に延びる赤外線ヒーターを、炉体天井部の長手方向に複数配置した赤外線加熱炉であって、該炉体１０の内部に、ワークの搬送手段と、該炉体入側から出側に向かう水平流を形成する水平流形成手段１９，２０を備え、該水平流形成手段は、該ワークと赤外線ヒーターとの間に、水平流を形成する。 （もっと読む）

【課題】熱効率を低下させることなく、炉本体内の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】加熱炉は、被焼成物が配される対象空間２１２ａと、対象空間を囲繞する炉本体２１２と、燃料ガスを本体内に流入させる流入孔、流入した燃料ガスが燃焼する燃焼室、燃焼によって生じた排気ガスが導かれる導出部、導出部を流通する排気ガスまたは燃焼室における燃焼によって加熱され被焼成物に輻射熱を伝熱する輻射面、輻射面を加熱した排気ガスを本体外に排気する排気孔、を有し、炉本体内に配置された１または複数の密閉式ガスヒータと、密閉式ガスヒータの排気孔と連通し排気ガスが導かれる排気伝熱部（保温管２２２ａ）と、を備え、排気伝熱部は、炉本体内のうち、密閉式ガスヒータと対象空間に配された被焼成物との間に形成され輻射熱を被焼成物に伝熱する輻射空間２１２ｂを除くいずれかの部位に設けられる。 （もっと読む）

【課題】加熱炉の複数箇所の開口部から吸引する雰囲気ガスの流量比を容易に調整できる雰囲気ガスの流量調整機構を提供する。
【解決手段】加熱炉の複数箇所の各開口部に接続される複数の吸引口を有する分岐配管と該分岐配管の下流側端部に接続される単一のブロアとを備え、該分岐配管の少なくとも１つ以上の吸引口に、雰囲気ガスが通過する穴が形成された流量調整板を取り付け、流量調整板の穴の面積を変えることにより、加熱炉の複数箇所の開口部から吸引される雰囲気ガスの流量比を調整し、ブロアの出力を変えることにより吸引ガスの総量を調整する。 （もっと読む）

【課題】供給する雰囲気ガスのほぼ全量を効率よく被処理物と接触させることができる熱処理装置を提供すること。
【解決手段】熱処理される被処理物５０が収容される通気性セッター１０と、通気性セッター１０を加熱室２０の内部で搬送方向Ａ１に移動自在に保持する一対のセッター受け部３０と、を有する熱処理装置である。通気性セッター１０は、被処理物５０が収容される収容領域が通気性を有し、セッター受け部３０と通気性セッター１０とにより、加熱室２０の横断面を、ガス供給室２０ａとガス排気室２０ｂとに二分割し、これらのガス供給室２０ａとガス排気室２０ｂとは、通気性セッター１０の両側ではガスの流通が困難で、通気性セッター１０の収容部２０ｃを介して主としてガスの流通が可能となるように、一対のセッター受け部３０は、通気性セッター１０の両側に具備してある非通気部分である枠部材１４を保持している。 （もっと読む）

【課題】筐体内にてシートを移動させつつ、該シートにおける温度の面内均一性を高めることの可能な加熱処理装置、及び該加熱処理装置を備えるシート表面処理装置を提供する。
【解決手段】第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５は、筐体内を通過するシートＳを該筐体内にて加熱する加熱処理装置を備えている。加熱処理装置は、シートＳに対向する加熱面を有し、加熱面をシートＳに面接触させて加熱面にシートＳを追従させる往動と、加熱面をシートＳから離して追従の開始位置に加熱面を戻す復動とを筐体内で交互に繰り返すホットプレートＨ１，Ｈ２を備えている。また、加熱処理装置は、ホットプレートＨ１，Ｈ２に設けられ、往動にてシートＳを加熱面に吸着し、復動の前に該吸着を解除する吸着部を備えている。 （もっと読む）

【課題】ヒータの本体部分のみならず端部における防爆対策をも併せ持った二重管式ヒータの防爆構造を提供する。
【解決手段】フィラメント１２が封入された石英管１３を、冷却流体が供給される外側管１４の内部に封入して二重管式ヒータとし、その端子部にリード線収納用のチューブ１８を取り付け、このチューブ１８の内部にパージエアを供給して炉内ガスの侵入を阻止した。可燃性の有機溶媒蒸気が発生するワークを乾燥する炉の加熱源として適している。 （もっと読む）

