【課題】数キロエルステッドの大磁場を試料に印加することのできる小型の磁場印加試料保持装置およびそれを用いた荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料５０に磁場を印加する磁場印加手段を備えた荷電粒子線装置用の磁場印加試料保持装置において、磁場印加手段は、線材２０３と線材が巻きつけられるボビン（２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｃ）とを有する電磁コイルであり、ボビンは、その中心軸の周りにボビンの端面（２０１ａ、２０１ｃ）もしくは軸部（２０１ｂ）を経路とする周回電流を抑制する電気絶縁部を有し、ボビンの端面の内の一枚（２０１ａ）が高透磁率材で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置における試料への５段構造の磁場印加装置は、試料を中心に上下対称に２回ずつの偏向を必要とする。そのため、装置の構成が複雑となり形状が大型に成らざるを得なかった。
【解決手段】 磁場と電場の独立性と直交性、そして、それぞれの磁場/電場が荷電粒子線へ与える偏向の線形結合性を利用し、磁場と電場の混在領域を作り出し、それぞれの磁場/電場において荷電粒子線の偏向を制御する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子顕微鏡の磁場印加装置に関し、装置を大型化することなく試料の印加補正角を大きくとることができる電子顕微鏡の磁場印加装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 透過電子顕微鏡の磁場印加装置において、磁場印加と同時に発生する照射電子線の光軸偏向を軸上に振り戻す複数の偏向器からなり、１つの偏向器の偏向主面が試料６表面に極めて近い位置に配置されように構成される。これにより、印加補正角を大きくとることができ、高性能の磁場印加装置を提供することができる。 （もっと読む）