【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第１の差動排気用絞りと、該第１の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第２の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第１の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第２の真空ポンプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空排気時等の巻上げによって生ずるパーティクルの試料への付着を抑制する低汚染ローダ、及び低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、枝分かれした粗引き配管を持つロードロック室を備えた低汚染ローダであって、当該複数の排気管に流入する気体の圧力を検出する複数の圧力センサと流量調節機構を備え、排気管内部の圧力が等しくなるように流量を調節しながら、前記ロードロック室の真空排気を行う低汚染ローダ、及び当該低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】高真空下においても良好なシール性能を達成することができる電子線装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＰＭＡ１０は、試料を収容する試料室１２、試料室１２内の試料に対して電子線を照射するための電子銃１４を備えた電子銃部１６、電子銃１４から放射される電子線を制御するコンデンサレンズ１８を備えている。電子銃部１６の容器本体４０１と蓋部４０４との間には直径寸法が異なる２個のＯリング７１，７２から成るシール機構７０が設けられている。これらＯリング７１，７２は、容器本体４０１の周壁部の上端面の段違い面７３と蓋部４０４下面の段違い面７４との間に設けられている。また、容器本体４０１の段違い面７３の下段と上段との間には環状の排気溝７７が形成されている。容器本体４０１の周壁部には前記排気溝７７と外部とを連通する排気通路７８が形成されており、該排気通路７８は排気管７９を介して真空ポンプ８０に接続されている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの荷電粒子ビーム（１２３）を発生させるための荷電粒子源（１０１）と、ビームをウェーハ上に投影するための荷電粒子投影器（１０８，１０９，１１０）と、ウェーハ（１３０）を移動させるための可動式のウェーハステージ（１３２）とを具備する荷電粒子リソグラフィ装置（１００）に関する。荷電粒子源、荷電粒子投影器及び可動式のウェーハステージは、真空環境を形成する共通の真空チャンバ（１４０，４００）中に配置されている。真空チャンバは、チャンバ及びドア（４０２）にウェーハをロードするための開口を有する。
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【課題】真空チャンバー内の真空を実現する方法および設備を提供する。
【解決手段】本発明は、真空チャンバー（４００）内の真空を実現する方法に関する。真空チャンバーは、複数の真空チャンバーによって共有されるポンプシステム（３００）に接続される。方法は、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引することを有している。本発明はさらに、ポンプシステムに接続された複数の真空チャンバーの設備に関する。この設備では、ポンプシステムは、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引するように用意される。
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【課題】
非蒸発ゲッターポンプを用いて電子ビーム放出した状態でも電子源近傍の真空度を１０^−８から１０^−９Ｐａという超高真空に保ち，かつ脱落異物の影響を受けない荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】
荷電粒子源２（電子源、イオン源等）を配する真空容器と、直接電子ビームと向かいあわない位置に非蒸発ゲッターポンプ６を備え，非蒸発ゲッターポンプ６から脱落した異物が電子光学系に向かわないように非蒸発ゲッターポンプ６を水平方向上向きとして電極４の溝４’内の底に落とし込む構造を有する。あるいは遮蔽手段で覆う構造を備える、もしくは，非蒸発ゲッターポンプ面の直上に電子線を見ない位置に設置し，非蒸発ゲッターポンプ下部に脱落異物を捕獲可能な凹部構造を有する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】高真空下（１０^−２Ｐａ以下）にある分析装置内に、正圧（１０^５Pa以上）からガスを精密にかつ安定的に供給し、同一条件を維持し、かつ再現すること共に、所望のガスに短時間で切替えること。
【解決手段】複数の種類のガスをミキシング室で合成し、合成されたガスを導入して減圧ポンプで０．１Ｐａから０．１MＰａまでの範囲内の圧力となるまで減圧し、該減圧されたガスをガス切替弁による切替動作によりガス分析装置に導くガス導入装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】非蒸発ゲッターポンプを有する電子銃室あるいはイオン銃室の真空立上げを短時間に行え、かつ高い真空度を長時間維持可能な荷電粒子線装置と、その真空立上げ技術を提供する。
【解決手段】荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを試料上に入射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系を排気するための真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記真空排気手段は、前記荷電粒子源を配する真空室３と、真空配管２０を介して結合し、前記真空室３内を補助真空ポンプ２として排気する非蒸発ゲッターポンプと、前記真空室３と前記非蒸発ゲッターポンプとをつなぐ前記真空配管２０の間に備えたバルブ１と、前記バルブ１より前記非蒸発ゲッターポンプ側に設けられ、粗排気するための粗排気口５と、前記粗排気口を開閉する開閉バルブ７と、前記バルブ１より前記真空室３側に設けられ、前記真空室３内を排気するメイン真空ポンプ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】
非蒸発ゲッターポンプを用いた荷電粒子線装置において、電子線を放射中であっても高真空を維持すると共に、異物発生をしない小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源１と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上に集束し走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系を排気するための真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記真空排気手段は、二つ以上の真空室を開口を介して結合した差動排気構造とし、真空度の高い上流側の真空室に非蒸発ゲッター合金からなるポンプ３を配して、前記非蒸発ゲッター合金のガス吸着表面が他の部材と非接触に保持するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡、電子描画装置等の電子銃において、小型で高真空維持が達成可能
な電子銃を提供する。
【解決手段】 非蒸発ゲッターポンプ、加熱ヒータ、フィラメント、電子源位置決め機構
により構成される電子銃において、粗引き用開口とその自動開閉バルブと、非蒸発ゲッタ
ーポンプ用の不活性ガス／化合物ガスの電離分解手段を設ける。
【効果】 高さ、幅とも１５ｃｍ程度の小型電子銃を用いて電子銃から電子を放出した状
態で、イオンポンプを必要とせず、１０^−１０Ｔｏｒｒの高真空維持を達成できる。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡は、あまりにも大きい為、試料を電子顕微鏡で観察する必要が生じた場合、これを、電子顕微鏡がある研究所などに持って行って観察しなければならず時間的、空間的に不便であった。本発明は、このような問題点を解決するために、マイクロカラムを使用して携帯または移動可能な電子顕微鏡を提供することをその目的とする。また、本発明は、時間的および空間的制限なしに、移動しながら試料を観察することが可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロカラムを利用したポータブル電子顕微鏡を提供する。このポータブル電子顕微鏡は、マイクロカラム；低真空用ポンプ；高真空用ポンプ；超高真空用イオンポンプ；マイクロカラムおよび測定対象試料が収容固定され、前記ポンプによって真空が形成される第１チェンバー；コントローラー；および前記ポンプ、前記チェンバー、および前記コントローラーを収容するケース；を含む。 （もっと読む）

イオン衝突を利用した顕微鏡検査または表面研究用の試料のミリング処理装置を開示する。この装置は高低両エネルギー・イオン源を使用することによって試料表面をそれぞれ粗及び微修正することができる。イオン源から発生する衝突ビーム内の試料位置を正確に制御することによって、ビームに対して試料を傾倒及び回転させることができる。この位置制御によって、プログラム制御下に且つ定常な真空条件下に、試料を異なるイオン源の間で移動させることができる。また、装置への試料の導入及び装置からの試料取出しの際に真空度を低下させず、しかも試料を周囲温度に戻すことを可能にするロード・ロック機構を設ける。ミリング処理のすべての動作段階において試料を観察及び撮像することができる。
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