【課題】被処理物の速度差を補正可能なローラハースキルン、速度差補正方法、および速度差補正筒部材を提供することを課題とする。
【解決手段】ローラハースキルン１は、搬送方向に延在する複数の被処理物行Ｘ１〜Ｘ３を形成する複数の被処理物９０に熱処理を施す熱処理区間Ａ２と、熱処理区間Ａ２に配置され、複数の被処理物９０を搬送する複数のローラ３０と、ローラ３０の外周面に脱着可能に配置され、ローラ３０一回転あたりの被処理物９０の搬送長を長くすることにより、複数の被処理物行Ｘ１〜Ｘ３間の搬送速度の速度差を補正する速度差補正筒部材５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基材を処理するのに用いられるインライン設備に関する。
【解決手段】幾つかの用途では、当該設備は、ＰＶ電池又はモジュールのインライン製造において用いられる。幾つかの実施態様では、基材の熱処理のための複数の加熱技術を含む加熱システムが提供され、第１の加熱システムが基材の温度を所望の設定値に急速に上昇させるのに用いられ、第２の加熱システムが熱処理プロセス全体を通して基材を設定値の温度に維持するのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上と処理品質の向上とを両立させることが可能となる連続拡散処理装置を提供する。
【解決手段】複数枚の板状の被処理物を載せる搬送台５０と、直線状に延びる筒状の加熱炉１と、加熱炉１内に搬送台５０を順次搬入し、加熱炉１内を搬送した搬送台５０を順次搬出する搬送装置２と、加熱炉１内を通過する搬送台５０に載せた被処理物を加熱する加熱装置３と、加熱炉１内の搬入部１１から搬出部１２までの間を、搬送方向に複数のゾーンに区画している複数の隔壁部材７と、ゾーン毎に個別にガスを供給すると共に、当該ゾーン毎に個別にガスを排出するガス給排装置４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】匣鉢を利用した粉体焼成に際し、粉体焼成プラントを大型化することなく各種の焼成条件での粉体焼成に対応可能とする粉体焼成プラントの運転方法を提供すること。
【解決手段】粉体を収納した匣鉢を順次炉内の一端から他端へと移動させながら焼成を行う連続焼成工程と、連続焼成炉から取り出された匣鉢内の粉体を回収する粉体回収工程と、粉体回収工程で粉体を回収され空になった空匣鉢を次工程に搬送する空匣鉢搬送工程を有する粉体焼成プラントの匣鉢搬送方法であって、粉体回収工程において、長辺が匣鉢の一辺と略同一長さであるヘラ状の吸引口を有する粉体吸引ノズルから、匣鉢内の粉体を層状に吸引して回収する。 （もっと読む）

【課題】ワークの投入状況に大きく影響されることなく安定した熱処理をワークに施すことができる熱処理装置又は熱処理方法を提供する。
【解決手段】この熱処理装置（方法）は、炉内の熱処理空間を通過させることによりワーク（ウェハ）に対して熱処理を施すものであって、熱処理空間内の互いに異なる位置で、かつ、ワークの有無によって検出温度が変化する位置に２つの温度センサを設け、制御装置１０によって、温度センサが検出した温度ｔ_１、ｔ_２に、係数総和が１となる重み係数ｍ_１、ｍ_２をそれぞれ乗じて総和の仮想温度を演算し、当該仮想温度に基づいて温度制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】被処理物に付着したＰＣＢの除去を効率的に行い得る熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】加熱手段４０を有し、ポリ塩化ビフェニルが付着した被処理物１８に対して熱処理を行う熱処理炉２０と、熱処理炉の前段及び後段にそれぞれ設けられ、開閉可能な扉２６，２８，３０，３２によりそれぞれ仕切られた前室２２及び後室２４と、前室内及び後室内を負圧に保持する負圧保持手段３８とを有している。 （もっと読む）

【課題】匣鉢に収納した粉体を表層部と内部との間で焼成品質のバラツキが生じないように均一に、しかも経済的に固相反応焼成することができる量産化技術を提供する。
【解決手段】本発明の粉体の固相反応焼成方法は、匣鉢３に収納した粉体を連続炉により加熱して固相反応焼成を行なう方法であって、炉体に設置された抵抗加熱ヒータ８によって粉体を最高温度の直前温度まで加熱したうえ、マイクロ波加熱装置１１によりマイクロ波を照射して粉体を発熱させることにより表層部と内部とを均熱化し、その後は再び抵抗加熱ヒータ８によって最高温度に保持する。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池用セルを省エネルギーで連続的に焼結すること可能な太陽電池用連続焼成炉を実現する。
【解決手段】 電極が印刷されたウェーハを予熱する予熱ゾーン４１内、ウェーハを本加熱する第１・第２の本加熱ゾーン４２，４３内およびウェーハを冷却する冷却ゾーン４４内をウェーハを載置して搬送する耐熱搬送ベルト３０を配設する。予熱ゾーン４１内における耐熱搬送ベルト３０の上方の部位に、近赤外線ヒータ６０を配設する。第１・第２の本加熱ゾーンにおける耐熱搬送ベルトの上方および下方の部位に、近赤外線ヒータ６０を配設する。耐熱搬送ベルト３０上にウェーハを移載して供給する供給ベルト２０ａを配設する。耐熱搬送ベルト３０上から移載されたウェーハを冷却ゾーン４４から搬出する搬出ベルト２０ｂを配設する。 （もっと読む）

