【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第１の差動排気用絞りと、該第１の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第２の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第１の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第２の真空ポンプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室２１を構成する胴部２４の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部２７と、胴部２４を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部２７は、胴部２４の開口端を閉塞する閉塞板２８と、閉塞板２８を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板２８の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム２９上で閉塞板２８を回転自在に支承する蓋回転軸１４２と、閉塞板２８が開放位置にあるとき、閉塞板２８の回転軸が胴部２４の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板２８の姿勢を保持すると共に、閉塞板２８が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸１４２を保持する保持機構１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空排気時等の巻上げによって生ずるパーティクルの試料への付着を抑制する低汚染ローダ、及び低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、枝分かれした粗引き配管を持つロードロック室を備えた低汚染ローダであって、当該複数の排気管に流入する気体の圧力を検出する複数の圧力センサと流量調節機構を備え、排気管内部の圧力が等しくなるように流量を調節しながら、前記ロードロック室の真空排気を行う低汚染ローダ、及び当該低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバー内の真空を実現する方法および設備を提供する。
【解決手段】本発明は、真空チャンバー（４００）内の真空を実現する方法に関する。真空チャンバーは、複数の真空チャンバーによって共有されるポンプシステム（３００）に接続される。方法は、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引することを有している。本発明はさらに、ポンプシステムに接続された複数の真空チャンバーの設備に関する。この設備では、ポンプシステムは、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引するように用意される。
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【課題】本発明は、真空排気時等の巻上げによって生ずるパーティクルの試料への付着を抑制する真空排気装置、及び真空排気装置を備えた荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、複数の排気管を持つ予備排気室を備えた真空排気装置であって、当該複数の排気管に流入する気体のパーティクルを検出する複数のパーティクルモニタを備え、当該複数のパーティクルモニタにて検出されるパーティクルの量が多い側に設けられた排気管を用いて、前記予備排気室の真空排気を行う真空排気装置、及び当該真空排気装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料検査方法及び試料検査装置に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする当該検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を部分的に仕切るための仕切り板１４と、真空室１１内の圧力を検知する真空計１５を備える （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム発生源で発生した荷電粒子ビームが出射する第１の穴が形成された第１の壁と、該第１の壁の外側に配設され、前記第１の壁の外面に当接可能なＯリングが設けられた弁板を有し、前記Ｏリングが前記第１の壁の外面の前記第１の穴の開口の周りに押接し、前記弁板が前記第１の壁の第１の穴を塞ぐ閉状態は、前記第１の穴内を真空に保持する真空仕切弁とを有する荷電粒子ビーム装置に関し、真空仕切弁のＯリングが劣化しにくい荷電粒子ビーム装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第１の壁１０１の第１の穴１０３と、開状態の真空仕切弁１１１の弁板１１３との間に、荷電粒子ビームＢによる散乱電子、反射電子、Ｘ線を遮る遮蔽手段（ケース２１１、遮蔽板２２１）２００を設ける。 （もっと読む）

【課題】外部容器と内部容器とを有する真空容器及びこのような真空容器構造を備える電子線装置において、外部容器の真空室内の内部空間と内部容器の内部空間との間を簡単な構成で遮断する。
【解決手段】真空容器１０１を、内部が真空状態にされる真空室１２０を有する外部容器１２１と、内部容器１１０であってその内外を連通する開口部１１７を有しこの開口部１１７を含んだ少なくともその一部分又は全体が真空室１２０内に収容される内部容器１１０と、備えて構成し、さらに内部容器１１０の内部空間を真空室１２０の内部空間から遮断する遮断機構１９１〜１９４とを外部容器に設ける。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】 試料交換室の真空度の調整制御の複雑化をはかることなく、試料交換室の真空度が試料室の真空度を超えないようにして観察試料の状態保持をはかりながら、試料交換作業後は即座に像観察可能になる低真空走査電子顕微鏡、及びその試料交換方法を提供する。
【解決手段】
低真空走査電子顕微鏡１において、試料交換時、試料交換室４０の真空度が設定真空度に対して５〜１０パーセント低い交換準備真空度に達するまでは、共用する排気手段６１によって試料交換室４０のみを単独で真空引きを行い、試料交換室４０の真空度が交換準備真空度に達したならば、共用する排気手段６１に対して試料交換室４０に加えて試料室１０も連通させ、排気手段６１による両室双方の同時真空引きを開始し、両室ともに設定真空度にする。 （もっと読む）

イオン衝突を利用した顕微鏡検査または表面研究用の試料のミリング処理装置を開示する。この装置は高低両エネルギー・イオン源を使用することによって試料表面をそれぞれ粗及び微修正することができる。イオン源から発生する衝突ビーム内の試料位置を正確に制御することによって、ビームに対して試料を傾倒及び回転させることができる。この位置制御によって、プログラム制御下に且つ定常な真空条件下に、試料を異なるイオン源の間で移動させることができる。また、装置への試料の導入及び装置からの試料取出しの際に真空度を低下させず、しかも試料を周囲温度に戻すことを可能にするロード・ロック機構を設ける。ミリング処理のすべての動作段階において試料を観察及び撮像することができる。
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