【課題】カーボンナノチューブ等の微細な炭素繊維浮遊物を検知する。
【解決手段】炭素繊維浮遊物１０のフィルタリングのためのフィルタ１と、メッシュフィルタ下方に配置した櫛歯状電極２ａ，２ｂと、櫛歯状電極周囲に配置したオイル３と、フィルタ１と櫛歯状電極２ａ，ｂとの空間にプラスイオン風空間９を生成し、また、対向電極間に炭素繊維浮遊物の電気泳動空間１２を生成し、電気泳動空間１２内の電気的変化から炭素繊維浮遊物１０を検知する。 （もっと読む）