【課題】導入したガスが領域間で混ざることを防止することが可能となる熱処理装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの周囲の雰囲気が領域毎で異なるように炉内が複数の領域に区画され、区画された各領域を順にワークＷが進行し当該ワークＷを熱処理する熱処理装置である。区画された複数の前記領域それぞれに処理ガスを供給するガス導入部２と、区画された複数の前記領域それぞれの雰囲気ガスを排気する排気部３と、パージガス供給部７とを備えている。パージガス供給部７は、隣り合う領域間に設けられワークＷの上方から下方に向けてパージガスを噴出する噴出口１７ａ，１７ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】ローラーハース炉等のように、炉内に設置された複数のローラで被加熱物を搬送しながら加熱する方式の加熱炉における支軸と、炉壁の貫通孔及び軸受ハウジングの貫通孔との隙間や、２つの建築物に跨り露出している配管と建築物の貫通孔との隙間を、簡易な装着作業でありながらも、支軸や配管を断熱しつつ良好にシールする。
【解決手段】無機繊維織布と金属箔とを接合してなり幅方向両端にフランジが形成された断熱材を、無機繊維織布が支軸または配管の外周面側となるように巻装し、その上に、フッ素樹脂製で幅方向両端にフランジが形成されたシート材を被せ、断熱材のフランジとシート材のフランジとを重ね合わせた部分を、構造物に設けた固定用フランジに締結する。 （もっと読む）

【課題】ウォーキングビーム方式の熱処理炉では、被処理体が急激な温度変化をすることになるため、特に被処理体が熱処理炉から出るときには、応力を受け反りが発生し、被処理体の周辺端部からクラックが発生することがあるため、クラックの発生しない熱処理炉の搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理体６が載置される複数の載置部８を有し、前記被処理体６が他の載置部８にピッチ搬送される熱処理炉の搬送装置４ｂであって、該搬送装置の前記載置部８が少なくとも前記熱処理炉の出口側外部において加熱手段７を備えている。 （もっと読む）

【目的】焼成中に焼成雰囲気を短時間で切り替えることができ、高精度のガス雰囲気制御が可能で、処理品の搬送を連続的に行うことができるプッシャー式連続焼成炉を提供する。
【構成】処理品を焼成するための炉本体内に、処理品を載せた台板がプッシャーにより搬送されるよう構成されたプッシャー炉において、炉本体には台板が滑動できる床面が設けられ、各台板はさやで覆われてそれぞれ独立した焼成さやを構成し、炉本体内の各焼成さやの位置には、その位置にある焼成さや内の雰囲気を調整するためのガスを導入するガス導入管とガスを排出するガス排出管がそれぞれ配置されるとともに、前記炉本体内の各焼成さやの位置の床面にはそれぞれ貫通穴が設けられ、該貫通穴に前記ガス導入管とガス排出管が接続され、各台板にも貫通穴が設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】被加熱対象物に対し連続的に常に安定した均一な電磁誘導加熱処理を施す。
【解決手段】駆動モータ７３の駆動により一方向へ向けて移動されるコンベアベルト２０と、コンベアベルト２０の片面（上面）と対向する加熱面を有する磁性材料製の加熱シェル３０と、この加熱シェル３０の加熱面と反対側の面に沿って配置され、コンベアベルト２０の移動方向と直交する幅方向を巻き心方向として巻き回された電磁誘導コイル４０と、この電磁誘導コイル４０の内側でコンベアベルト２０と平行に配設された磁性コア５０と、電磁誘導コイル４０に交流電圧を印加する交流電源６０とを備える。加熱シェル３０および磁性コア５０は、電磁誘導コイル４０に交流電圧が印加された状態で発生する磁束を、コンベアベルト２０の幅方向に向けて透過させる磁路を提供する。 （もっと読む）