【課題】化学機械研磨（ＣＭＰ）に代わる新たな銅層エッチング方法を提供する。
【解決手段】１価の銅イオンと錯体を形成し、１価の銅イオンとの錯化定数が１×１０³より高い値を示し、且つ使用環境下において１価の銅イオンと形成する錯体の溶解度が０．５ｇ／Ｌ以上の銅錯化剤、若しくは、１価の銅イオンと錯体を形成し、１価の銅イオンとの錯化定数が１×１０³より高い値を示し、且つ２価の銅イオンとの錯化定数が１×１０²⁰以下の値を示す銅錯化剤、例えばアセトニトリルを１ｗｔ％以上と、水を１ｗｔ％以上とを含むエッチング処理液は、特に銅を溶解する効果があるため、かかる水溶液を強制攪拌させながら銅層表面に接触させることにより余分な銅層を除去することができる。 （もっと読む）

本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の表面処理方法は、ニッケル、クロム及び鉄成分を含み、表面に不動態被膜を有するステンレス鋼板を用意する段階と、前記ステンレス鋼板を、５０℃〜７０℃の温度で、３０秒〜３０分間硝酸（ＨＮＯ₃）及び硫酸（Ｈ₂ＳＯ₄）が混合されたエッチング溶液に沈積させることによって、前記ステンレス鋼板の表面に形成された不動態被膜内部の鉄成分を選択的に低減させる段階とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被加工物である金属材の表面に陽極酸化皮膜を形成することで、アンダーカットを制御した傾斜角の小さな傾斜面を有する浅い凹部を形成するための金属材の表面加工方法を提供することである。
【解決手段】 基板１１上に形成され、表面がマスクで被覆された金属材１２に対して、硫酸を含む電解液、２０Ｖ以下の電解電圧からなる電解条件の下で陽極酸化処理し、前記マスクの開口部から露出する金属材１２の表面に傾斜角の小さな傾斜面１７を有する陽極酸化皮膜１５を形成する。また、前記金属材１２の表面に形成された陽極酸化皮膜１５を除去することで、前記金属材１２の表面に傾斜角θ１による傾斜面１７を有する浅い凹部を形成する。 （もっと読む）

【課題】任意形状で且つ表面が滑らかな半導体レンズを容易に形成することが可能な半導体レンズの製造方法を提供する。
【解決手段】ｐ形のシリコン基板からなる半導体基板１０（図１（ａ））の一部を除去して半導体レンズ１（図１（ｅ））を製造する半導体レンズ１の製造方法であって、所望のレンズ形状に応じてパターン設計した陽極１２（図１（ｃ））を半導体基板１０の一表面側にオーミック接触をなすように形成する陽極形成工程と、半導体基板１０の構成元素の酸化物を溶かす電解液中で半導体基板１０の他表面側に対向配置した陰極と陽極１２との間に通電して半導体基板１０の他表面側に除去部位となる多孔質シリコンからなる多孔質部１４（図１（ｄ））を形成する陽極酸化工程と、多孔質部１４を除去する多孔質部除去工程とを有する。 （もっと読む）